Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1999.07a
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pp.80-80
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1999
플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 공정을 간단히 하기 위하여 포토레지스트, ITO, 격벽재료를 Ar+ laser(λ-514 nm, CW)와 Nd:YAG laser(λ=532, 266nm, pulse)로 직접 패터닝 하였다. 레이저에 의한 포토레지스트의 패턴결과, 아르곤 이온 레이저의 포토레지스트 가공의 반응 메카니즘은 레이저 빔의 열에 의한 시료 표면의 국부적인 온도상승에 의한 용융작용이며, 그 결과 식각 후 형성된 패턴의 단면 모양도 레이저빔의 profile과 같은 가우시안 형태를 나타낸다. Nd:YAG 레이저의 4고조파(532nm)를 이용한 경우 200$\mu\textrm{m}$/sce의 주사속도에서 포토레지스트를 패턴하기 위한 임계에너지(threshold energy fluence) 값은 25J/cm2이며, 약 40J/cm2의 에너지 밀도에서 하부기판의 손상이 발생하기 시작하였다. 글미 1은 Nd:YAG 레이저 4고조파를 이용하여 포토레지스트를 식각한 경우 SEM 표면사진(위)과 단차특정기에 의한 단면형상(아래)이다. ITO 막의 레이저에 의한 직접 패턴 결과, ITO 막은 레이저 펄스에 의한 급속 가열 및 증발에 의한 메커니즘으로 식각이 이루어지며, 레이저 파장에 따른 광흡수 정도의 차이에 의해 2고조파 (532nm)에서 ITO 막의 가공 품질이 4고조파(266nm)에 비해 우수하며 패턴의 폭도 출력에 따라 제어가 용이하였다. 그림 2는 Nd:YAG 레이저 2고조파를 이용하여 ITO를 식각한 경우 SEM표면 사진(위)과 단차측정기에 의한 단면형상(아래)이다. 격벽 재료의 레이저에 의한 직접 패턴 결과, Ar+ 레이저(514nm)는 출력 밀도 32NW/cm2에서 격벽을 유리 기판의 경계면까지 식각하였다. Nd:YAG 레이저(532nm)는 laser fluence가 6.5mJ/cm2에서 격벽을 식각하기 시작하였으며, 19.5J/cm2에서 유리기판의 rudraus(격벽 두께 130$\mu\textrm{m}$)까지 식각하였다.
For the rib materials in PDP(plasma display panel), an effective method to improve the mechanical properties is to form a composite material by reinforcing a glass matrix with rigid fillers, such as alumina and titania powders. In this study, two types of ribs with different volume percent of fillers and with different glass matrix were tested for hardness, Young's modulus with the Berkovich indentation. As a result, cracks appeared around at the load of 1345 mN for the dense type of rib, while porous one endured until 2427 mN without any crack formation. Young's modulus and hardness decreased at the range: 90∼65 GPa, 9∼4 GPa, respectively as a function of indent load. Thus, a new method with nanoindenter represents a possible evaluation method for mechanical properties of barrier ribs.
Journal of the Korean Graphic Arts Communication Society
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v.21
no.2
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pp.67-74
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2003
Barrier ribs for PDP(plasma display panel) are commonly utilized to have uniform height and width and to prevent opical crosstalk between adjacent cells. The requirements for such barrier ribs are uniform height and shape, low outgassing rate and low porosity, high aspect ratio, and fine resolution. In this study, we are studied about that to make efficiency of material and high quality barrier ribs for PDP. As a result, could got high barrier ribs of $140{\mu}m$ evenly in 1th phenomenon using watersoluble UV curing resin and know that flatness of upper part is also very good.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2003.06a
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pp.46-49
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2003
Microsystem technology (MST) which originated from semiconductor processes has been widely spreaded into tile other industry such as sensors, micro fluidics and displays. The MST, however. has been troubled in spreading with its high cost and material limitations. So, in this paper, new process for micromolding technology using silicone rubber mold was introduced. Silicone rubber mold, which was fabricated by vacuum casting. can be transferred a master pattern to a final product with the same shape but different materials. In order to verify the possibility of application of silicone rubber mold to the MST, its transferability was evaluated. and then it applied to the fabrications of polishing pad and PDP barrier ribs.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.27
no.8
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pp.1380-1387
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2003
Microsystem technology (MST) which originated from semiconductor processes has been widely spreaded into the other industry such as sensors, micro fluidics and displays. The MST, however, has been troubled in spreading with its high cost and material limitations. So, in this paper, new process for micromolding technology using silicone rubber mold was introduced. Silicone rubber mold, which was fabricated by vacuum casting, can be transferred a master pattern to a final product with the same shape but different materials. In order to verify the possibility of application of silicone rubber mold to the MST, its transferability was evaluated, and then it applied to the fabrications of polishing pad and PDP barrier ribs.
기존의 fence전극구조는 ITO구조에 비해 휘도가 감소하여 효율이 떨어지는 것으로 알려져 있다. 따라서 효율 상승을 위하여 다음과 같은 fence 구조를 제안하였다. 실험은 reference(II-fence형 전극구조)와 제안된 구조(II-fence형 돌기격벽측배치)로 구성되어있는 4-inch AC-PDP 패널을 직접 제작하여 discharge current, luminance, luminous efficiency를 측정하여 비교하였다. 제안된 구조의 휘도는 약 5% 감소하였으나, 방전전류가 최대 14% 감소하였고, 효율면에서 최대 12%의 효율 상승을 가진다.
Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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2003.11a
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pp.196-196
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2003
현재 PDP(Plasma Display Panel) 상판의 유전체층은 저온에서 소성이 가능한 저융점 유리가 요구되기 때문에 융점을 낮추기에 용이한 PbO계가 주 성분으로 사용되어 오고 있으나. 최근 환경오염 등의 문제점으로 인해 Pb-free을 추구하는 새로운 유리조성의 연구가 많이 수행되고 있다. 이에 본 연구는 이미 PDP의 격벽과 봉착용 조성으로 많이 연구되어진 비스무스계 유리를 고려하여 PDP의 투명유전체용 조성을 찾고자 한다. Bi$_2$O$_3$-ZnO-SiO$_2$3원계를 기본으로 하는 유리조성에 유리망목형성제등을 첨가하여 열적특성과 광학적 특성을 조사하였다. 열적특성은 DTA를 이용하여 유리 전이 점(Tg) 및 융점(Tl)등을 측정하였고 TMA를 이용하여 선팽창계수(CTE)를 측정하였으며 유리섬유를 제조한 후 Littleton softening point (Ts)를 측정하였다. 광학적 특성은 페이스트를 제조하여 스크린프린팅 후 54$0^{\circ}C$~$600^{\circ}C$에서 1-2 h동안 소성하여 투광성을 조사하였다. 그 결과로, 열적특성으로는 400~5$50^{\circ}C$의 Tg, 450~$600^{\circ}C$의 Ts 및 5~11$\times$$10^{-6}$K의 CTE 값을 나타 내었고 광학적 특성으로 투광성은 양호한 특성(60% 이상)을 나타내었다. Bi$_2$O$_3$ 계를 현재 PDP의 투명유 전체에 적용시키기에는 유리용융시에 높은 점도와 환원 등의 문제점을 갖고 있지만 열적특성과 광학특성면에서는 가능성을 제시하여 향후 연구를 할 가치가 있다고 본다.
The PDP(Plasma Display Panel) barrier rib was fabricated by focused $Ar^+$ laser ($\lambda$=514nm) and Nd:YAG($\lambda$=532, 266 nm) laser irradiation. The depth of the etched groove increases with increasing a laser fluence. and decreasing a scan speed. Using the second harmonic of the Nd:YAG laser, the threshold laser fluence was $6.5mJ/cm^2$ for the sample of PDP barrier rib dried at $120^{\circ}C$. The thickness of $150{\mu}m$ of the sample on the glass was etched without any damage on the glass substrate by fluence of $19.5J/cm^2$. The barrier rib sample on hot plate was etched by Nd:YAG laser(532 nm) as increasing a temperature of the sample. In this case, the etch rate was $95{\mu}m/s$, $190{\mu}m/s$ at room temperature, $175^{\circ}C$ respectively.
Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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v.12
no.4
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pp.23-28
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2003
This paper describes the machining characteristics of a developed micro grooving machine. Experiments have been conducted on the various grooving condition such as spindle revolution speed, feed rate and depth of groove. V and U-shaped blade tool and STD11 workpiece was used in this study. To evaluate the developed micro grooving machine, AE signal obtained from each experimental condition was analyzed, and cutting stability was compared with the surface state. As a result this study presented the process to optimize grooving condition and possibility of application of AE technique in groove machining.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2003.06a
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pp.542-546
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2003
This paper describes the machining characteristics of a developed micro grooving machine. Experiments have been conducted on the various grooving condition such as spindle revolution speed, feed rates and depth of groove. V and U-shaped blade tool and STD11 workpiece was used in this study. Evaluating the machining conditions, RMS and frequency spectrum analysis of AE(acoustic emission) signals according to each conditions were applied. As a result, this study presented the process to optimize micro grooving condition and possibility of application of AE technique in groove machining.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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