Characteristics of ITO Thin Films Sputtered on Polycarbonate substrates at Various Pressures by In-line Sputter (인라인 스퍼터 시스템을 이용한 공정 압력의 변화에 따른 PC 기판상의 ITO 박막특성에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.22 no.9
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- pp.772-775
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- 2009