• 제목/요약/키워드: Oxidation layer

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증착방법을 달리한 $TiO_2$ 박막의 표면처리에 따른 저항변화 특성 연구

  • 성용헌;김상연;도기훈;서동찬;조만호;고대홍
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.206-206
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    • 2010
  • 정보화 기술이 급속히 발전함에 따라서 보다 많은 양의 data를 전송, 처리, 저장 하게 되면서 이를 처리 할 수 있는 대용량, 고속, 비휘발성의 차세대 메모리의 개발이 요구 되고 있다. 이 중 저항 변화 메모리(ReRAM)는 일반적으로 전이금속산화물을 이용한 MIM 구조로서 적당한 전기 신호를 가하면 저항이 높아서 전도되지 않는 상태(Off state)에서 저항이 낮아져 전도가 가능한 상태(On state)로 바뀌는 메모리 특성을 가진다. ReRAM은 비휘발성 메모리이며 종래의 비휘발성 기억소자인 Flash memory 보다 access time이 $10^5$배 이상 빠르며, 2~5V 이하의 낮은 전압에서 동작이 가능하다. 또한 구조가 간단하여 공정상의 결함을 현저히 줄일 수 있다는 점 등 많은 장점들이 있어서 Flash memory를 대체할 수 있는 유력한 후보로 여겨지고 있다. 저항 변화의 특징을 잘 나타내는 물질에는 $TiO_2$, $Al_2O_3$, $NiO_2$, $HfO_2$, $ZrO_2$등의 많은 전이금속산화물들이 있다. 본 연구에서는 Reactive DC-magnetron Sputtering 방법과 DC-magnetron sputter를 이용하여 Ti를 증착한 후 Oxidation 방법으로 각각 증착한 $TiO_2$박막을 사용하여 저항변화특성을 관찰하였다. $TiO_2$상부에 Atomic Layer Deposition (ALD)를 이용하여 $HfO_2$ 박막을 증착하여 표면처리를 하고, 또한 $TiO_2$에 다른 전이 금속박막 층을 추가 증착하여 저항변화 특성에 접합한 조건을 찾는 연구를 진행하였다. 하부 전극과 상부 전극 물질로는 Si 100 wafer 위에 Pt 또는 TiN을 사용하였다. 저항변화 특성을 평가하기 위해 Agilent E5270B를 이용하여 current-voltage (I-V)를 측정하였다. X-ray Diffraction (XRD)를 이용하여 증착 된 전기금속 박막 물질의 결정성을 관찰했으며, Atomic Force Microscopy (AFM)을 이용하여 증착 된 샘플의 표면을 관찰했다. SEM과 TEM을 통해서는 sample의 미세구조를 확인 하였다.

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열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향 (RTA Post-treatment of Thermal T${a_2}{O_5}$ Thin Films)

  • 문환성;이재석;한성욱;박상균;양승지;이재천;박종완
    • 한국재료학회지
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    • 제3권3호
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    • pp.310-315
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    • 1993
  • P-type(100)Si Wafer 위에 400$\AA$의 Ta를 증착하여 열산화법으로 ${Ta_2}{O_5}$박막을 형성시킴 후 RTA후처리를 통하여 절연파괴전장 특성 개선을 이루고자 하였다. 유전상수에 미치는 RTA후처리의 영향은 미약하지만 절연파괴전장을 나타내었으나 결정화 온도 이하의 RTA온도에서는 절연파괴전장이 5.4MV/cm로 RTA효과가 크게 나타났다. 이러한 RTA효과는 RTA온도 $575^{\circ}C$에서 flat band voltage shift가 RTA 시간에 따라 변화가 없는 것으로 미루어 보아 RTA효과는 계면 변화에 의한 것이 아님을 알 수 있었으며, RBS 분석을 통하여 ${Ta_2}{O_5}$1박막의 치밀화에 의한 것임을 확인할 수 있었다.

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양극 산화에 의해 티타늄 표면에 형성된 산화 피막이 세포 부착 및 성장에 미치는 영향 (Influence of Anodic Oxidation Film Formed on Titanium onto Cell Attachment and Proliferation)

  • 노세라;이용렬;송호준;박영준
    • 한국재료학회지
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    • 제16권10호
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    • pp.606-613
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    • 2006
  • This study was purposed to evaluate the influence of anodically oxidized film on titanium (Ti) onto MG-63 osteoblast-like cell attachment and activity. Only scratch lines created by polishing were seen in ASR and ANO-1 groups. About $1.5{\mu}m$-thick homogeneous oxide film which has pores of about $0.5{\mu}m$ diameter were formed in ANO-12. The crystalline structure of the oxide films formed by anodization in phosphoric acid electrolyte was $TiP_2O_7$. The total protein amounts of ANO-1 and ANO-12 groups showed higher values of maximum protein amount than that of AS-R group. At 3 days of incubation, total protein amount showed higher value in ANO-2 when comparing to that of AS-R (p<0.05). Based on the results of ALPase activity test, the degree of MG-63 cell differentiation for initial mineralization matrix formation was similar. For all the test groups after 1 day of incubation, MG-63 cells grew healthily in mono-layer with dendritic extensions. After incubation for 3 days, the specimen surfaces were covered more densely by cells, and numerous micro filaments were extruding to the extracellular matrix.

950℃ 순수헬륨 분위기에서 크리프 파단된 Alloy 617의 미세구조적 고찰 (Microstructural Investigation of Alloy 617 Creep-Ruptured in Pure Helium Environment at 950℃)

  • 이경근;정수진;김대종;김우곤;박지연;김동진
    • 한국재료학회지
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    • 제21권11호
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    • pp.596-603
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    • 2011
  • The very high temperature gas reactor (VHTR) is one of the next generation nuclear reactors for its safety, long-term stability, and proliferation-resistance. The high operating temperature of over 800$^{\circ}C$ enables various applications with high energy efficiency. Heat is transferred from the primary helium loop to the secondary helium loop through the intermediate heat exchanger (IHX). The IHX material requires creep resistance, oxidation resistance, and corrosion resistance in a helium environment at high operating temperatures. A Ni-based superalloy such as Alloy 617 is considered as a primary candidate material for the intermediate heat exchanger. In this study, the microstructures of Alloy 617 crept in pure helium and air environments at 950$^{\circ}C$ were observed. The rupture time in helium was shorter than that in air under small applied stresses. As the exposure time increased, the thickness of outer oxide layer of the specimens clearly increased but delaminated after a long creep time. The depth of the carbide-depleted zone was rather high in the specimens under high applied stress. The reason was elucidated by the comparison between the ruptured region and grip region of the samples. It is considered that decarburization caused by minor gas impurities in a helium environment caused the reduction in creep rupture time.

담수에서 분리한 Betaproteobacteria GR16-43의 유전체 염기서열 분석 (Complete genome sequence of Betaproteobacteria strain GR16-43 isolated form a freshwater pond in South Korea)

  • 최아영;백기운;정유진;김지환;최강국
    • 미생물학회지
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    • 제53권4호
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    • pp.320-322
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    • 2017
  • 그람 음성이며 긴 막대 모양의 betaproteobacteria에 속하는 GR16-43을 한강 발원지 검룡소에서 분리하였다. GR16-43 균주에 대한 유전체분석을 실시하였으며, G + C 비율이 67.12%인 4,806,848 bp 크기의 염기서열을 얻었다. 유전체 특징은 황산화와 관련된 다량의 유전자를 보유하고 있어 균주의 잠재적 중요성을 보여준다. 이러한 결과는 GR16-43 균주가 빈영양 담수 환경에서의 적응 연구를 위한 유전체 정보를 제공한다.

자외선 흡수제로서의 식물추출성분의 안정성과 효과 (The effect and stability of plant extract ingredient as uv absorber)

  • 김경동;이용두;박성순;윤성화;이석현
    • 대한화장품학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.41-58
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    • 2000
  • 최근 환경오염으로 인한 지구오존층의 파괴로 자외선의 지표면의 도달 량이 증가하고 그로 인한 인간에 대한 피해가 증가하고 있다 . 과도한 자외선의 피부에 대한 직접적인 노출은 피부에 많은 문제점을 야기하므로 일차적으로 자외선차단제를 이용하여 인체에 대한 직접적인 피해를 최소화 해야한다 . 현재 자외선 차단제는 유기자외선흡수제와 무기자외선산란제가 많이 사용이 되는데 적은량으로도 효과가 높은 유기자외선차단제는 사용 시 주의를 요하므로 국가별로 사용량과 사용여부에 대하여 규제를 하고 있다. 본 연구에서는 플라보노이드류 ,알카로이드류 같은 자외선 흡수 성분을 함유한 식물중 UV/vis spectrophotometer 에서 자외선 흡수 peak을 나타내는 금은화 , 포공영, 녹차 , 황금추출물을 이용하여 화장품의 자외선 흡수제로서의 사용가능성여부를 조사하였다. 또한 식물추출물이 가진 자극성 성분과 오염성, 그들이 가진 유효성분들을 보호하고자 실리콘을 이용한 겔화를 시도하였다 . 자연친화적인 천연물로써 식물추출성분을 이용 유기자외선흡수제의 사용량을 줄이는 자외선홉수보조제로서 가능성을 보여주었다.

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전자폐기물에서 회수된 조금속으로부터 팔라듐 분리를 위한 전해공정에 관한 연구 (A Study on the Electrolytic Process for Palladium Separation from Recovered Crude Metal of Electronic Waste)

  • 박성철;한철웅;김용환;정연재;이만승;손성호
    • 자원리싸이클링
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    • 제30권6호
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    • pp.76-82
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    • 2021
  • 폐 전자폐기물에서 건식정련 및 팔라듐 농축공정으로 제조된 조금속으로부터 팔라듐 분리 및 고순도 동 회수가 가능한 전해공정 연구를 수행하였다. 조금속 내 팔라듐 및 불순금속을 전해분리 시키기 위한 기초 연구로서 각 금속별 산화전위를 평가한 결과 구리, 철 및 니켈은 전해액에 용해되고, 팔라듐 및 알루미늄은 산화물 형태 슬라임 회수가 가능한 것으로 나타났다. 조금속 사용 팔라듐 분리 전해공정 시 팔라듐은 산화물 형태의 슬라임으로 분리되어 97.46 %의 손실이 거의 없는 팔라듐 회수가 가능하였고, 음극에서의 전착층에서는 4N급 구리를 회수하였다.

Characteristics of Sr2Ni1.8Mo0.2O6-δ Anode for Utilization in Methane Fuel Conditions in Solid Oxide Fuel Cells

  • Kim, Jun Ho;Yun, Jeong Woo
    • Journal of Electrochemical Science and Technology
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    • 제10권3호
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    • pp.335-343
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    • 2019
  • In this study, $Sr_2Ni_{1.8}Mo_{0.2}O_{6-{\delta}}$ (SNM) with a double perovskite structure was investigated as an alternative anode for use in the $CH_4$ fuel in solid oxide fuel cells. SNM demonstrates a double perovskite phase over $600^{\circ}C$ and marginal crystallization at higher temperatures. The Ni nanoparticles were exsolved from the SNM anode during the fabrication process. As the SNM anode demonstrates poor electrochemical and electro-catalytic properties in the $H_2$ and $CH_4$ fuels, it was modified by applying a samarium-doped ceria (SDC) coating on its surface to improve the cell performance. As a result of this SDC modification, the cell performance improved from $39.4mW/cm^2$ to $117.7mW/cm^2$ in $H_2$ and from $15.9mW/cm^2$ to $66.6mW/cm^2$ in $CH_4$ at $850^{\circ}C$. The mixed ionic and electronic conductive property of the SDC provided electrochemical oxidation sites that are beyond the triple boundary phase sites in the SNM anode. In addition, the carbon deposition on the SDC thin layer was minimized due to the SDC's excellent oxygen ion conductivity.

칼슘 증기에 의한 Ti-48Al-2Cr-2Nb 분말의 산소 저감 및 표면 화학적 상태 분석 (Evaluation of Oxygen Reduction and Surface Chemical State of Ti-48Al-2Cr-2Nb Powder by Ca Vapor)

  • 김태헌;권한중;임재원
    • 한국분말재료학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.31-37
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    • 2021
  • This study explores reducing the oxygen content of a commercial Ti-48Al-2Cr-2Nb powder to less than 400 ppm by deoxidation in the solid state (DOSS) using Ca vapor, and investigates the effect of Ca vapor on the surface chemical state. As the deoxidation temperature increases, the oxygen concentration of the Ti-48Al-2Cr-2Nb powder decreases, achieving a low value of 745 ppm at 1100℃. When the deoxidation time is increased to 2 h, the oxygen concentration decreases to 320ppm at 1100℃, and the oxygen reduction rate is approximately 78% compared to that of the raw material. The deoxidized Ti-48Al-2Cr-2nb powder maintains a spherical shape, but the surface shape changes slightly owing to the reaction of Ca and Al. The oxidation state of Ti and Al on the surface of the Ti-48Al-2Cr-2Nb powder corresponds to a mixture of TiO2 and Al2O3. As a result, the peaks of metallic Ti and Ti suboxide intensify as TiO2 and Al2O3 in the surface oxide layer are reduced by Ca vapor deposition.

Effect of dietary pumpkin (Cucurbita moschata) seed meal on layer performance and egg quality characteristics

  • Vlaicu, Petru Alexandru;Panaite, Tatiana Dumitra
    • Animal Bioscience
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    • 제35권2호
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    • pp.236-246
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    • 2022
  • Objective: The objective of this study was to investigate the effect of dietary pumpkin (Cucurbita moschata) seed meal (PSM) on laying hens' performance, quality, fatty acids, cholesterol, antioxidant compounds and shelf life of eggs. Methods: Eighty Tetra SL laying hens, 50-week-old, were randomly divided into two equal groups, having 10 replicates with 4 birds in each. The control (CON) treatment was fed with basal diet, while experimental treatment was fed a diet with 9% PSM, for a 6 week period. Results: Dietary PSM significantly decreased average daily feed intake (p<0.05), with no significant effect on other performance parameters. The PSM, enriched the eggs with polyunsaturated fatty acids, especially α linolenic acid (0.33 vs 0.21 g/100 g) and linoleic acid (20.65 vs 18.37 g/100 g), whereas it reduced the amount of arachidonic acid with 3.91% and n-6/n-3 ratio in PSM eggs compared with CON. The inclusion of 9% PSM significantly (p<0.05) diminished the cholesterol concentration in yolk with 11.31% and in egg with 10.38%, in respect to the CON samples. The significantly (p<0.05) higher concentration of polyphenols and antioxidant compounds, determined in PSM eggs, proved to be effective on shelf life of eggs preserved at refrigerator (5℃) and room temperature (21℃) for 28 days, by delaying the lipid oxidation and protein denaturation. This effect was reflected in significantly (p<0.05) higher Haugh unit in eggs stored 28 days at 21℃ and lower albumen pH values for the overall storage time, both at 5℃ and 21℃, proving the antioxidant effect of pumpkin. Conclusion: Dietary PSM supplementation was significantly effective on average daily feed intake and egg quality by increasing some fatty acids while lowering the cholesterol concentration. Also, PSM proved to be effective improving shelf life of eggs for 28 days storage time.