본 논문은 통과대역내에서 마이크로 리플 특성을 가지는 5차, 7차 폴리페이저 필터를 제시하였다. 이 필터는 병렬구조의 디지털 올패스 필터로 구성되어 있고, 단위원상에서 모든 영점을 가지는 반대역 필터이며, 하드웨어를 쉽게 구현하기 위해서 고정 소숫점 16bit 1.15 형식으로 계수를 정하였다. 그리고 필터의 성능을 입증하기 위해 각각의 branch상에서의 위상 특성을 비교 분석하였고, 통과대역과 저지대역의 위상 특성, 군지 연 특성 등을 시뮬레이션 하였으며, 그 결과 통과대역에서 마이크로 리플 특성과 선형 위상을 얻었다.
In this paper, in order to apply the CF (color filter) type of the micro light emitting device (Micro LED) display method, a study on the manufacturing process of red and green phosphor inks for the inkjet process was conducted. The blue light-emitting KSF and LuAG phosphors were respectively used to control the phosphor particle size to about 1㎛, and a phosphor ink was prepared by synthesizing with a low-viscosity solution (IPA/Eg). A chemical dispersion method was applied to selectively control the dispersion characteristics in the manufacture of phosphor inks, and in particular, phosphor inks with a dispersant applied a dispersant secured stable dispersion characteristic compared to phosphor inks without a dispersion process. Therefore, it seems possible to manufacture CF for Micro LED through an inkjet process capable of controlling the dispersion characteristics of phosphor ink.
Laboratory study was undertaken to pursue the filter performance of a micro-filter module employing highly porous fiber media under a high filtration rate (over 1,500 m/day), faster than that of any conventional filter process. The effects of filtration rate, head loss, raw water turbidity, and filter aid chemicals on filter performance were analyzed. In spite of the extremely high filtration rate, the filter achieved an attractive efficiency, reducing the raw water turbidity by over 80%. As with other filter systems, the filter aid used (PAC in this study) greatly affected the performance of this particular fiber filter. Long term repetitive runs were additionally carried out to confirm the reproducibility of the filter performance. Finally, a comparison was carried out with other high rate filter systems which are either being tested for use in experimental studies, or are already commercially available.
We can classify the scratches after CMP process into micro-scratch and macro-scratches according to the scratch size, scratch intensity and defect map, etc. The micro-scratches on wafer after CMP process are discussed in this paper. From many causes, major factor that influences the formation of micro-scratch is known as particle size distribution of slurry.(1) It is indefinite what size or type of particle can cause micro-scratch on wafer surface, but there is possibility caused by large particle over 1um. The best way for controlling these large particle to inflow is to use the slurry filter on POU(Point of user). But the slurry filter(especially, depth-type filter) has sometimes the problem which makes more sever micro-scratches on wafer surface after CMP. We studied that depth-type slurry filter has what kind of week-points and the number of scratch could be reduced by lowering slurry flow rate and by using high spray bar which sprays DIW on polishing pad with high pressure.
오염 입자 물질을 제거하기 위한 섬유상 필터는 polypropylene(이하 PP라 함) film을 fibrillate 하거나 melt blown micro fiber를 이용하여 제조할 수 있다. 특히 melt blown micro fiber web은 마스크 필터, 공기정화용 필터, 수처리용 필터 등에 폭넓게 사용되고 있다 이러한 melt blown micro web은 electret 처리에 의해 그 기능이 더욱 강화되는데, 사용 현장의 oil aerosol 노출되면 정전 특성을 빠르게 잃어버리는 경향이 있다. (중략)
At present, the fabrication of optical filter for optical communication mostly depends on handwork, and only a few companies are propelling semi-automatic systems compounded with automatic and hand-operated methods. The measurement evaluation of optical filters is not commonly useful, so it causes difficulties in the producing field. And the packaging process becomes a very unstable process because the filters are judged from the results that they are not measured and immediately packaged during that process. In this situation, the automatic assembly system of optical filter for communication is extremely important and has begun to make its appearance as the most necessary technology for developing optical communication component with high-functionality. In this paper, we constructed systems of assembly and performance evaluation for micro optical collimator. And by using that, we designed a system capable of performance evaluation and assembly of film filter of about 30 $\mu\textrm{m}$ thickness as well as optical filter for common communication.
The automatic assembly system of micro optical filter is a key technology in the development of optical modules with high functionality. In order to create such automatic assembly system of optical filter, we have developed the system and program capable of evaluation of $30\mum$-thick film optical filter as well as conventional optical filters performances. Moreover, we have carried out the evaluation of optical filter using developed system and program, and we have compared and analyzed them with by conventional hand work. As results, the measured performances based on the present system are more fast, precise and reliable then those of the conventional hand work. In addition to that, the system can apply for various optical collimators and filters.
The automatic assembly system of micro optical filter is a key technology in the development of optical modules with high functionality. In order to develop an automatic assembly system of optical fiber and filter, we have firstly developed the system and program capable of characterization of 30${\mu}m$-thick film filters as well as conventional optical filters. Moreover, we have carried out the characterization of optical filter using the developed system and program, and compared experimental results with by conventional handwork. The measurement of optical filters using the present system is faster, more precise and more reliable than those based on the conventional handwork.
We present a simple and an inexpensive method for the fabrication of a nano-fluidic filter and a nano-pore micromixer using self-assembly of nano-spheres and surface tension. Colloid-plug was formed by surface tension of liquid in a microchannel to fabricate nanofluidic filter. When colloid is evaporated, nano-spheres in a colloid are orderly stacked by a capillary force. Orderly stacked nano-spheres form 3-D nano-mesh which can be used as a mesh structure of a fluidic filter. We used silica nano-sphere whose diameter is $567{\pm}85nm$, and silicon micro-channel of $50{\mu}m$-diameter. Fabricated nano-fluidic filter in a micro-channel has median pore diameter of 158nm which was in agreement with expected diameter of the nano-pore of $128{\pm}19nm$. A nano-pore micromixer consists of $200\;{\mu}m-wide,\;100\;{\mu}m-deep$ micro-channel and self-assembled nano-spheres. In the nano-pore micromixer, two different fluids had no sooner met together than two fluids begin to mix at wide region. From the experimental study, we completely apply self-assembly of nano-spheres to nano-fluidic devices.
In this paper, an ultra precision positioning system has been developed using dual servo loop control. For positioning system having long distance with ultra precision , the combination of global stage and micro stage was required. A servo motor based ball screw is used as a global stage and the piezo actuator as a micro stage. For the improvement of positional precision, the digital Chebyshev filter is implemented in the developed to dual servo system. Therefore, the positional repeatability has been achieved within ${\pm}$ 10 mm, and this technique can be applied to develop precision semiconductor equipments such as lithography steppers and probers.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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