Pulsed laser ablation is important in a variety of engineering applications involving precise removal of materials in laser micromachining and laser treatment of bio-materials. Particularly, detailed numerical simulation of complex laser ablation phenomena in air, taking the interaction between ablation plume and air into account, is required for many practical applications. In this paper, high-power pulsed laser ablation under atmospheric pressure is studied with emphasis on the vaporization model, especially recondensation ratio over the Knudsen layer. Furthermore, parametric studies are carried out to analyze the effect of laser fluence and background pressure on surface ablation and the dynamics of ablation plume. In the numerical calculation, the temperature, pressure, density, and vaporization flux on a solid substrate are obtained by a heat-transfer computation code based on the enthalpy method. The plume dynamics is calculated considering the effect of mass diffusion into the ambient air and plasma shielding. To verify the computation results, experiments for measuring the propagation of a laser induced shock wave are conducted as well.
플라즈마를 진단하는 데에는 장비적으로나 현실적으로 많은 제약이 따른다. 따라서 측정 할 수 있는 parameter가 적다. 그리고 진단 장비의 성능에 따라서 측정된 data의 신뢰도가 결정된다. 그래서 플라즈마에 레이저를 쏘아서 생성되는 솔리톤의 RADIATION을 이용하여 플라즈마의 특성을 파악하려고 한다. 본 시뮬레이션은 Particle-In-Cell (PIC) 시뮬레이션을 이용하여 Underdense 플라즈마에 Terahertz 레이저를 쏘았을 경우 발생되는 솔리톤의 특성을 파악하였다. 2D 시뮬레이션으로 수행하였으며 플라즈마는 Underdense 플라즈마를 이용하였다. 레이저 Focusing 점의 위치와 솔리톤의 주파수, 플라즈마의 밀도 gradient 에 따른 솔리톤의 이동 및 특징, 플라즈마 밀도에 따른 솔리톤의 특징을 살펴보았다.
A large diameter slot waveguide made backward wave oscillator is investigated experimentally. The parameters of slow wave structure are chosen so that the oscillation frequency is about 20 GHz. Plasma is produced by the beam and it has favorable effects on beam propagation and Cherncov oscillation. The output power strongly enhanced when the guiding magnetic field approaches to the fundamental electron cyclotron resonance.
Rarefied cosmic plasmas generally do not achieve thermodynamic equilibria, and a natural consequence of this is the presence of a significant population of charged particles with energies well above those of the bulk population. These are exemplified by the galactic cosmic rays, but the importance of these high energy populations extends well beyond that context. I review here some of the basic issues associated with the propagation and acceleration of cosmic rays, especially in the context of collisionless plasma shocks.
To derive the optimimum antenna launching condition for fast wave current drive, the propagation and absorption of the ion cyclotron range of frequencies waves are studied in a KT-2 tokamak plasma. We sove the kinetic wave equation in one dimensional slab geometry with the phase-shifted antenna array to inject the toroidal momentum to electrons. The accessibility conditions and the guidelines of the optimum antenna design for the efficient current drive are derived. The dependence of the current drive efficiency on launching conditions such as the phase and spacing Is presented.
The propagation characteristics of high power microwave pulse in an air-breakdown environment are examined. The maximum electron density produced by microwave air-breakdown is limited to $10^6cm^{-3}$ by the tail-erosion effect. Inorder to increase the electron density, the scheme using two pulses intersecting at a desired height is considered. Increasing the carrier frequency, it is shown that microwave pulse can be transferred without the serious erosion in the numerical simulation. This result is useful for the above scheme. Also, an experiment is conducted to show the tail-erosion effect and confirm that a rapidly generated lossy plasma can cause spectral breaking and frequency shift of a high-power microwave pulse. The experimental results are presented by comparing the frequency spectrum of an incident pulse with that of the pulse transmitted through a self-induced air-breakdown environment. The experimental results show that the amount of frequency upshift is co-related with the ionization rate, whereas that of frequency downshift is correlated with the energy losses from the pulse in the self-generated plasma.
For higher component density per chip, it is necessary to identify and control the semiconductor manufacturing process more stringently. Recently, neural networks have been identified as one of the most promising techniques for modeling and control of complicated processes such as plasma etching process. Since wafer states after each run using identical recipe may differ from each other, conventional neural network models utilizing input factors only cannot represent the actual state of process and equipment. In this paper, in addition to the input factors of the recipe, real-time tool data are utilized for modeling of 64M DRAM s-poly plasma etching process to reflect the actual state of process and equipment. For real-time tool data, we collect optical emission spectroscopy (OES) data. Through principal component analysis (PCA), we extract principal components from entire OES data. And then these principal components are included to input parameters of neural network model. Finally neural network model is trained using feed forward error back propagation (FFEBP) algorithm. As a results, simulation results exhibit good wafer state prediction capability after plasma etching process.
This work presents two different methods for quantifying and propagating the uncertainty associated with fuel composition at end of life for cask criticality calculations. The first approach, the computational approach uses parametric uncertainty including those associated with nuclear data, fuel geometry, material composition, and plant operation to perform forward depletion on Monte-Carlo sampled inputs. These uncertainties are based on experimental and prior experience in criticality safety. The second approach, the data-driven approach relies on using radiochemcial assay data to derive code bias information. The code bias data is used to perturb the isotopic inventory in the data-driven approach. For both approaches, the uncertainty in keff for the cask is propagated by performing forward criticality calculations on sampled inputs using the distributions obtained from each approach. It is found that the data driven approach yielded a higher uncertainty than the computational approach by about 500 pcm. An exploration is also done to see if considering correlation between isotopes at end of life affects keff uncertainty, and the results demonstrate an effect of about 100 pcm.
An experiment was carried out to determine the effect of age and caponization on the development blood and bone characteristics development in male country chickens in Taiwan. A total of two hundred 8-wk-old LRI native chicken cockerels, Taishi meat No.13 from LRI-COA, were used as experimental animals. Cockerels were surgically caponized at 8 wks of age. Twelve birds in each group were bled and dressed from 8 wks to 35 wks of age at 1 to 5 wk intervals. The results indicated that the plasma testosterone concentration was significantly (p<0.05) lower in capons after 12 wks of age (caponized treatment after 4 wks) than that of the intact males. The relative tibia weight, bone breaking strength, cortical thickness, bone ash, bone calcium, bone phosphorus and bone magnesium contents were significantly (p<0.05) higher in intact males, while capons had higher (p<0.05) plasma ionized calcium, inorganic phosphorus and alkaline phosphatase concentration. The plasma testosterone concentration, relative tibia weight, tibia length, breaking strength, cortical thickness, bone ash, calcium, and phosphorus contents of intact males chickens increased significantly (p<0.05) with the advance of age. In addition, the relative tibia weight of capons peaked at 18 wks of age, and declined at 35 wks of age. The bone ash, calcium and phosphorus content increased most after 14 wks of age in male native chickens in Taiwan. Also, tibia length and cortical thickness peaked at 22 wks of age. However, the peak of bone strength was found at 26 wks of age. These findings support the assertion that androgens can directly influence bone composition fluxes in male chickens. Caponization caused a significant increase in bone loss at 4 wks post treatment, which reflected bone cell damage, and demonstrated reductions in the relative tibia weight, breaking strength, cortical thickness, bone ash, calcium, phosphorus and magnesium contents, and increases in plasma ionized calcium, inorganic phosphorus and alkaline phosphatase concentration.
International Journal of Control, Automation, and Systems
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제2권2호
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pp.256-262
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2004
Conventionally, profile non-uniformity has been characterized by relying on approximated profile with angle or anisotropy. In this study, a new non-uniformity model for etch profile is presented by applying a discrete wavelet to the image obtained from a scanning electron microscopy (SEM). Prediction models for wavelet-transformed data are then constructed using a back-propagation neural network. The proposed method was applied to the data collected from the etching of tungsten material. Additionally, 7 experiments were conducted to obtain test data. Model performance was evaluated in terms of the average prediction accuracy (APA) and the best prediction accuracy (BPA). To take into account randomness in initial weights, two hundred models were generated for a given set of training factors. Behaviors of the APA and BPA were investigated as a function of training factors, including training tolerance, hidden neuron, initial weight distribution, and two slopes for bipolar sig-moid and linear function. For all variations in training factors, the APA was not consistent with the BPA. The prediction accuracy was optimized using three approaches, the best model based approach, the average model based approach and the combined model based approach. Despite the largest APA of the first approach, its BPA was smallest compared to the other two approaches.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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