• 제목/요약/키워드: O2/Ar ratio

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Co-sputtering법으로 제작한 ZnTe 태양전지의 특성 (Characteristics of the ZnTe solar cell by the co-sputtering methods)

  • 장유진;김성우;최혁환;이명교;권태하
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제8권2호
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    • pp.440-448
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    • 2004
  • 본 논문에서는 II-Vl족의 ZnTe 화합물반도체 태양전지를 제작하기 위하여 투명전극(AZO) 및 Buffer layer(ZnO)의 특성과 태양전지의 효율에 가장 큰 영향을 미치는 광흡수층의 에너지밴드갭을 줄이는 연구를 하였다. ZnTe박막은 Zn(Zinc)과 Te(Tellurium)를 co-sputtering법을 이용하여 증착하였다. ZnTe 박막은 Zn과 Te의 RF power를 각각 50W, 30W로 하여 10mTorr의 Ae 분위기에서 20$0^{\circ}C$의 기판온도로 제작되었으며, 이때의 에너지밴드갭은 1.73eV였다. 이렇게 제작된 박막을 진공상태에서 $400^{\circ}C$의 온도로 10초간 열처리하여 1.67eV의 에너지밴드갭을 얻을 수 있었고, 이때의 Zn과 Te의 비율은 32%:68%였다. 최적의 조건에서 태양전지는 6.85% (Voc:0.69V, Jsc:21.408㎃/$cm^2$, Fill Factor (FF):0.46)의 효율을 얻을 수 있었다.

증착조건 및 열처리 분위기가 CaWO4 형광체의 발광특성에 미치는 영향 (Effect of Deposition Parameters and Post-annealing on the Luminescent Properties of CaWO4 Phosphor)

  • 한상혁;정승묵;송국현;김영진
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권10호
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    • pp.949-953
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    • 2003
  • 청색 발광특성을 갖는 CaWO$_4$ 형광체를 rf 마그네트론 스퍼터링 방법으로 박막화를 시도하고,증착변수와 열처리 조건이 발광특성에 미치는 영향을 관찰하였다. 증착조건인 산소/아르곤 가스비, 기판온도에 따라서 박막의 구조적, 화학양론적 물성이 크게 영향을 받고 있었다. 후 열처리 공정에 의하여 발광특성의 향상을 얻을 수 있었다. 산소공공에 의한 청록색 영역의 발광도 관찰되었으며, 박막내의 산소결함이 제어되면서 청색 발광스펙트럼을 얻을 수 있었다.

몬테칼로법을 이용한 Ar기체의 전자수송계수에 관한 연구 (A study on the electron transport coefficients using monte carlo method in argon gas)

  • 하성철;전병훈
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제8권6호
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    • pp.685-692
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    • 1995
  • The electron transport coefficients in argon gas is studied over the range of E/N values from 85 to 566 Td by the Monte Carlo method considering the latest cross section data. The result of the Monte Carlo method analysis shows that the value of the electron transport coefficients such as the electron drift velocity, the ratio of the longitudinal and transverse diffusion coefficients to the mobility. It is also found that the electron transport coefficients calculated by the two-term approximation analysis agree well with those by Monte Carlo calculation. The electron energy distributions function were analysed in argon at E/N=283, and 566 Td for a case of the equilibrium region in the mean electron energy. A momentum transfer cross section for the argon atom which was consistent with both of the present electron transport coefficients was derived over the range of mean electron energy from 10.3 to 14.5 eV, also suggested as a set of electron cross section for argon atom. The validity of the results obtained has been confirmed by a Monte Carlo simulation method.

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나노 실리카와 카본블랙이용 탄화열 반응으로 나노 SiC 합성 및 특성 (Synthesis of SiC Nanoparticles by a Sol-Gel Process)

  • 정광진;배동식
    • 한국재료학회지
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    • 제23권4호
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    • pp.246-249
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    • 2013
  • Nano-sized ${\beta}$-SiC nanoparticles were synthesized combined with a sol-gel process and a carbothermal process. TEOS and carbon black were used as starting materials for the silicon source and carbon source, respectively. $SiO_2$ nanoparticles were synthesized using a sol-gel technique (Stober process) combined with hydrolysis and condensation. The size of the particles could be controlled by manipulating the relative rates of the hydrolysis and condensation reactions of tetraethyl orthosilicate (TEOS) within the micro-emulsion. The average particle size and morphology of synthesized silicon dioxide was about 100nm and spherical, respectively. The average particles size and morphology of the used carbon black powders was about 20nm and spherical, respectively. The molar ratio of silicon dioxide and carbon black was fixed to 1:3 in the preparation of each combination. $SiO_2$ and carbon black powders were mixed in ethanol and ball-milled for 12 h. After mixing, the slurries were dried at $80^{\circ}C$ in an oven. The dried powder mixtures were placed in alumina crucibles and synthesized in a tube furnace at $1400{\sim}1500^{\circ}C$ for 4 h with a heating rate of $10^{\circ}C$/min under flowing Ar gas (160 cc/min) and furnace cooling down to room temperature. SiC nanoparticles were characterized by XRD, TEM, and SAED. The XRD results showed that high purity beta silicon carbide with excellent crystallinity was synthesized. TEM revealed that the powders are spherical shape nanoparticles with diameters ranging from 15 to 30 nm with a narrow distribution.

Modified Teuscher Appliance의 치료효과에 관한 연구 (An Evaluation of treatment effects of modified teuscher appliance in class II division 1 mallocclusion)

  • 안석준;김충배;남동석
    • 대한치과교정학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.403-414
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    • 2001
  • 본 연구의 목적은 modified Teuscher Appliance(MTA)와 bionator를 이용하여 치료한 II급 1류 부정교합 환자의 치료전후 측모 두부방사선계측사진을 비교분석함으로써 두 장치 사이의 치료효과에 대한 차이를 밝혀내어 성장하는 II급 1류 부정교합을 가진 환자들의 치료에 도움을 얻는데 있다. MTA 및 bionator를 이용하여 성공적으로 치료한 혼합치열기 II급 1류 부정교합 환자 20명의 치료전과 치료후 두부방사선계측사진의 계측항목을 계측한 후, 두군 사이에 나타나는 치료효과의 차이를 알아보기 위해 치료전후 항목의 차이를 구하였다. 이 항목들에 대해 t-test를 시행하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 양군 사이에 통계적인 유의성이 나타난 선계측 항목으로 U1 to FH, U1 to PP, U6, to PP, U6 to FH, Ar-Pog, ramus height(S-Go), L1 to A-Pog, L1 to facial plane 등이 있었다(p<0.05). 2. 양군 사이에 통계적 유의성이 크게 나타난 각도계측 항목으로 SNB, SNA, FABA(FH to AB plane angle), APDI 등이 있었다(p<0.05). 3. 양군 사이에 성장양상을 나타내는 Facial height ratio, $Bj\ddot{o}rk$ sum, FMA, SN-MP angle 등은 통계적인 유의성을 보이지 않았다(p>0.05). 이 상의 결과를 통해 II급 1류 부정 교합을 치료하는데 있어 bionator는 주로 하악골과 하악치열에 상대적으로 효과가 크게 나타나며, MTA는 상악골과 상악치열에 더 큰 효과가 나타남을 알 수 있었다. 이런 결과는 두 장치가 각기 다른 치료기전을 가지고 있으므로, 다른 종류의 부정교합에 적용해야 한다는 것을 가리킨다.

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동해안지역 온천유형별 수리화학적 특성 및 영족기체 기원 (Hydrochemistry and Noble Gas Origin of Various Hot Spring Waters from the Eastern area in South Korea)

  • 정찬호;;김규한;최훈공;;박지선;박충화;이종익;허순도
    • 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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    • 제13권1호
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    • pp.1-12
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    • 2008
  • 이 연구는 한반도 동해안 일대에 분포하고 있는 주요 온천에 대하여 화학성분, 안정동위원소, 삼중수소 그리고 헬륨과 아르곤 같은 영족기체의 동위원소 특성을 분석하여 온천유형별 온천수의 지화학적 특성을 밝히고, 영족기체의 기원을 규명하고자 하였다. 이를 위하여 동해안 일대의 6개 온천지에서 11개의 온천수 시료와 14개의 가스시료를 채취하여 분석하였다. 온천수의 수리화학적 특성을 보면 오색탄산온천수를 제외한 모든 온천수의 pH는 $7.0{\sim}9.1$ 범위의 약알카리성 내지 알카리성을 보이며 오색탄산온천의 pH는 5.7의 약산성의 특성을 보였다. 온천수의 토출온도는 $25.7{\sim}68.3^{\circ}C$ 범위를 보였으며 전기전도도는 $202{\sim}7,130{\mu}S/cm$의 넓은 범위로 해운대와 동래온천은 평균 $3,890{\mu}S/cm$으로 높은 값을 보인다. 온천을 용존성분에 따른 분류하면 오색, 척산, 백암, 덕구온천은 소량의 유황가스 함유한 알카리성의 Na-$HCO_3$형으로 분류되고, 해운대와 동래온천은 높은 TDS(총용존고형물질)의 해수형 Na-Cl형을 보인다. 그리고 오색탄산온천은 약산성으로 탄산을 함유한 Na-$HCO_3$형으로 분류된다. 연구지역 온천수의 ${\delta}^{18}O$${\delta}D$값은 각각 $-7.8{\sim}-11.7%o$$-57.3{\sim}86.4%o$의 범위를 보여 온천수가 순환수 기원임을 지시한다. 위도가 높아질수록 낮은 동위원소 조성 값을 보이는 위도효과가 잘 나타난다. 일부 해수형온천수의 삼중수소 함량은 거의 0 TU에 가까운 값을 보여 최소 약 50년 이상 체류한 물임을 알 수 있다. 오색탄산온천수를 제외한 온천수의 $^3He/^4He$ 동위원소비는 $0.1{\times}10^{-6}{\sim}1.1{\times}10^{-6}$ 범위를 보여, 대기-지각 혼합선보다 상위에 분포한다. 이는 온천수내 He 가스가 대부분 대기와 지각기원이며, 일부는 맨틀기원의 He 가스가 부분적으로 존재한다는 것을 의미한다. 판 경계부에 위치한 일본의 온천수내 He가스는 대부분이 맨틀기원으로 알려져 있어 판 경계부에서 떨어진 우리나라의 경우와 뚜렷한 차이를 보인다. 그러나, 오색탄산온천에서는 대기기원 He 동위원소비보다 2.4배 높은 값인 $3.3{\times}10^{-6}$을 보여주어 지하 심부의 맨틀기원의 가스가 지각상부 대수층까지 공급된 것으로 해석된다. 온천수의 $^{40}Ar/^{36}Ar$ 비는 대기기원의 값과 유사한 범위를 보인다.

표면탄성파 필터 제작을 위한 Pt 박막 식각 (Etching of Pt Thin Film for SAW Filter Fabrication)

  • 최용희;송호영;박세근;이택주;오범환;이승걸;이일항
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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    • pp.103-107
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    • 2003
  • The inductively coupled plasma(ICP) etching process was selected to fabricate RF Surface Acoustic Wave(SAW) filters and a Pt thin film was sputtered on a $LiTaO_3$ substrate applied to electrode materials to reduce the spurious response and improve the power durability. Steep sidewall pattern was achieved employing $C_4F_8/Ar/Cl_2$ gas chemistry. We investigated an etching mechanism and parameter dependence of the Pt thin film about $C_4F_8$ addition. Sidewall etch angle was about $80^{\circ}$ at the $C_4F_8$ 20% mixing ratio. Fabricated SAW filter is consists of some series and parallel arm SAW resonators which work as impedance elements and show capacitance characteristics at out of the passband. It can be modified for $800{\sim}900\;MHz$ RF filters. External matching circuits were unnecessary.

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InGaZnO active layer 두께에 따른 thin-film transistor 전기적인 영향

  • 우창호;김영이;안철현;김동찬;공보현;배영숙;서동규;조형균
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.5-5
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    • 2009
  • Thin-film-transistors (TFTs) that can be prepared at low temperatures have attracted much attention because of the great potential for transparent and flexible electronics. One of the mainstreams in this field is the use of organic semiconductors such as pentacene. But device performance of the organic TFTs is still limited due to low field-effect mobility and rapid degradation after exposing to air. Alternative approach is the use of amorphous oxide semiconductors as a channel. Amorphous oxide semiconductors (AOSs) based TFTs showed the fast technological development, because AOS films can be fabricated at room temperature and exhibit the possibility in application like flexible display, electronic paper, and larges solar cells. Among the various AOSs, a-IGZO has lots of advantages because it has high channel mobility, uniform surface roughness and good transparency. [1] The high mobility is attributed to the overlap of spherical s-orbital of the heavy post-transition metal cations. This study demonstrated the effect of the variation in channel thickness from 30nm to 200nm on the TFT device performance. When the thickness was increased, turn-on voltage and subthreshold swing was decreased. The a-IGZO channels and source/drain metals were deposited with shadow mask. The a-IGZO channel layer was deposited on $SiO_2$/p-Si substrates by RF magnetron sputtering, where RF power is 150W. And working pressure is 3m Torr, at $O_2/Ar$ (2/28 sccm) atmosphere. The electrodes were formed with electron-beam evaporated Ti (30 nm) and Au (70 nm) bilayer. Finally, Al (150nm) as a gate metal was thermal-evaporated. TFT devices were heat-treated in a furnace at 250 $^{\circ}C$ and nitrogen atmosphere for 1hour. The electrical properties of the TFTs were measured using a probe-station. The TFT with channel thickness of 150nm exhibits a good subthreshold swing (SS) of 0.72 V/decade and on-off ratio of $1{\times}10^8$. The field effect mobility and threshold voltage were evaluated as 7.2 and 8 V, respectively.

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CO2 레이저에 의한 Ti-6Al-4V 합금(合金)의 TiN 표면합금화(表面合金化) (TiN Surface-Alloying of Ti-6Al-4V Alloy by CO2 Laser)

  • 박상덕;이오연;송기흥
    • 열처리공학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.32-43
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    • 1995
  • Ti-6Al-4V alloy are widely used in chemical and aircraft industries for their good corrosion resistance and high strength to weight ratio. Surface alloying of Ti alloy by $CO_2$ laser is able to produce few hundred micrometers thick TiN surface-alloyed layer with high hardness on the substrate very simplely by injecting reaction gas($N_2$) into a laser-generated melt pool and adjust the hardness to the specific requirements of the individual application by changing of laser processing parameters. This research has been investigated the effect of such parameters on TiN surface-alloying of Ti-6Al-4V alloy by $CO_2$ laser. The maximum hardness of TiN surface-alloyed zone waw obtained by injecting 100% $N_2$ gas and it was decreased as the amount of $N_2$ gas in Ar and $N_2$ gas mixture was decreased. As scanning speed was increased, the hardness and depth of TiN surface-alloyed zone was decreased at constant laser power. The surface hardness after double scanning laser treatment is higher than that of single scanning. At constant laser power, the surface roughness is increased after the surface alloying if laser scanning speed is decreased.

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호남지역 저온형 온천수의 수리지화학적 및 안정동위원소 특성과 영족기체의 기원에 관한 연구 (Hydrochemical and Isotopic Characteristics, and Origin of Noble Gas for Low-temperature Hot Spring Waters in the Honam Area)

  • 정찬호;허현성;;김규한
    • 자원환경지질
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    • 제40권5호
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    • pp.635-649
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    • 2007
  • 이 연구에서는 호남지역에 분포하는 5개 온천(죽림, 변산, 지리산, 덕산, 화순)에서 9개 온천시료와 인근의 지하수 시료 3개를 채취하여 수질화학 성분과 안정동위원소 $({\delta}^{18}O,\;{\delta}D,\;{\delta}^{34}S)$ 및 영족기체(He, Ne, Ar) 동위원소 분석을 통하여 온천수의 지화학적 특성, 지화학적 진화, 그리고 황, 헬륨, 아르곤의 기원을 해석하고자 하였다. 호남지역 온천수의 수온은 $23.0{\sim}30.5^{\circ}C$ 범위로 저온형 온천특성을 보이고 pH는 $7.67{\sim}9.98$ 범위로 알카리성의 특성을 보여주었다. 전기전도도는 $153{\sim}746{\mu}S/cm$ 범위로 지역에 따라서 큰 차이를 보여주었다. 온천주변 지하수의 수질특성은 온천수보다 낮은 pH와 전기전도도의 특성을 보여주었다. 온천수와 지하수의 지화학적 성분은 파이퍼도상에서 크게 3개의 유형으로 구분된다($Na-HCO_3$ 유형, Na-Cl 유형, $Ca-HCO_3$ 유형). 온천수의 지화학적 진화과정을 보면 초기에 $Ca-HCO_3$ 유형에서 출발하여 $Ca(Na)-HCO_3$ 유형을 거쳐 $Na-HCO_3$ 유형으로 진화하였으며, 일부 온천수는(JR1)의 경우 pH 9.98의 알카리성으로, $Na-HCO_3$ 유형의 종말점까지 도달하여 지화학적 진화의 최종단계에 도달되었음을 보여준다. 온천수의 산소 및 수소동위원소 조성은 순환수선을 따라 도시되며 지역에 따라 위도효과를 보인다. 황산염에 대한 황동위원소 대부분 화성기원을 보인다. 그러나 JR1 온천은 고염수에서 기원한 것으로 보이는 해양성기원을 보인다. 온천수의 $^3He/^4He$ 비와 $^4He/^{20}Ne$ 비는 $0.0143{\times}10^{-6}{\sim}0.407{\times}10^{-6}$ 범위와 $6.49{\sim}584{\times}10^{-6}$ 범위를 각각 보여주어 대기와 지각성분의 혼합선상에 도시된다. 이는 온천수내 헬륨가스의 대부분이 지각기원임을 의미한다. 죽림온천(JR1)의 경우 맨틀기원의 헬륨가스의 혼합율이 다른 온천에 비해 다소 높은 비율을 보여준다. 이들 동위원소비와 온천수의 pH와는 대체적으로 정의 상관관계가 확인되었다. 아울러 $^{40}Ar/^{36}Ar$비가 $292.3{\times}10^{-6}{\sim}304.1{\times}10^{-6}$ 범위로 대기기원임을 지시한다.