Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.25
no.3
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pp.31-36
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2018
This research scrutinizes the reason of failure after pressure cooker test (PCT) for DRAM device. We use the physical inspecting tools, such as microscope, SEM and TEM, and finally find the discolor phenomenon, corrosion of Al and delamination of inter-metal dielectric (IMD) in the failed devices after PCT. Furthermore, we discover the abnormal $Al_XO_Y$ layer on Al through the careful additional measurements. To find the reason, we evaluate the effect of package ball size and pinhole in passivation layer. Unfortunately, those aren't related to the problems. We also estimate halide effect of Al. The halogens such like Cl are contained within EMC material. Those result in the slight improving of PCT characteristics but do not perfectly solve the problems. We make a hypothesis of Galvanic corrosion. We can find the residue of Ti at the edge of pad open area. We can see the improving the PCT characteristics by the time split of repair etch. The possible mechanism of the PCT failure can be deduced as such following sequence of reactions. The remained Ti reacts on the pad Al by Galvanic corrosion. The ionized Al is easily react with the $H_2O$ supplied under PCT environment, and finally transfers to the abnormal $Al_XO_Y$ layer.
Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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v.51
no.11
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pp.231-237
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2014
In this paper, we have proceeded research for failures of semiconductor device stressed by Pressure Cooker Test(PCT). After PCT stress, we found various failures such as delamination between aluminium line and device layers and chemical composition transition of aluminium. We have executed the analysis using the physical and chemical observation equipments. There were the main failures that aluminium loss of aluminium pad is occurred and $Al_xO_y$($Al_2O_3$ or $Al(OH)_3$)) layer is formed abnormally. The primary cause of the failures is reaction of supplied fluorine or chlorine gases and infiltrated moisture during etching process.
A bendable electronic module has been developed for a mobile application by using a low-cost roll-to-roll manufacturing process. In flexible embedded electronic module, a thin silicon chip was embedded in a polymer-based encapsulating adhesive between flexible copper clad polyimide layers. To confirm reliability and durability of prototype bendable module, the following tests were conducted: Moisture sensitivity level, thermal shock test, high temperature & high humidity storage test, and pressure cooker tester. Those experiments to induce failure of the module due to temperature variations and moisture are the experiment to verify the reliability. Failure criterion was 20% increase in bump resistance from the initial value. The mechanism of the increase of the bump resistance was analyzed by using non-destructive X-ray analysis and scanning acoustic microscopy. During the pressure cooker test (PCT), delamination occurred at the various interfaces of the bendable embedded modules. To investigate the failure mechanism, moisture diffusion analysis was conducted to the pressure cooker's test. The hygroscopic characteristics of the encapsulating polymeric materials were experimentally determined. Analysis results have shown moisture saturation process of flexible module under high temperature/high humidity and high atmosphere conditions. Based on these results, stress factor and failure mechanism/mode of bendable embedded electronic module were obtained.
To investigate the reliability of the conductive lines patterned by ink-jet printing, we evaluated the reliability of the ink-jet printed silver (Ag) patterns according to the guide lines built up as assessments methods in the production of conventional rigid printed circuit boards. The assessment methods include the uniformity of line width and space, adhesive strength, dielectric withstand, solder float, thermal shock test and pressure cooker test (PCT). To prepare assesment vehicles, different regular test patterns were created by Ag ink-jet printing on the same polyimide substrate for each of assessment methods.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.21
no.1
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pp.57-62
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2008
From the progressing results, it was found that thin film using 52 wt% Ni - 38 wt% Cr - 3 wt% Al - 4 wt% Mn - 3 wt% Si target has good characteristics for low TCR (temperature coefficients of resistance) and high resistivity. The optimum sputtering condition was DC 250 W, 5 mtorr, and 50 sccm and the proper annealing condition was $350^{\circ}C$/3.5 hr in air atmosphere. At these fabricated conditions, thin film resistors with TCR values of less than ${\pm}10ppm/^{\circ}C$ were obtained. The TCR of the packaged-samples made at proper fabrication conditions was $-3{\sim}15ppm/^{\circ}C$ after the thermal cycling and $-20{\sim}180ppm/^{\circ}C$ after PCT (pressure cooker test), we could confirm reliability for the thin film resistor and find the need for enduring research about packaging method.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.20
no.4
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pp.352-356
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2007
The Ni/Cr/Al/Cu (51/41/4/4 wt%) thin films were deposited by using DC magnetron sputtering method for the application of the resistors having low TCR (temperature coefficients of resistance) and high resistivity from the former printed-results[3]. The TCR values measured on the as-deposited thin film resistors were less than ${\pm}10\;ppm/^{\circ}C$ and $-6{\sim}+1\;ppm/^{\circ}C$ after annealing and packaging process. The TCR values were $-3{\sim}1\;ppm/^{\circ}C$ (ratio of variation : about 0.02 %) and $-30{\sim}20\;ppm/^{\circ}C$ (ratio of variation : about $0.5{\sim}1\;%$) for the thermal cycling and PCT (pressure cooker test), respectively. It was confirmed that the reliability properties of the thin film resistor were good for electronic components.
To identify applicability for packaging material of polyvinyl alcohol (PVA)/boric acid (BA) coating solution with highly-enhanced water vapor and oxygen barrier properties, the PET/PVA-BA/OPP multi-layer films were prepared through comma coating and lamination process. The oxygen and water vapor permeabilities, and tensile strength of as-prepared multi-layer films were investigated before and after pressure cooker test (PCT). Although oxygen and water vapor permeabilites, and mechanical properties of PET/PVA-BA/OPP multi-layer films was decreased after PCT, their properties were highly enhanced as increase of BA contents in PVA matrix. This is strongly related with enhanced cross-linking density in PVA-BA layer. In storage test of seasoned-laver, the PET/PVA-BA/OPP multi-layer films were comparatively effective to suppress the increase in peroxide value originating from oxidation of seasoned-laver. Comparing the commercially available PP/Al-metallized PP for seasoned-laver packaging, however, PET/PVA-BA/OPP multi-layer films did not show any advantage in water activity. This is due to higher water vapor permeation properties of as-prepared multi-layer films. Therefore, further studies are required to enhance the water vapor permeation in PET/PVA-BA/OPP multi-layer films.
모바일 정보통신기기를 중심으로 전자패키지의 초소형화, 고집적화를 위해 플립칩 공법의 적용이 증가되고 있는 추세이다. 플립칩 패키징 접합소재로는 솔더, ICA(Isotropic Conductive Adhesive), ACA(Anisotropic Conductive Adhesive), NCA(Non Conductive Adhesive) 등과 같은 다양한 접합소재가 사용되고 있다. 최근에는 언더필을 사용하는 플립칩 공법보다 미세피치 대응성을 위해 NCP를 이용한 플립칩 공법에 대한 요구가 증가되고 있는데, NCP의 상용화를 위해서는 공정성과 함께 신뢰성 확보가 필요하다. 본 연구에서는 LDI(LCD drive IC) 모듈을 위한 COF(Chip-on-Film) 플립칩 패키징용 NCP 포뮬레이션을 개발하고 이를 적용한 COF 패키지의 신뢰성을 조사하였다. 테스트베드는 면적 $1.2{\times}0.9mm$, 두께 $470{\mu}m$, 접속피치 $25{\mu}m$의 Au범프가 형성된 플리칩 실리콘다이와 접속패드가 Sn으로 finish된 폴리이미드 재질의 flexible 기판을 사용하였다. NCP는 에폭시 레진과 산무수물계 경화제, 이미다졸계 촉매제를 사용하여 다양하게 포뮬레이션을 하였다. DSC(Differential Scanning Calorimeter), TGA(Thermogravimetric Analysis), DEA(Dielectric Analysis) 등의 열분석장비를 이용하여 NCP의 물성과 경화거동을 확인하였으며, 본딩 후에는 보이드를 평가하고 Peel 강도를 측정하였다. 최적의 공정으로 제작된 COF 패키지에 대한 HTS (High Temperature Stress), TC (Thermal Cycling), PCT (Pressure Cooker Test)등의 신뢰성 시험을 수행한 결과 양산 적용 가능 수준의 신뢰성을 갖는 것을 확인할 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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