• 센서학회지
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• 제6권3호
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• pp.200-206
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• 1997

열산화시킨 실리콘 웨이퍼 위에 저압화학기상성장법으로 $SiCl_{2}H_{2}$, $NH_{3}$ 및 $N_{2}O$ 기체를 사용하여 실리콘 옥시나이트라이드($Si_{x}O_{y}N_{z}$) 층을 제작하였다. 세 가지의 다른 조성이 기체 유속비($NH_{3}/N_{2}O$)를 각기 0.2, 0.5 및 2로 변화시키고 $SiCl_{2}H_{2}$의 기체 유속은 고정시킴으로써 얻어졌다. 엘립소메트리와 HFCV(High Frequency Capacitance-Voltage) 측정법을 채택하여 굴절율, 유전율 및 조성의 차이를 각각 조사했다. 실리콘 옥시나이트라이드는 내부에 포함된 실리콘 나이트라이드 성분량에 관계없이 용액 중에서 순수한 실리콘 나이트라이드와 유사한 안정성을 보유했다. 실리콘 옥시나이트라이드 층 알칼리이온 감지성의 크기 순서는 실리콘 나이트라이드 성분량에 영향을 받았다. 보다 나은 알칼리이온 감지성이 실리콘 옥시나이트라이드의 벌크 내에 있는 실리콘 디옥시드의 성분량을 증가시킴으로써 얻어졌다.

• 한국진공학회지
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• 제12권3호
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• pp.151-156
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• 2003

저진공 국가표준기인 초음파간섭 수은주압력계를 이용하여 두 개의 용량형 격막식 게이지와 두 개의 공진형 실리콘 게이지를 교정하였다. 용량형 격막식 게이지의 센서부는 금속으로 되어 있으므로 견고하고 과압에 잘 견딜 뿐만 아니라 우수한 분해능을 가지고 있으며, 공진형 실리콘 게이지는 우수한 안정성과 기계적인 충격에 강한 특성을 가지고 있다. 이들의 교정 불확도를 국제표준화기구에서 제정한 측정불확도 표현지침서에 따라 분석하여 비교하였으며, 그 결과 확장불확도의 최대 차이는 교정압력 100 Pa에서 $9\times10^{-3}$Pa 이었다. 또한 공진형 실리콘 게이지의 표준압력에 대한 압력비의 차이가 0.5 % 이내이었으므로 저진공 영역의 전달표준기로 사용이 가능함을 알 수 있었다.

• 센서학회지
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• 제10권4호
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• pp.222-231
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• 2001

$SnO_2$의 물성을 $Fe_2O_3$ 첨가량, 산소분압, CO 기체농도, 그리고 온도의 함수로서 관찰하였다. 시편은 후막인쇄 기법으로 알루미나 기판 위에 제조하였다. $700^{\circ}C$/6h 소성한 시편들의 $Fe_2O_3$첨가량에 따른 미세구조와 입자분포의 차이는 거의 없었다. $Fe_2O_3$를 첨가하지 않은 $SnO_2$의 전기적 성질은 소성온도가 낮은 경우와 산소분압이 낮은 경우에 전도성이 높게 측정되었다. $Fe_2O_3$를 첨가한 $SnO_2$의 전도성은 측정온도 증가로 증가하지만 $Fe_2O_3$ 첨가량 증가로 전도성은 감소하였다. 산소분압 의존성은 $Fe_2O_3$ 첨가로 감소하였다. CO 가스에 대한 기체 센서 특성 중 감도는 $350^{\circ}C$, 0.1 mol% $Fe_2O_3$를 첨가한 경우에 가장 높았고, 재현성 및 응답성도 양호하게 나타났다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국정보통신학회 2022년도 춘계학술대회
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• pp.27-30
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• 2022

기존의 공정방식에 비해 효율성이나 환경적 면에서 많은 장점을 가진 플라즈마 공정은 반도체 제작에서 널리 사용되고 있다. Plasma Sheath란 플라즈마 bulk와 그 것을 둘러싸고 있는 챔버 벽면과 전극 사이에서 관찰되는 어두운 영역으로 양이온과 전자의 이동속도 차이로 인해 발생한다. Plasma Sheath Monitoring Sensor (PSMS)는 플라즈마와 전극 사이의 전압(Voltage) 차이와 전극에 걸리는 RF power 등을 실시간으로 측정하는 센서로서 플라즈마 챔버 내에서 플라즈마의 상태와 매우 상관도가 높을 것으로 기대된다. 본 연구에서는 PSMS 데이터를 활용하여 플라즈마 챔버 내의 질소이온의 상태를 예측하는 모형을 딥러닝 기계학습 기법을 이용하여 구축하였다. 연구에 사용된 데이터는 파워와 압력을 달리 셋팅한 실험에서 측정된 PSMS 데이터를 학습데이터로 활용하고 플라즈마 bulk와 Si substrate에서 측정된 질소 이온의 비율, 플럭스, 밀도를 레이블로 활용하였다. 본 연구의 결과는 향후 플라즈마 공정의 최적화 및 실시간 정밀제어를 위한 인공지능 기술의 기초가 될 것으로 기대된다.

• 대한물리의학회지
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• 제15권2호
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• pp.101-108
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• 2020

PURPOSE: The purpose of this study was to investigate the effect of treadmill walking training using the metronome on the gait pattern. METHODS: A total of 33 healthy persons were studied consisting of 17 female and 16 male in the 20-30 age group. A gait analysis program was installed on a treadmill with a built - in gait analysis sensor and laptop. After 9 minutes of treadmill walking, gait analysis was performed for 1 minute. The mean values of the differences in the step length, angle of COP, separation line standard deviation and step force of the lower legs affecting walking symmetry were calculated for treadmill walking and treadmill walking using the metronome. The Shapiro-Wilk test was used to test the normality of the collected data and a paired t-test was performed to analyze the difference in walking before and after using the metronome. RESULTS: As a result of the analysis, the mean of difference between the measured values of the bilateral lower extremity for step length, angle of COP, separation line standard deviation and step force were statistically significant before and after treadmill walking using the metronome. CONCLUSION: Therefore, the treadmill walking training using the metronome is effective in decreasing the difference in the foot width, gait angle, gait distribution, and foot pressure. Because of this, the treadmill walking training using the metronome has a significant effect on walking symmetry among the elements for correct walking, which is a means for enabling efficient and continuous walking.

• 한국식품조리과학회지
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• 제4권2호
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• pp.51-56
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• 1988

다수확계 품종인 삼강, 서광과 일반계 품종인 추정을 재료로 하여 압력솥과 전기솥으로 취반한 더운밥과 찬밥의 관능적, 기계적 특성을 조사하였다. 쌀 품종과 취반기구를 달리한 더운밥과 찬밥의 관능검사 결과 맛 또는 냄새에 대한 특성치들보다는 대부분 외모나 텍스쳐에 대한 특성치들이 유의한 차이를 보였으며, 쌀 품종중 취반기구에의한 관능적 특성차이가 큰것은 서광이었고, 더운밥과 찬밥에 의한 관능적 특성차이가 큰 것도 서광이었다. Instron을 이용한 쌀밥과 기계적 검사 결과 각 기계적 특성 치들은 일반적으로 더운밥보다는 찬밥에서 쌀 품종과 취반기구의 차이를 뚜렷하게 나타내었으며, 특히 견고성 이 고도로 유의 한 차이를 보였다. 쌀밥의 관능적, 기계적 특성치들의 상관관계에서는 견고성이 텍스쳐에대한 관능적 특성치들과 비교적 유의하게 높은 상관정도를 보였으나 나머지 특성 치들은 상당히 낮은 상관정도를 보였고 그 유의도도 낮았다.

• 생명과학회지
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• 제21권9호
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• pp.1336-1345
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• 2011

본 연구에서는 국내외 실버화와 일반적인 운동화에 대한 1차 운동기능학적 분석을 통하여 노인에게 가장 적합한 신발을 정하고 2차 운동생리학적 실험을 통해 체지방률변화, 운동강도에 따른 대사량의 변화 그리고 에너지 소비량의 변화를 분석하였다. 본 연구의 대상으로는 특별한 질병을 가지고 있지 않은 남자 어른들 20명을 대상으로 하였으며, 평균나이는 $62.78{\pm}4.32$세, 신장은 $170.89{\pm}3.56cm$ 그리고 몸무게는 $75.12{\pm}8.76kg$이었다. 실험 전 실험에 대한 충분한 설명을 하고 동의서를 받은 후 데이터를 수집하였다. 본 연구를 위하여 운동 기능학적 실험과 운동 생리학적 실험을 수행하였으며, 본 연구결과 걷기나 달리기 시 최초 발 뒤꿈치 접촉 시 발이 회내(pronation)되는 정도와 최대 회내가 되는 정도를 알아 본 결과 걷기속도가 가장 빠르게 나온 B형의 신발이 회내값($-2.3{\pm}1.05^{\circ}$)이 가장 크게 나타났으며 일반걷기용 신발에서 가장 작은 값($-1.5{\pm}0.49^{\circ}$)을 보여주고 있다. 또한 노인들의 일상생활에서 착용하는 건강증진용 신발을 대상으로 운동 생리학적 부분을 살펴보면 체지방율의 변화는 모든 그룹에서 감소는 하였으나, 통계적으로 유의한 차이가 나타나지 않았는데, 이는 체지방율의 변화를 가져오기 위해서 일시적인 운동이 아닌 규칙적이고 장기적인 운동이 필요할 것으로 사료되어지며, 노인들이 건강증진용 기능화를 장기적으로 착용하여 운동할 경우 체 지방율에 긍정적인 영향을 미칠 것으로 사료되어진다.

• 센서학회지
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• 제10권4호
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• pp.232-238
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• 2001

본 논문에서는 Stereolithography 기술을 이용하여 마이크로 펌프를 제작했다. 펌프는 구동에 PZT를 사용하고, diffuser/nozzle 개념의 non-movable 밸브를 사용하여 제작했다. 펌프의 크기는 챔버$14mm{\psi}$, diffuser/nozzle의 크기는 좁은 쪽의 구멍은 $0.5mm{\psi}$, 넓은 쪽의 구멍은 $1mm{\psi}$로 제작하고, 챔버의 깊이는 1.2mm이다. 펌프는 주파수 100Hz, 인가 전압 $90{\sim}250Vp-p$ 사이에서 구동시켜, 그 동작을 확인했다. 측정 결과, 펌핑 용액이 에탄올 일 때, 인가 전압 200V, 100Hz로 구동했을 때, 53mm의 수두차를 나타냈다.

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 2002년도 proceedings of the second asia international conference on tribology
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• pp.381-382
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• 2002

The Fluid film between the valve plate and the cylinder block was measured by use of a gap sensor and the mercury-cell slip ring unit under real working conditions. During the operating periods, experiments with discharge pressure, revolution speed, and valve geometry was carried out for the fluid film on the valve plate. To investigate the effect of the valve shape, we designed two valve plates each having a different shape; the first valve plate was a plane valve plate. while the second valve plate was a spherical valve plate. It was noted that these two valve plates observed different aspects of the fluid film characteristics between the cylinder block and the valve plate. The leakage flow rate and the shan torque were also investigated in order to clarify the difference between these two types of valve plates. From the results of this study. we found that the spherical valve plate estimated good fluid film patterns and performance more than the other valve plate in oil hydraulic axial piston pumps.

• 비파괴검사학회지
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• 제25권4호
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• pp.268-273
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• 2005

폐활량계(Spirometer)는 호흡하는 가스의 용적 유량의 순간적인 속도를 측정하는 의료기구로 폐의 기능시험과 환자 모니터링에 사용되며 용적 유량 신호를 합친 폐의 절대적인 용적변화를 측정한다. 본 논문에서는 환자를 대상으로 약한 호흡에서도 폐활량 측정이 가능하도록, 관성의 오차 및 압력의 오차에 영향을 거의 받지 않는 초음파 센서를 이용하여 송수신시 초음파 신호를 향상시켰으며, ARM 9207 프로세서를 사용하여 약한 호흡에도 정확하고 빠른 검출이 가능한 시스템을 구현하였다.