• 제목/요약/키워드: Optical Fabrication

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이온빔을 이용한 최근의 광학박막 제조기술 동향 (Recent trends in optical thin film fabrication techniques using ion beam)

  • 황보창권
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 1990년도 광학 및 양자전자학 워크샵
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    • pp.59-67
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    • 1990
  • 최근 레이저 기술의 발달과 광학 부품의 고급화 추세에 따라, 광학 박막의 성능을 개선하기 위해, 이온 빔을 이용한 여러 기술이 개발 중이거나 생산에 사용되고 있다. 본 논문에서는 각 기술의 방법, 구조 및 제작된 박막의 특성 등을 비교 분석한다.

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