Laser CVD에 의한 $SiO_2$ 박막 콘덴서의 시작과 그 특성
(The Fabrication of Laser CVD $SiO_2$ film condenser and its characteristics)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1993년도 정기총회 및 추계학술대회 논문집 학회본부
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- pp.231-233
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- 1993