The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
/
v.51
no.7
/
pp.311-315
/
2002
Chemical mechanical polishing (CMP) process was required for the global planarization of inter-metal dielectric(IMD), inter-level dielectric (ILD) layers of multi-layer interconnections. In this paper, we studied the characteristics of polishing pad, which can apply shallow trench isolation (STI)-CMP process for global planarization of multi-level interconnection structure. Also, we investigated the effects of different sets of polishing pad, such as soft and hard pad. As an experimental result, hard pad showed center-fast type, and soft pad showed edge-fast type. Totally, the defect level has shown little difference, however, the counts of scratch was detected less than 2 on JR111 pad. Through the above results, we can select optimum polishing pad, so we can expect the improvements of throughput and device yield.
The use of a concrete track is gradually growing in urban and high-speed railways in many part of the world. The resilient pad, which is essentially when concrete tracks are used, plays the important role of relieving the impact caused by train loads. The simple fatigue test[1] to estimate the variable stiffness of resilient pads is usually performed, but it differs depending on the practical conditions of different railways. In this study, the static stiffness levels of used resilient pads according to passing tonnages levels were measured in laboratory tests. Also, the simple fatigue test and the multi-stress accelerated degradation test for new resilient pads were performed in a laboratory. The static stiffness of the used pad was compared with the results of tests of usage times and cycles. The results of the comparison showed that the variable static stiffness levels of the used pad were similar to results of the multi-stress accelerated degradation test considering the fatigue and heat load. With a T-NT equation related to the degree of the multi-stress accelerated degradation, a model of multi-stress accelerated degradation for a resilient pad was devised. It was found through this effort that the total acceleration factor was approximately 2.62. Finally, this study proposes an equation for a multi-stress accelerated degradation model for polyurethane resilient pads.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
/
v.21
no.7
/
pp.22-29
/
2004
As a result of high integration of semiconductor device, the global planarization of multi-layer structures is necessary. So the chemical mechanical polishing(CMP) is widely applied to manufacturing the dielectric layer and metal line in the semiconductor device. CMP process is under influence of polisher, pad, slurry, and process itself, etc. In comparison with the general CMP which uses the slurry including abrasives, fixed abrasive pad takes advantage of planarity, resulting from decreasing pattern selectivity and defects such as dishing & erosion due to the reduction of abrasive concentration especially. This paper introduces the manufacturing technique of fixed abrasive pad using hydrophilic polymers with swelling characteristic in water and explains the self-conditioning phenomenon. And the tungsten CMP using fixed abrasive pad achieved the good conclusion in terms of the removal rate, non-uniformity, surface roughness, material selectivity, micro-scratch free contemporary with the pad life-time.
Using a progressive die of the multi-stage drawing product, It was experiments for the Influence of the Products Roundness on the die pad process Safety die model, obstacle countermeasure research safety die design When the die pad is independent structure, Sidewall thickness of the inside 2stage, 3stage, 4stage of the product is thicker, the thickness of the inside 1stage and the bottom is thinner. it was become unstable beacuse the inside 1stage related to the Products Roundness is thinner. When the die pad is Integrated structure, Sidewall thickness of the inside 1stage, 2stage of the product is thicker, and Sidewall 3stage and 4stage was a thin. it was become unstable beacuse the inside 3stage related to the Products Roundness is thinner. Therefore, The appropriate combination of and integrated independent is required for each process.
Ye, Soo-Young;Jeon, Yong-Uk;Jeong, Do-Un;Jeon, Gye-Rok;Ro, Jung-Hoon
Journal of Sensor Science and Technology
/
v.17
no.5
/
pp.387-395
/
2008
An optic module system is developed adopting multiple colorimetry units for the measurement of multi-pad urinalysis dipsticks. Multiple photometry system instead of moving mechanisms has the advantages of system reliability and simplicity as well as economic aspects due to the recent development of economic color light emitting diodes and stable photo sensors. An integration amplifier with programmable integration time, a current source circuit with selectable and stable current settings were connected through analog multiplexers to thirty light emitting diodes for illumination and ten photo transistors for reading each strip pad. All the circuits are controlled by a microprocessor through a simple set of serial communication commands. The detect ability is eighteen times better than the minimum color difference of the test grading which is 0.013 in urobilinogen in the color space defined in this paper.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
/
v.25
no.8
/
pp.37-44
/
2008
Nowadays, the increasing global competition forces manufacturer to reduce the cost and time for implementation of manufacturing system. The AR(augmented reality) technology as a new human-machine interface introduces a noteworthy perspective for a new manufacturing system design. Using AR technology, a physically existing production environment can be superimposed with virtual planning objects. Therefore, the planning tasks can be validated without modeling the surrounding environment of the production domain during short process planning time. In this paper, we introduce the construction of AR browser and determine the optimal environment parameters for field application of AR system through lots of tests. And, many methods such as multi-marker coordinate system, division of virtual objects and so on, are proposed in order to solve the problems suggested from initial field test. Based on these tests and results, the test-bed of C/Pad assembly system is configured and robot program for C/Pad assembly is generated based on AR system.
Journal of the Korean Society of Environmental Restoration Technology
/
v.21
no.1
/
pp.133-143
/
2018
In spite of the growing importance of landscaping trees, the rate of flawed and withered trees damaged by pest, disease, drought or frost is increasing. In order to evaluate the performance of the Tree Protective Pad, which are developed to reduce the failure ratio in landscape planting, the tree protective pad for 'digging', 'pest controlling', and 'insulating' are tested based on the five functional criteria; moisturizing effect, wither preventive effect, pest and disease control, thermal effect, tensile strength, and environmental performance. The result of this study is as follows. The moisturizing effect of the tree protective pad for digging is found to be outstanding. According to the result of testing the pad on trees, in particular, it is better than jute tape in wither preventive effect, which means it is expected to prevent flaw and wilt from planting during the improper seasons like summertime. The experiment of installing the protective tree pad for pest controlling to the trunk of Quercus mongolica shows that preventive effect of the pad from diseases and insects is superior, and it also has economical effect by reducing the use of agricultural chemicals. The comparative test of the pad for insulating and jute tape proves that the temperature of the pad is about $2^{\circ}C$ higher than outside. The rate of tensile strength and biodegradation of the pad exceeds the optimal level, so it is revealed that the pad may be the work efficient and environment-friendly product. Likewise, by timely irrigating trees, the tree protective pad economically prevents trees from pest, disease,drought or frost, which may be caused by improper seasonal or delayed planting. As a means of reducing the flaw and facilitating the growth of trees, the exceptional performance of the pad is expected to effectively used in landscape planting and management.
Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
/
v.35
no.2
/
pp.131-140
/
2022
Installing Continuous Welded Rail (CWR) is one of the economical ways to resolve the challenges of noise, vibration, and the open-deck steel railway bridge impact, and the SSF method using the interlocking sleeper fastener has recently been developed. In this study, the method employed for determining the optimum vertical stiffness of the sleeper pad installed under the bridge sleeper, which is utilized to adjust the rail height and absorb shock when the train passes when the interlocking sleeper fastener is applied, is presented. To determine the optimal vertical stiffness of the sleeper pad, related existing design codes are reviewed, and, running safety, ride comfort, track safety, and bridge vibration according to the change in the vertical stiffness of the sleeper pad are estimated via flexible multi-body dynamic analysis,. The flexible multi-body dynamic analysis is performed using commercial programs ABAQUS and VI-Rail. The numerical analysis is conducted using the bridge model for a 30m-long plate girder bridge, and the response is calculated when passing ITX Saemaeul and KTX vehicles and freight wagon when the vertical stiffness of the sleeper pad is altered from 7.5 kN/mm to 240 kN/mm. The optimum stiffness of the sleeper pad is calculated as 200 kN/mm under the conditions of the track components applied to the numerical analysis.
In Interactive Storytelling, storyline is developed according to the user's interaction. Diffrerent from linear, fixed storytelling, users may select an event or make decisions which affect on the story plotting. Therefore user's feeling of immersion and interest may be greatly enhanced. In this paper, we used markers and multi-touch pad for user's interaction for interactive storytelling. Users could present his/her level of interest and provide feedback through markers and multi-touch pad, through which storyline was differently developed.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.