MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화
(The Strain Relation of $Si_{1-x}Ge_x$ thinfilm deposited using Molecular Beam Epitaxy)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1996년도 재료학회 춘계학술발표회
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- pp.30-30
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- 1996