Development of three-dimensional thermal oxidation process simulator and analysis the characteristics of multi-dimensional oxide growth (1 Giga급 집적회로 구현을 위한 3차원 산화 공정 시뮬레이터 개발 및 산화층 성장 특성 분석에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A
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- v.32A no.8
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- pp.107-118
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- 1995