Investigation of Annealing Effect for a-SiC:H Thin Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (플라즈마 화학기상 증착방식으로 성장시킨 비정질 실리콘 카바이드 박막의 열처리 효과에 관한 특성분석)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.13 no.10
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- pp.817-821
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- 2000