• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.126-126
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• 1999

본 실험의 목적은 FED의 상부, 하부 전극으로 사용되는 Mo를 건식, 습식 식각함으로써 DED 소자의 공정을 개발하는 것이다. Mo는 $261^{\circ}C$의 높은 융점을 지니고 있으며, 우수한 열적 안정성과 비교적 낮은 비저항을 가지는 재료로써 FED와 같은 전계 방출 소자의 cathod 팁 및 전극물질로 사용되어지는 가장 보편적인 물질이다. FED와 같은 전계방출소자가 갖추어야 할 요건은 전자 방출 영역이 소자 동작시 변형되지 않아야 하고, 기계적 ,화학적, 열적 내구성이 좋아야 함인데 이러한 요건을 충족시킬 수 있고 가장 범용적으로 사용되는 물질이 Mo이다. 실험에서 사용된 Mo는 DC magnetron sputter를 사용하여 Ar 가스를 첨가하여 5mTorr하에서 Si 기판위에 증착속도를 300$\AA$/min로 하여 1.6$\mu\textrm{m}$ 증착하였다. 본 실험의 Mo 식각은 고밀도 플라즈마원인 ICP를 이용하였다. 식각특성은 식각 가스조합, inductive power, bias voltage, 공정 압력의 다양한 공정 변수에 따른 식각특성 변화를 관찰하였다. 식각시 chlorine 가스를 주요 식각 가스로 사용하고 BCl3, O2, Ar을 첨가가스로 사용하였으며, inductive power는 300-600, bias voltage는 120-200V 사용하였고 압력은 15-30mTorr, 기판온도는 7$0^{\circ}C$로 유지하였으며 식각마스크로는 electron-beam evaporator로 1$\mu\textrm{m}$ 증착한 SiO2를 patterning하여 사용하였다. 식각속도는 stylus profiler를 이용하여 측정하였으며 식각후 profile은 scanning electron microscopy (SEM)을 통하여 관찰하였다. 실험 결과 순수한 Cl2 BCl3 가스만을 사용한 경우 보다는 Cl2 가스에 O2를 첨가하였을 때 좋은 선택비를 얻었다. 또한, inductive power와 bias voltage, Mo의 식각속도의 적절한 조절을 통해 SiO2에 대한 선택도를 변화시킬 수 있었다. Cl2:O2비를 1:1로 하고 400W/-150V, 20mTorr의 압력, 7$0^{\circ}C$ 기판온도에서 식각시 200$\AA$/min의 Mo 식각속도, SiO2와의 선택비 8:1을 얻을 수 있었다. 또한 실제 FED 소자 구조형성에 적용한 결과 비등방적인 식각형상을 형성할 수 있었다.

• 한국분말야금학회:학술대회논문집
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• 한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part2
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• pp.1149-1150
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• 2006

The oxidation of (W,Mo)$Si_2$ powders has been investigated at 400, 500 and $600^{\circ}C$ for 12.0 hours in air. It was shown that the low temperature oxidation resistance of (W,Mo)$Si_2$ was worse than that of $MoSi_2$, and they showed great changes in mass, volume and colour. Especialy at $500^{\circ}C$, the amount of volume expansion of (W,Mo)$Si_2$ was as high as about $7\sim8$ times and color changed from black to yellow after 4.0h with $MoO_3$, $WO_3$, (W,Mo)$O_3$ and amorphous $SiO_2$ as main reaction products. The mass gain and oxidation rate were relatively slower at $400^{\circ}C$ and $600^{\circ}C$ than that at $500^{\circ}C$.

• 한국진공학회지
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• 제22권2호
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• pp.79-85
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• 2013

희토류 이온 $Eu^{3+}$와 $Dy^{3+}$가 각각 도핑된 $CaMoO_4$ 광체 분말을 고상반응법으로 합성하였다. 모든 형광체 분말의 결정 구조는 활성제 이온의 종류와 농도비에 관계없이 주 회절 피크(112)를 갖는 정방 정계이었다. $Eu^{3+}$ 이온이 도핑된 형광체의 경우에, $Eu^{3+}$ 이온의 농도가 0.01~0.10 mol 영역에서 결정 입자의 크기는 전반적으로 증가하였고, 비교적 균일한 크기 분포를 가지면서 조약돌 형태를 나타내었으며, 흡광 스펙트럼은 311 nm를 정점으로 넓게 퍼져있는 전하 전달 밴드와 파장 영역 360~470nm에서 약한 피크를 갖는 다수의 흡수선이 관측되었으며, 주 발광 스펙트럼은 $Eu^{3+}$ 이온의 $^5D_0{\rightarrow}^7F_2$ 전이에 의한 618 nm에 피크를 갖는 강한 적색 발광이었다. $Dy^{3+}$ 이온이 도핑된 분말의 경우에, 흡광 스펙트럼은 303 nm에 피크를 갖는 전하 전달 밴드와 상대적으로 세기가 약한 다수의 $Dy^{3+}$ 이온의 전이 신호가 발생하였으며, 주 발광 스펙트럼은 $^4F_{9/2}{\rightarrow}^7H_{13/2}$ 전이에 의한 578 nm에 피크를 갖는 황색 발광 스펙트럼이 관측되었다.

• 한국결정학회지
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• 제13권2호
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• pp.82-85
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• 2002

cis,cis,trans-[MoBr/sub 2/(CO)/sub 2/(PPh/sub 3/)/sub 2/］와 2,6-dimethylphenyl isocyanide의 반응으로부터 화합물cis,fac-[Mo(O)Br/sub 2/,(CN-C/sub 6/H/sub 3/,-2,6-Me/sub 2/)sub 3/] (1)이 분리되었다. 화합물 1의 구조가 분광학적 방법(/sup 1/H-NMR, /sup 13/C｛/sup 1/H｝-NMR, IR) 및 X-ray 회절법으로 규명되었다. 화합물 1의 결정학 자료: 삼사정계 공 간군 P(equation omitted), a=9.172(2) (equation omitted), b ＝ 11.550(3) (equation omitted), c ＝ 15.106(3) (equation omitted), α ＝ 100.44(2)°, β＝ 107.12(2)°, γ＝ 107.83(1)°, Z ＝ 2, R(wR/sub 2/) ＝ 0.0529(0.1344).

• 대한화학회지
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• 제56권2호
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• pp.217-227
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• 2012

Syntheses of some novel oxomolybdenum(V) and dioxomolybdenum(VI) complexes with an azo dye methoxyphenolazoantipyrine (HL) derived from 4-aminoantipyrine and 2-methoxyphenol are reported. The complexes have been characterized by elemental analyses, molar conductance, magnetic susceptibility data, IR, UV-Vis, $^1H$ NMR, EPR and FAB mass spectral studies. The physicochemical studies and spectral data indicate that HL acts as a bidentate chelating ligand. The complexes have the general formulae [$MoO(HL)XCl_2$] and [$MoO_2(HL)XCl$],where X=Cl, NCS or $NO_3$. All the complexes are found to have distorted octahedral geometry. Structural and morphological characterization of the complexes [$MoO(HL)Cl_3$](1) and [$MoO_2(HL)Cl_2$](4) before and after gamma ray irradiation,was performed by X-ray diffraction and scanning electron microscopy( SEM).The ligand and the complexes were screened for their possible antimicrobial activities.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제22권11호
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• pp.1224-1230
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• 2001

Single crystals of nanocomposite [GaO4Al12(OH)24(H2O)12][Al(OH)6Mo6O18]2(OH)${\cdot}$30H2O, 2, were obtained by the reaction between [GaO4Al12(OH)24(H2O)12]7+ and [Mo7O24]6- clusters in an aqueous solution, analogously to the [AlO4Al12(OH)24(H2O)12][Al(OH)6Mo6O18]2(OH)${\cdot}$29.5H2O nanocomposite, 1. The crystal structure of 2 was determined by single crystal x-ray diffraction; space group $C2}c$ (No. 15), a = 27.418(2) $\AA$, b = 15.647(2) $\AA$, c = 23.960(4) $\AA$, $\beta$ = $102.850(9)^{\circ}$, V = 10,021.5(20) $\AA3$ , Z = 4. Detailed analysis of the structural data show that the clusters are held by intimate hydrogen bondings of the surface O2- and OH- groups of the clusters as well as the ionic interactions between the oppositely charged cluster ions.

• 한국결정성장학회지
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• 제8권4호
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• pp.532-538
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• 1998

한국산 천연베릴을 잉요하여 온도구배융제환류법에 의해 에메랄드($3BeO{\cdot}Al_2O_3{\cdot}6SiO_2:Cr^{3+}$) 단결정이 성장되었다. 리튬-몰리브데늄-바나디움 산화물계 융제는 $(MoO_3+V_2O_5)/Li_2O$, 와 $V_2O_5-Li_2O$를 서로 다르게 용융한 2종류의 융제를 혼합하여 제조하였다. 융제의 최적 조성은 산화몰리브데늄.바나디움에 대한 산화리튬의 몰비($(MoO_3+V_2O_5)/Li_2O$)가 3몰이었고 융제첨가제는 Li2O량에 대하여 $K_2O$ 또는 $Na_2O$를 0.2mole% 이내로 치환하였다. 베릴원료의 용융 농도는 융제량에 대하여 3~10% 함량이었고, $Cr_2O_3$ 발색제는 베릴량에 대하여 1%이었다. 융액은 용융, 성장, 회수 블록으로 나뉘어진 3지대 온도구배 결정성장로에서, $1100^{\circ}C$와 $1000^{\circ}C$ 사이의 안정상태에서 연속적으로 순환되도록 하였다. 에메랄드 단결정은 성장지대에서 950~$1000^{\circ}C$ 구간에서 1일 1회 2시간동안 열진동 처리하였을 때 미소핵의 생성이 억제된 대형 단결정을 성장시킬 수 있었다. 육각주상 에메랄드 단결정의 우선성장방향은 c(0001) 바닥면이었고, m(1010) 기둥면에 수직이었다.

• 한국재료학회지
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• 제6권1호
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• pp.57-66
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• 1996

MoSi2 heating elements were fabricated by sintering of MoSi2 powders which were synthesized through SHS(Self-propagating high-temperature synthesis). Their high-temperature oxidation behavior in air through SHS(Self-propagating high-temperature synthesis). Their high-temperature oxidation behavior on air at 1000-1600$^{\circ}C$ was investigated through a high-temperature X-ray diffractomer and isothermal heating in a muffle furnace. The thermal expansion of MoSi2 and SiO2 was studied by measuring their lattice parameters on heating. The linear expansion coeffcient of MoSi2 along c-axis was about 1.5 times larger than that along a-axis showing a strong thermal anisotropy. Few $\mu\textrm{m}$-thick Mo5Si3 layer was found beneath SiO2 layer suggesting that The major reaction products would be SiO2 and Mo5Si3. The Si-rich bentonite resulted in the faster growth of MoSi2 grains probably by enhancing the mass transport when they are melted during high-temperature oxidation.

• 열처리공학회지
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• 제20권6호
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• pp.299-305
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• 2007

The effect of spray deposition of oxide particles on oxidation behaviors of as-cast Mo-14.2Si-9.6B (at%) alloys at $1200^{\circ}C$ up to for 100 hrs has been investigated. Various oxide powders are utilized to make coatings by spray deposition, including $SiO_2,\;TiO_2,\;ZrO_2,\;HfO_2$ and $La_2O_3$. It is demonstrated that the oxidation resistance of the cast Mo-Si-B alloy can be significantly improved by coating with those oxide particles. The growth of the oxide layer is reduced for the oxide particle coated Mo-Si-B alloy. Especially, for the alloy with $ZrO_2$ coating, the thickness of oxide layer becomes only one fifth of that of uncoated alloys when exposed to in air for 100 hrs. The reduction of oxide scale growth of the cast Mo-Si-B alloy due to oxide particle coatings are discussed in terms of the change of viscosity of glassy oxide phases that form during oxidation at high temperature.

• 한국분말재료학회지
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• 제20권4호
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• pp.253-257
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• 2013

Freeze drying for porous Mo was accomplished by using $MoO_3$ powder as the source and camphor-naphthalene eutectic system as the sublimable material. Eutectic composition of camphor-naphthalene slurries with the initial $MoO_3$ content of 5 vol%, prepared by milling at $55^{\circ}C$ with a small amount of oligomeric dispersant, was frozen at $-25^{\circ}C$. The addition of dispersant showed improvement of dispersion stability in slurries. Pores were generated subsequently by sublimation of the camphor-naphthalene during drying in air for 48 h. To convert the $MoO_3$ to metallic Mo, the green body was hydrogen-reduced at $750^{\circ}C$, and sintered at $1100^{\circ}C$ for 2 h. The sintered samples, frozen by heated Teflon cylinder, showed large pores with the size of about 40 ${\mu}m$ which were aligned parallel to the sublimable vehicles growth direction. The formation of unidirectionally aligned pores is explained by the rejection and accumulation of solid particles in the serrated solid-liquid interface.