• ETRI Journal
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• 제38권4호
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• pp.675-684
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• 2016

This paper demonstrates the effect of fluoride-based plasma treatment on the performance of $Al_2O_3/AlGaN/GaN$ metal-insulator-semiconductor heterostructure field effect transistors (MISHFETs) with a T-shaped gate length of $0.20{\mu}m$. For the fabrication of the MISHFET, an $Al_2O_3$ layer as a gate dielectric was deposited using atomic layer deposition, which greatly decreases the gate leakage current, followed by the deposition of the silicon nitride layer. The silicon nitride layer on the gate foot region was then selectively removed through a reactive ion etching technique using $CF_4$ plasma. The etching process was continued for a longer period of time even after the complete removal of the silicon nitride layer to expose the $Al_2O_3$ gate dielectric layer to the plasma environment. The thickness of the $Al_2O_3$ gate dielectric layer was slowly reduced during the plasma exposure. Through this plasma treatment, the device exhibited a threshold voltage shift of 3.1 V in the positive direction, an increase of 50 mS/mm in trans conductance, a degraded off-state performance and a larger gate leakage current compared with that of the reference device without a plasma treatment.

• Maxillofacial Plastic and Reconstructive Surgery
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• 제28권6호
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• pp.579-585
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• 2006

Introduction: The fibular free flap is now considered as the first choice for long mandibular discontinuity defect. In spite of its good bone quality for implant installation, its diameter is too narrow to rehabilitate the masticatory function with implant installation. In this report, distraction osteogenesis was used for the augmentation of bone to install the dental implant in the mandible which was reconstructed with a vascularized fibular free flap. Patients and Methods: Three patients undertook the vertical augmentation of grafted fibular bone and dental implants were installed. On the day 8 post-surgery, the activation of the distractor was started at the rate of 1 mm twice a day. The total amount of distraction was 15 mm in two patients and 12.5 mm in one patient. Twelve implants were installed in three patients. Dental implants were simultaneously installed during removal of the distraction device in two patients. In one patient, the implant installation was delayed after device had been removed. All three patients showed the symptoms of mild to severe postoperative infection during the activation and consolidation. However, the distracted site showed undisturbed bone regeneration. Conclusion: The distraction osteogenesis showed the reliable results for the vertical augmentation of fibular bone which was used for the mandibular reconstruction. However, the great tendency of postoperative infection must be considered and clinically controlled.

• 대한소아치과학회지
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• 제32권4호
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• pp.709-716
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• 2005

구순구개열 환자에서는 이른 시기에 시행된 수술로 인한 구순이나 구개부의 반흔 형성으로 섭식장애나 발음장애를 동반한 상악의 열성장이 나타나게 된다. 때로는 집중적인 교정치료 후에도 심한 상악골 저형성증을 보이며 이러한 경우성장이 완료 된 후에 골이식을 동반한 악교정 수술로 상악골을 전방이동시켜 안모의 개선을 도모하기도 한다. 그러나 이러한 상악골의 전방이동은 연조직의 과도한 신장으로 인한 술후회귀현상, 추가적인 골이식이 필요하다는 한계를 가지고 있다. 골신장술은 이러한 한계점을 극복하는 최신 치료방법으로 구순구개열 환자, 두개골 융합증을 나타내는 환자 등에서 상악골을 포함한 두개 안면골의 개선에 많이 이용되고 있다. 특히 구외장치를 이용하는 골신장술은 골신장기간 중에 견인 방향의 조절이 보다 쉬우며, 충분한 양의 골신장이 가능하여 보다 좋은 결과를 얻을 수 있다. 본 증례는 상악 열성장을 보이는 구순구개열 6세 7개월의 여자 환아로, 변형된 구내 르포씨 1형 골절단술(modified Le Fort I osteotomy) 후 두개골을 고정원으로 이용하는 견고 구외 골신장술을 통해 상악골을 전진시켜 양호한 결과를 얻었기에 이를 보고하는 바이다.

• 대한환경공학회지
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• 제22권1호
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• pp.159-167
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• 2000

최근 들어 합류식 분류식 하수관의 월류수 (CSOs, SSOs)가 수질오염에 미치는 영향이 상당하다는 인식을 하게되었다. 본 논문의 목적은 CSOs, SSOs에 함유된 입자성 및 용존성 오염물질을 제거할 수 있는 RFS (Rapid Floc Settler) 장치를 개발하여 입자물질과 용존물질의 제거효율을 분석하고 최적의 설계인자와 운전인자를 도출하는데 있다. RFS장치는 물리 화학적 폐수처리장치로 그 구조가 간결하다. Polyacrylamide (PAM)을 응집제로 사용하여 Jar test 결과 PAM이 철염, 황산알루미늄에 비해 우수한 응집특성을 나타내었다. 수면적부하율의 변화를 주어 처리효율 특성을 분석하였다. 유입수는 SS를 기준으로 50~1,000mg/L로 CSOs 의 대표적인 농도를 적용하였다. 수면적부하율이 $130m^3/m^2/day$에서 SS는 90%, COD는 80% 의 처리효율을 나타내었다. 수면적부하율이 기존침전조의 10배 이상 컸다. 또한 입경분석을 실시하여 입경 분포를 분석하였다. RFS장치는 CSOs, SSOs의 처리 이외에도 건설현장 고탁도물질의 제거, 소규모유역 유출수 제어, 하수처리장에서 초과용량의 하수처리, 오염된 소하천의 정화 등 그 적용성이 클 것으로 생각된다.

• 한국산업보건학회지
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• 제18권3호
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• pp.189-203
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• 2008

Cylindrical bag filter system with pulse jet cleaning has been the most common device to control particle laden exhaust gas from the various industrial processes. But, it has many shortcomings due to particle reattachment and frequent bag rupture. In recent years, rectangular type bag filter system has been developed to overcome the problems associated with the cylindrical system. However, not many studies about the rectangular system were not done, compared to the cylindrical system. In this study, the optimum pulse jet cleaning conditions were thus tested by the series of experiments. The factors tested in this study are pulse distance, pulse pressure, pulse duration, the number of holes for pulsing and bag materials. A single bag ($1,500mmL{\times}50mmW{\times}300mmH$) system and a multi-bags (3 bags in a row) were tested separately. The highest removal efficiency with a single bag system was found at the conditions with pulse distance of 10cm, pulse pressure of $3kg/cm^2$, pulse duration of 0.3s, pulse jet number of 6 and Polyester bag. With the multi-bags system, the best cleaning conditions were found at the bag interval of 20cm with the simultaneous pulsing and the bag interval of 15cm with the serial pulsing.

• 한국광학회지
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• 제23권6호
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• pp.274-280
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• 2012

기존의 반사형 타원계에 광분할기와 프리즘 등의 광학소자를 추가하여 $8.0{\mu}m$ 보다 작은 면적에서 시료의 광학이방성을 측정할 수 있는 수직반사형 타원계를 제작하였다. 수직반사 구조를 구현하기 위해 사용된 광학소자들의 편광작용을 보정하여 광학이방성 측정의 정확도를 향상시켰다. 비편광 광분할기를 사용하고 사분파장 위상지연자를 장착하며 광섬유를 제거하고 파장영역을 최적화하여 광학이방성인자 측정값의 표준편차를 0.00083 으로 줄이고 방위각 변화에 따른 rutile 시료의 광학이방성인자의 변동폭을 0.015 이하로 줄일 수 있었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.57-57
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• 2009

반도체 device가 고집적화 및 다층화 되어짐에 따라 현재 사용되고 있는 구리 interconnect의 확산방지막인 Ta/TaN은 많은 문제가 발생하고 있다. 고집적화 된 반도체 소자에 적용시키기에는 Ta/TaN 확산 방지막의 고유 저항값이 매우 크고, 구리의 증착에 필요한 seed layer의 크기도 문제화 된다고 보고되어지고 있다. 이러한 이유로 인해 점차 고집적화 되어지는 반도체 기술에 맞추어 새로운 확산 방지막에 대한 연구가 현재 활발히 이루어지고 있다. 이에 새로운 확산 방지막으로써 대두되고 연구되고 있는 재료가 Ruthenium (Ru)이다. Ru은 공기 중에서 매우 안정하고 고유저항 값 또한 $13\;{\mu}{\Omega}\;cm$의 Ta에 비해 $7.1\;{\mu}{\Omega}\;cm$의 매우 작은 고유저항 특성을 가지고 있다. 또한, Ru은 구리와의 우수한 접착성으로 인해 구리의 interconnect의 형성에 있어 seed layer가 필요하지 않을 뿐만 아니라 높은 annealing 온도에서도 무시할 만큼 작은 solid solubility를 가지며 구리와의 계면에서 새로운 화합물을 형성하지 않으며 annealing시 구리의 delamination을 유발시키지도 않는다. 이에 따라, 평탄화와 소자 분리를 위하여 chemical mechanical planarization (CMP) 공정이 필요하게 되었다. 하지만, Ru의 noble한 성질과 Ru 확산방지막 CMP공정 시 노출되는 다른 이종 물질 사이의 최적화 된 selectivity를 구현하는데 많은 어려움이 있다. 이로인해 Ru 확산 방지막을 위한 CMP slurry에 대한 연구는 아직 미흡한 수준이다. 본 연구에서는 Ru이 확산방지막으로 사용되었을 때 이를 위한 CMP slurry에 대한 평가와 연구가 이루어졌다. Slurry 조성과 농도 및 pH에 따른 전기 화학적 분석을 통하여 slurry 내에서 각각의 막질들이 어떠한 상태로 존재하는지 분석해 보았다. 또한, Ru을 비롯한 이종막질들의 etch rate, removal rate와 selectivity에 대한 연구가 진행되었다. 최종적으로 Ru 확산방지막 CMP를 위한 최적화된 slurry를 제안하였다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제24권9호
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• pp.1247-1254
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• 2000

The effects of recirculated exhaust gas on the characteristics of $NO_x$ and soot emissions under a wide range of engine load have been experimentally investigated by a water-cooled, four-cylinder, indirect injection, four cycle and marine diesel engine operating at two kinds of engine speeds. The simultaneous control of $NO_x$ and soot emissions in diesel engines is targeted in this study. The EGR system is used to reduce $NO_x$ emissions, and a novel diesel soot removal device with a cylinder-type scrubber for the experiment system which has 6 water injectors(A water injector has 144 nozzles in 1.0 mm diameter) is specially designed and manufactured to reduce the soot contents in the recirculated exhaust gas to intake system of the engines. The intake oxygen concentration and the mean equivalence ratio calculated by the intake air flow and fuel consumption rate, and the exhaust oxygen concentration measured are used to analyse and discuss the influences of EGR rate on $NO_x$ and soot emissions. The experiments are performed at the fixed fuel injection timing of $15.3^{\circ}$ BTDC regardless of experimental conditions. It is found that $NO_x$ emissions are decreased and soot emissions are increased owing to the drop of intake oxygen concentration and exhaust oxygen concentration, and the rise of equivalence ratio as the EGR rate rises.

• 방송공학회논문지
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• 제5권2호
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• pp.281-289
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• 2000

영상을 획득하는 과정에 있어서 영상 획득 장치 또는 피사체의 흔들림은 영상에 손상을 가져온다. 이러한 손상을 움직임 열화(motion blur)라고 부르며, 영상의 선명도를 떨어뜨리는 주된 원인이 된다. 최근 연구에서 밝힌 극점자취 방법을 통해 주어진 열화영상에서 열화의 PSF(Point Spread Function) 특성을 구하는데 사용되는 중요한 파라메터를 추출 할 수 있다. 이러한 극점 자취방법으로, 노이즈에 의한 열화에 관계없이 적은 연산량으로 움직임 열화의 방향을 추출할 수 있다. 본 논문에서는 통계적 극점 자취 접근법을 새롭게 제안한다. 저주파 영역에서 움직임 열화방향의 추정오차를 줄이기 위해 ML(Maximum Likelihood)분류를 통해 오차를 유발하는 극점을 선택하여 가중치를 적용, 그 영향을 최소화한다. 선형 예측법을 사용하여, 불규칙적 자료가 극점으로 선택되는 것을 방지한다 제안된 MALM(Moving average least mean)방법은 두번째로 큰 극점의 검출을 위해 움직임의 정도를 판별하는데 사용된다. MALM방법은 자체적으로 노이즈 제거 과정을 내포하고 있으므로 노이즈가 많은 환경에서도 파라메터를 추출할 수가 있다. 실험에서 우리는 제안된 방법을 통해 얻어진 정보를 사용하여, 열화 된 이미지를 효율적으로 복구해 낼 수 있었다.

• Journal of Periodontal and Implant Science
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• 제33권4호
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• pp.651-671
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• 2003

The influence of calcium phosphate (Ca-P) coating on the bone response of titanium implants was investigated two types of titanium implants, i.e. as -machined ,as -machined with Ca-P coating, were prepared. The Ca-P coating produced by OCT Inc technique. These implants were inserted into the left and right femur of beagle dog, After implantation periods of 3 days, 1weeks, weeks, 4weeks, 8weeks, 12weeks. 24weeks, the bone-implant interface was evaluated histologically, histomorphometrically , and removal torque. Histological evaluation revealed no new bone formation around different implant materials after 2weeks of implantation. After 4 weeks, Ca-P coated implants showed a higher amount of bone contact than either of the non coated implants. After 12weeks, bone healing was almost completed. And implant were removed by reverse torque rotation with torque-measuring device. Mean torque values for 4weeks control were 2.375Kgf.cm and experimental were 2.725Kgf.cm. And mean torque values for 8weeks control were 1.25Kgf.cm and experimental were 1.0Kgf.cm On the basis of these findings, we concluded that deposition of a Ca-P coating on an implant has a beneficial effect on the bone response to this implant during the healing phase. Besides implant surface conditions the bone response is also determined by local implant site condition.