• 제목/요약/키워드: Pattern Fabrication

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미세입자 분사가공을 위한 3 차원 임의형상 모재용 마스크 모델링 (Mask Modeling of a 3D Non-planar Parent Material for Micro-abrasive Jet Machining)

  • 김호찬;이인환;고태조
    • 한국정밀공학회지
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    • 제27권8호
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    • pp.91-97
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    • 2010
  • Micro-abrasive Jet Machining is one of the new technology which enables micro-scale machining on the surface of high brittle materials. In this technology it is very important to fabricate a mask that prevents excessive abrasives not to machine un-intend surface. Our previous work introduced the micro-stereolithography technology for the mask fabrication. And is good to not only planar material but also for non-planar materials. But the technology requires a 3 dimensional mask CAD model which is perfectly matched with the surface topology of parent material as an input. Therefore there is strong need to develop an automated modeling technology which produce adequate 3D mask CAD model in fast and simple way. This paper introduces a fast and simple mask modeling algorithm which represents geometry of models in voxel. Input of the modeling system is 2D pattern image, 3D CAD model of parent material and machining parameters for Micro-abrasive Jet Machining. And the output is CAD model of 3D mask which reflects machining parameters and geometry of the parent material. Finally the suggested algorithm is implemented as software and verified by some test cases.

플립 칩 실장에 있어 본딩 패드 패턴의 고주파 특성 비교 (A Comparison of RF Properties of Bonding Pad in Flip-Chip Packaging)

  • 박현식;성규제;김진성;이진구
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.27-31
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    • 2003
  • 플립 칩 패키징에 있어 CPW배선 구조에 본딩 패드를 구성하여 1GHz부터 35GHz 범위에서 고주파 특성 변화를 관찰하였다. 본딩 패드로 구성된 구조들에 대한 시뮬레이션을 수행하고, 제작된 CPW의 S 파라미터를 측정하였다. 측정 결과 접지선과 신호선에 본딩 패드를 구성한 패턴은 기존 CPW의 S 파라미터 특성과 대등한 $S_{11}$은 -31 dB 이하, $S_{21}$은 -0.19 dB 이상이 관찰되었다. 아울러 접지선 폭에 따른 고주파 특성에서는 접지선 폭의 증가가 고주파 특성 개선을 가져왔다. 고주파 대역에서 플립 칩의 배선 구조로 제안된 본 연구의 본딩 패턴은 유효하였다.

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4개의 링 구조를 사용한 광대역 다이폴 안테나 설계 (The Design of Wideband Dipole Antenna using Four Rings)

  • 김상욱;이원종;오수현;이천희;박효달
    • 한국ITS학회 논문지
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    • 제10권5호
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    • pp.53-59
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    • 2011
  • 본 논문에서는 PCS/WCDMA/WiBro/Wimax 공용 중계국 안테나로서 사용 가능한 광대역 다이폴 안테나를 제안한다. 제안된 안테나는 네 개의 링 구조를 이용한 다이폴 안테나로서 기존 다이폴 안테나의 등방성 방사 특성을 나타내며 광대역 특성을 개선시킨다. 제안된 안테나의 광대역 특성과 등방성 방사 패턴을 확인하기 위하여 모의실험과 실제안테나를 제작하고, 복사특성을 측정하여 계산된 결과와 비교하였다. 측정결과는 계산 결과와 비슷하게 나타났으며 1.75~3GHz 대역에서 2dB의 이득과 2:1이하의 VSWR을 갖는 것으로 나타났다. 본 논문에서 설계된 다이폴 안테나는 PCS/WCDMA/WiBro/Wimax 공용 중계국 안테나로서 사용 할 수 있을 것으로 사료된다.

DBF 수신기를 이용한 DOA 측정시스템의 평가 (Estimation of DOA Measurement System using DBF Receiver)

  • 민경식;박철근;고지원
    • 한국전자파학회:학술대회논문집
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    • 한국전자파학회 2003년도 종합학술발표회 논문집 Vol.13 No.1
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    • pp.219-223
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    • 2003
  • This paper describes an estimation of DOA(Direction Of Arrival) measurement system using DBF receiver with linear array antenna. This DBF receiver is composed of resistive FET mixer using low IF mettled. A radio frequency(RF), a local oscillator(LO) and ail intermediate frequency(IF) considered in this research are 2.09 GHz, 2.08 GHz and 10 MHz, respectively. This receiver is composed of a band-pass filter, a low-pass filter, a DC bias circuit. DOA measurement system is consist of linear array antenna, DBF receiver, AD control box and computer in the anechoic chamber. Receiving antenna is 4-array monopole antenna and DBF receiver is 4-Ch resistive FET mixer without amplifier. DOA algorithm is implemented using MUSIC algorithm with high resolution. We show that the results of DOA is $-30^{\circ},\;0^{\circ}$ and $60^{\circ}$, respectively. And we know that DOA estimation error occur by antenna radiation pattern and fabrication error of antenna array.

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수 초 지속 40 kV, 280 kW 고전압 펄스전원장치 개발 (Development of Few-second 40 kV, 280 kW High Voltage Pulse Power Supply)

  • 김성철;남상훈;허훈;공형섭;문철;김정호;오승섭;양종원;소준호
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2015년도 제46회 하계학술대회
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    • pp.990-991
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    • 2015
  • To drive a magnetron injection gun, thsi paper decribes a design, fabrication and analysis results of proposed compact capacitor charging power supply (CCPS) formed resonant full-bridge inverter for electron gun power supply (EGPS). EGPS needs the -40 kV output voltage and 280 kW output power for few seconds continuously and have to be designed for the rise and fall time to be less than 1 ms with the ripple stability of output voltage of lower than 1%. In order to meet the requirements, we used eight resonant full-bridge modules operated in parallel. Each resonant full-bridge module can supply the current of 0.9 A and the voltage of 40 kV, and is operated by N-phase shift switching pattern. In this paper, we present the design, simulation and test results of interleaved CCPS.

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힘평형 서보 가속도계의 질량지지 장치 설계 및 제작 (Design and Fabrication of a Mass-spring System for the Force-balance Servo Accelerometer)

  • 김영담;고영준;남효덕;이두희;장호경
    • 한국음향학회지
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    • 제20권5호
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    • pp.14-20
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    • 2001
  • 힘평형 서보 가속도계의 성능특성을 결정하는 4개의 팔로 구성된 질량지지 장치를 설계·제작하였다. 팔의 두께와 인가질량의 변화에 따른 질량지지 장치의 응답특성을 유한 요소법을 이용하여 계산하고, 레이저 간섭계를 이용하여 간섭무의 수의 변화와 응답 전압값을 이용하여 가속도계의 응답특성을 측정하였다 팔의 길이와 두께가 변화함에 따라 응답특성은 크게 변화하였으며, 인가질량의 변화는 질량지지 장치의 응답특성변화에 큰 영향을 미치지 못함을 알 수 있었다. 수치해석과 레이저 간섭계로 측정한 공진주파수가 5%차이의 근사한 값을 얻을 수 있었다.

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사진식각 공정에 의한 유리 미세구조물 제작 기술 (Fabrication Technology of Glass Micro-framework by Photolithographic Process)

  • 오재열;조영래;김희수;정효수
    • 한국재료학회지
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    • 제8권9호
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    • pp.871-875
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    • 1998
  • 사진식각 공정으로 종횡비가 매우 큰 유리 미세구조물을 제작하였다. 미세구조물의 제작에는 압축응력에 강하고 전기적 절연체인 감광성 유리를 사용하였다. 감광성 유리는 석영기판 위에 크롬이 패턴된 마스크를 사용하여 파장이 312nm인 자외선에 노광되었다. $500^{\circ}C$ 이상의 열처리공정을 거친 후 초음파 분위기에서 10%의 불산용액으로 식각함으로써 유리 미세구조물을 제작하였다. 미세구조물의 최종 형상은 감광성 유리의 두께, 마스크 패턴, 자외선 노광조건 및 식각조건에 크게 의존하였으며, 종횡비가 30이상인 스트라이프 구조의 유리 미세구조물을 제작할 수 있었다.

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Fabrication and Electrical Characteristics of a Lateral type GaN Field Emission Diode

  • Lee, Jae-Hoon;Lee, Hyung-Ju;Lee, Myoung-Bok;Hahm, Sung-Ho;Lee, Jung-Hee;Choi, Kue-Man
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
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    • pp.647-650
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    • 2002
  • A lateral type GaN field emission diodes were fabricated by utilizing metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). In forming the pattern, two kinds of procedures were proposed: a selective etching method with electron cyclotron resonance-reactive ion etching (ECR-RIE) or a simple selective growth by utilizing $Si_3N_4$ film as masking layer. The fabricated device using the ECR-RIE exhibited electrical characteristics such as a turn-on voltage of 35 V for 7 ${\mu}m$ gap and an emission current of ${\sim}580$ nA/10tips at anode-to-cathode voltage of 100 V These new field emission characteristics of GaN tips are believed to be due to a low electron affinity as well as the shorter inter-electrode distance.

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실리콘 기판을 이용한 Ku-band용 Band Pass Filter 설계에 관한 연구 (Study on a design of Band Pass Filter C-band using silicon substrate)

  • 이태일;최명률;박인철;김홍배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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    • pp.219-222
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    • 2003
  • In this paper, we designed a Ku-band BPF(Band Pass Filter) by microstrip line that most usually used a microwave device design and fabrication. Here a substrate of designed BPF were silicon substrate(${\varepsilon}_r=11.8$), and metal line was copper and silver/copper structure. And a configration of BPF was used hairpin pattern. A center frequency of designed BPF was 10GHz and their FBW(Fractional Band Width) was 20%(2GHz). It presented simulated results obtained for a 10GHz filter which yields an insertion loss of 0.1dB that ripple value related chebyshev reponse. Finallt we tried to make that a 30dB attenuation frequency was 20% of center frequency.

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핀-핀 형 전극의 전기-수력학 프린팅에서 전극 직경이 미세 세라믹 패턴 형성에 미치는 영향 (Effect of Electrode Diameter on Pine Ceramic Pattern Formed by Using Pin-To-Pin Type Electro-Hydrodynamic Printing)

  • 이대영;유재훈;류태우;황정호;김용준
    • 정보저장시스템학회논문집
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    • 제1권1호
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    • pp.108-114
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    • 2005
  • The generation of fine relics of suspensions is a significant interest as it holds the key to the fabrication of electronic devices. These processes offer opportunities for miniaturization of multilayer circuits, for production of functionally graded materials, ordered composites and far small complex-shaped components. Some novel printing methods of depositing ceramic and metal droplets were suggested in recent years. In an electro-hydrodynamic printing, the metallic capillary nozzle can be raised to several kilovolts with respect to the infinite ground plate or pin-type electrode positioned a few millimeters from the nozzle tip. Depending on the electrical and physical properties of the liquid, for a given geometry, it Is possible to generate droplets in any one of three modes, dripping, cone-jet and multi-jet. In this experiment, an alumina suspension flowing through a nozzle was subjected to electro-hydrodynamic printing using pin-type electrodes in the cone-jet mode at different applied voltages. The pin-type electrodes of 1, 100, 1000${\mu}m$ in diameter were used to form fine ceramic patterns onto the substrates. Various feature sizes with applied voltages and electrode diameters were measured. The feature sizes increased with the electrode diameter and applied voltages. The feature size was as fine as $30 {\mu}m$.

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