팩시밀이나 복사기용으로 이용되는 micro lens array를 설계하였다. array 형태는 육각형배열이고 유효경은 0.160mm, 가장 가까운 이웃렌즈의 중심간 거리는 0.192mm로 하였다. 결상계의 횡배율은 1.0이다. single layer는 working distance가 10.55mm, double layer는 working distance가 7.90mm가 되었다. 각각의 성능은 ray fan을 계산하여 그 특성을 조사하였으며 서로 비교하였다.
LCD 백라이트의 효율을 향상시키기 위하여 배열형 소형 프레넬 렌즈(micro Fresnel lens array)가 결합된 도광판을 설계하였다. 배열형 소형 프레넬 렌즈(MFLA)는 blazed 형태 및 다단계 이진 형태를 채택하였다. MFLA는 기존 LCD 백라이트 장치에서 필요로 했던 프리즘판 및 확산판을 대체할 수 있다. MFLS가 적용된 도광판의 성능을 나타내기 위하여 휘도와 균일도 값 등을 계산하였다.
This paper shows the method of fabrication of a micro lens array comprised of a Nipkow disk used in a large-area, high-speed confocal microscopy. A Nipkow disk has two components, a micro lens array disk and a pinhole array disk. The microlens array focuses illumination light onto the pinhole array disk and redirects reflected light from a surface to a sensor. The micro lens which are positioned in order on a disk have a hemispheric shape with a few tens of micron in diameter, and can be fabricated by a variety of methods like mechanical machining, semiconductor process, replication process like imprinting process. This paper shows how to fabricate the micro lens array which has a long focal length by reflow and imprinting process.
LCD Backlight에서 Micro Fresnel Lens Array (MFLA)가 결합된 도광판을 설계${\cdot}$분석하였다. MFLA가 적용된 도광판과 기존의 프리즘 형태의 도광판의 광학적 특성을 전산모의하여 비교한 결과를 나타내었다. MFLA를 이용한 도광판을 사용할 경우 기존의 LCD backlight 장치에서 필요로 했던 프리즘 필름을 대체할 수 있음을 보였다.
A 3D structure production method for microstereolithography is a useful way that produces complex structures with flexible processes and low cost. Several UV curable resins were blended and the optimal resin for micro-lens fabricate was selected through viscosity, workability and transmission tests. It consists of 1, 6 - Hexanediol diacrylate with 15 Apha and Isobornyl acrylate for reducing some shrinkage. When fabricating a micro-lens array on large surface, some distortion of shape occurred because of the surface tension between cured part. To overcome this problem, the optimal processing conditions were derived from considering amount of the resin and surface tension. Large surface Micro-lens array, which are a type of elliptical convex and consist of 18,000 micro-lens in the range of 2cm*2cm were fabricated. The focal length to the X-axis and Y-axis were calculated. To verify the performance, measure an energy distribution of transmitted light from the Large surface Micro-lens array.
The three-dimensional measurement method of confocal systems is a spot scanning method which has a high resolution and good illumination efficiency. However, conventional confocal systems had a weak point in that it has to perform XY axis scanning to achieve FOV (Field of View) vision through spot scanning. There are some methods to improve this problem involving the use of a galvano mirror [1], pin-hole array, etc. Therefore, in this paper we propose a method to improve a parallel mode confocal system using a micro-lens and pin-hole array in a dual microscope configuration. We made an area scan possible by using a combination MLA (Micro Lens Array) and pin-hole array, and used an objective lens to improve the light transmittance and signal-to-noise ratio. Additionally, we made it possible to change the objective lens so that it is possible to select a lens considering the reflection characteristic of the measuring object and proper magnification. We did an experiment using 5X, 2.3X objective lens, and did a calibration of height using a VLSI calibration target.
As high technology industries such as IT and display have developed, demand for application parts of micro lens and lens array has been extremely increasing. According to these trends, many researchers are studying on the fabrication technology for parts of the micro lens by a variety of methods such as MEMS, Lithography, LIGA and so on. In this paper, we have performed researches related to ultra precision micro lens, lens array mold and fabrication of Lenticular lens mold for three-dimensional display by using mechanical micro end-milling and fly-cutting fabrication method. Tools used in this research were a diamond tool of R 150$\mu\textrm{m}$. Cutting conditions set up feed rate, spindle revolution. depth of cut and dwell time as variables. And we analyzed surface quality variation of the processed products according to the cutting conditions, and then carried out experiments to search the optimum conditions. Through this research, we have confirmed that we can fabricate the ultra precision micro lens mold with surface roughness Ra=20nm and the holographic lens mold by using micro end-milling and fly-cutting fabrication method. Furthermore, we demonstrated problems happened in the fabrication of the micro lens and established the foundation of experimental study for formulating its improvement plan.
This paper presents the simulation of micro-lens arrays based on dry and wet etching technique. Code V (Optical Research Associates Ltd) simulation was performed to extract optimal design parameters of a Micro-Lens Array(MLA). Thickness of UV adhesive, wavelength of laser source, curvature, and shape of lens surface were chosen for the design parameters. The simulation results showed that focal length of a MLA decreased with the increase of UV adhesive thickness. And the focal length depended on shape of lens surface and length of laser source.
Seung-Sik Ham;Chang-Hwam Kim;Soo-Ho Choi;Jong-Hoon Lee;Ho Lee
한국산업융합학회 논문집
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제26권4_1호
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pp.517-527
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2023
Many techniques have been proposed and investigated for microlens array manufacturing in three-dimensional (3D) structures. We present fabricating a microlens array using selective laser etching and a CO2 laser. The femtosecond laser was employed to produce multiple micro-cracks that comprise the predesigned 3D structure. Subsequently, the wet etching process with a KOH solution was used to produce the primary microlens array structures. To polish the nonoptical surface to the optical surface, we performed reflow postprocessing using a CO2 laser. We confirmed that the micro lens array can be manufactured in three primary shapes (cone, pyramid and hemisphere). Compared to our previous study, the processing time required for laser processing was reduced from approximately 1 hour to less than 30 seconds using the proposed processing method. Therefore, micro lens arrays can be manufactured using our processing method and can be applied to mass productionon large surface areas.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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