FBAR용 $ZnO/AZO/SiO_2/Si$ 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
(Crystallography properties of $ZnO/AZO/SiO_2/Si$ thin film for FBAR)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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- pp.880-883
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- 2003