A Study on the Fabrication of Sub-Micro Mold for PDMS Replica Molding Process by Using Hyperfine Mechanochemical Machining Technique (기계화학적 극미세 가공기술을 이용한 PDMS 복제몰딩 공정용 서브마이크로 몰드 제작에 관한 연구)
-
- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
- /
- 2004.10a
- /
- pp.351-354
- /
- 2004