The Micro circular diaphragm (MCD) is the mechanical actuator part used in the micro electro-mechanical sensors (MEMS) that combine electrical and mechanical components. These actuators are working under harsh mechanical and thermal conditions, so it is very important to study the mechanical and thermal behaviors of these actuators, in order to do with its function successfully. The objective of this paper is to determine the thermo-mechanical behavior of MCD by developing the traditional bulge test technique to achieve the aims of this work. The specimen is first pre-stressed to ensure that is no initial deflection before applied the loads on diaphragm and then clamped between two plates, a differential pressure (P) and temperature ($T_b$) is leading to a deformation of the MCD. Analytical formulation of developed bulge test technique for MCD thermo-mechanical characterization was established with taking in-to account effect of the residual strength from pre-stressed loading. These makes the plane-strain bulge test ideal for studying the mechanical and thermal behavior of diaphragm in both the elastic and plastic regimes. The differential specimen thickness due to bulge effect to describe the mechanical behavior, and the temperature effect on the MCD material properties to study the thermal behavior under deformation were discussed. A finite element model (FEM) can be extended to apply for investigating the reliability of the proposed bulge test of MCD and compare between the FEM results and another one from analytical calculus. The results show that, the good convergence between the finite element model and analytical model.
Arefi, Mohammad;Bidgoli, Elyas Mohammad-Rezaei;Zenkour, Ashraf M.
Smart Structures and Systems
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v.22
no.1
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pp.27-40
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2018
The governing equations of motion are derived for analysis of a sandwich microbeam in this paper. The sandwich microbeam is including an elastic micro-core and two piezoelectric micro-face-sheets. The microbeam is subjected to transverse loads and two-dimensional electric potential. Higher-order sinusoidal shear deformation beam theory is used for description of displacement field. To account size dependency in governing equations of motion, strain gradient theory is used to mention higher-order stress and strains. An analytical approach for simply-supported sandwich microbeam with short-circuited electric potential is proposed. The numerical results indicate that various types of parameters such as foundation and material length scales have significant effects on the free vibration responses and dynamic results. Investigation on the influence of material length scales indicates that increase of both dimensionless material length scale parameters leads to significant changes of vibration and dynamic responses of microbeam.
Because of sandwich structures with low weight and high stiffness have much usage in various industries such as civil and aerospace engineering, in this article, buckling and free vibration analyses of coupled micro composite sandwich plates are investigated based on sinusoidal shear deformation (SSDT) and most general strain gradient theories (MGSGT). It is assumed that the sandwich structure rested on an orthotropic elastic foundation and make of four composite face sheets with temperature-dependent material properties that they reinforced by carbon and boron nitride nanotubes and two flexible transversely orthotropic cores. Mathematical formulation is presented using Hamilton's principle and governing equations of motions are derived based on energy approach and applying variation method for simply supported edges under electro-magneto-thermo-mechanical, axial buckling and pre-stresses loadings. In order to predict the effects of various parameters such as material length scale parameter, length to width ratio, length to thickness ratio, thickness of face sheets to core thickness ratio, nanotubes volume fraction, pre-stress load and orthotropic elastic medium on the natural frequencies and critical buckling load of double-bonded micro composite sandwich plates. It is found that orthotropic elastic medium has a special role on the system stability and increasing Winkler and Pasternak constants lead to enhance the natural frequency and critical buckling load of micro plates, while decrease natural frequency and critical buckling load with increasing temperature changes. Also, it is showed that pre-stresses due to help the axial buckling load causes that delay the buckling phenomenon. Moreover, it is concluded that the sandwich structures with orthotropic cores have high stiffness, but because they are not economical, thus it is necessary the sandwich plates reinforce by carbon or boron nitride nanotubes specially, because these nanotubes have important thermal and mechanical properties in comparison of the other reinforcement.
This research is devoted to study post-buckling analysis of functionally graded carbon nanotubes reinforced composite (FG-CNTRC) micro plate with cut out subjected to magnetic field and resting on elastic medium. The basic formulation of plate is based on first order shear deformation theory (FSDT) and the material properties of FG-CNTRCs are presumed to be changed through the thickness direction, and are assumed based on rule of mixture; moreover, nonlocal Eringen's theory is applied to consider the size-dependent effect. It is considered that the system is embedded in elastic medium and subjected to longitudinal magnetic field. Energy approach, domain decomposition and Rayleigh-Ritz methods in conjunction with Newton-Raphson iterative technique are employed to trace the post-buckling paths of FG-CNTRC micro cut out plate. The influence of some important parameters such as small scale effect, cut out dimension, different types of FG distributions of CNTs, volume fraction of CNTs, aspect ratio of plate, magnitude of magnetic field, elastic medium and biaxial load on the post-buckling behavior of system are calculated. With respect to results, it is concluded that the aspect ratio and length of square cut out have negative effect on post-buckling response of micro composite plate. Furthermore, existence of CNTs in system causes improvement in the post-buckling behavior of plate and different distributions of CNTs in plate have diverse response. Meanwhile, nonlocal parameter and biaxial compression load on the plate has negative effect on post-buckling response. In addition, imposing magnetic field increases the post-buckling load of the microstructure.
An ultrafine grained Mg-9Al-1Zn magnesium alloy with the mean grain size less than $1{\mu}m$ was produced by using high-ratio differential speed rolling. The processed alloy exhibited excellent superplasticity at relatively low temperatures. The micro-forming tests were carried out using a micro-forging apparatus with micro V-grooved shaped dies made of silicon and the micro-formability was evaluated by means of micro-formability index, $R_f$ ($=A_f/A_g$, $A_f$: formed and inflowed area into the V-groove, $A_g$: area of the V-groove). The $R_f$ value increased with temperature up to $280^{\circ}C$ and then decreased beyond $300^{\circ}C$. The decrease of the $R_f$ value at $300^{\circ}C$ was attributed to the accelerated grain coarsening. Increasing the micro-forging pressure increased the $R_f$ values. At a given die geometry, die filling ability decreased as the die position moved away from the die center to the end. FEM simulation predicted this behavior and a method of improving this problem was proposed.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2003.10a
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pp.363-366
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2003
In nanomachining processes, chemical effects are more dominant factor compared with physical deformation. For example, during the nanoscratch on a silicon surface in the atmosphere, micro protuberances are formed due to the mechanochemical reaction between the diamond tip and the surface. On the contrary, in case of chemically stable materials, such as ceramics or glasse, the surface protuberance are not formed. The purpose of this study is to understand effects of the mechanochemical reaction between tip and surfaces on deformation behaviors of hard-brittle materials. Nanometerscale elasoplastic deformation behavior of single crystal silicon (100) was characterized with the surface protuberance phenomena, and compared with that of borosilicate (Pyrex glass 7740).
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.27
no.3
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pp.104-110
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2010
Cyclic deformations of polymer foam film are simulated using the finite element method. Material of polymer foam film is polypropylene (PP). The calculated polymer foam film is micro-scale thin film has cellular structure. The polymer foam film is used in ferro-electret applications. The polymer foam film is idealized to one cell structure as lens shaped stretched truncated octahedron model. Cyclic deformation is performed by uniaxial stretching. Stretching direction is perpendicular to plane of cellular film. Various cyclic strain amplitudes, pore wall thicknesses, pore shape are investigated to find deformation tendency of cellular structure. Consequently, cellular structure has various macroscopic stresses on cyclic deformation with various pore thickness and pore shape.
In the present work, the two-back stress model is proposed and continuum damage mechanics (CDM) is incorporated into the plastic constitutive relation in order to describe the plastic deformation localization and the damage evolution in a deforming continuum body. Coupling between damage mechanics and isothermal rate independent plasticity is performed using the kinematic hardening rule, which in turn is formulated by combining the nonlinear Armstrong-Frederick rule and the Phillips rule. The numerical analyses are carried out within h deformation theory. It is noted that the damage evolution within a work piece accelerates the plastic deformation localization such that the material with lower hardening exponent results in a rapid shear band formation. Moreover, the results from the numerical analysis reflected closely with the micro-structures around the fractured regime. The effects of the various hardening parameters on deformation localization are also investigated. As the nonlinear strain rate description in the back stress evolution becomes dominant, the strain localization becomes intensified as well as the damage evolution.
In this work, dynamic behavior of functionally graded (FG) porous nano-beams is studied based on nonlocal nth-order shear deformation theory which takes into the effect of shear deformation without considering shear correction factors. It has been observed that during the manufacture of "functionally graded materials" (FGMs), micro-voids and porosities can occur inside the material. Thus, in this work, the investigation of the dynamic analysis of FG beams taking into account the influence of these imperfections is established. Material characteristics of the FG beam are supposed to be vary continuously within thickness direction according to a "power-law scheme" which is modified to approximate material characteristics for considering the influence of porosities. A comparative study with the known results in the literature confirms the accuracy and efficiency of the current nonlocal nth-order shear deformation theory.
Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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2000.03b
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pp.247-254
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2000
In this study, the reinforcing effect of micropile for weathered rock is analysed by laboratory model tests. Especially, the effect of the number, the surface roughness, and length of micropile are focused. The results of tests are as follows: $\circled1$ The deformation modulus of reinforced ground is less than equivalent deformation modulus, and $\circled2$ Increasing effect of unconfined compressive strength is not large as times as increasing the number of micropile.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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