Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1993.11a
- /
- Pages.231-233
- /
- 1993
The Fabrication of Laser CVD $SiO_2$ film condenser and its characteristics
Laser CVD에 의한 $SiO_2$ 박막 콘덴서의 시작과 그 특성
- Hong, S.H. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Cho, T.H. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Yoo, H.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Lee, H.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Lee, K.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Sung, Y.K. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.)
- 홍성훈 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 조태훈 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 유환성 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 이한신 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 이계신 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 성영권 (고려대학교 공과대학 전기공학과)
- Published : 1993.11.26
Abstract
This paper proposes a new
Keywords