JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제4권1호
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pp.32-40
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2004
An extension of the density-gradient model to include the non-local transport effect is presented. The governing equations can be derived from the first three moments of the Wigner distribution function with some approximations. A new nonlinear discretization scheme is applied to the model to reduce the discretization error. We also developed a new boundary condition for the $Si/SiO_2$ interface that includes the electron wavefunction penetration into the oxide to obtain more accurate C-V characteristics. We report the simulation results of a 25-nm metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (MOSFET) device.
본 연구에서는 금속-산화막-반도체 전계효과 트랜지스터의 불순물 분포변동 효과에 미치는 halo 및 LDD 이온주입 공정의 영향을 3차원 소자 시뮬레이션을 통하여 확인하였다. 정확한 시뮬레이션 계산을 위해 kinetic monte carlo 모델을 적용하여 불순물 입자와 결함 낱낱의 거동을 계산하는 원자단위 시뮬레이션을 수행하였다. 문턱전압 및 on-current의 산포를 통해 확인한 결과 halo 이온주입 공정이 LDD 이온주입 공정보다 문턱전압 산포의 경우 약 6.45배 그리고 on-current 산포의 경우 2.46배 더 큰 영향을 미치는 특성을 확인하였다. 그리고 문턱전압과 on-current 산포를 히스토그램으로 나타내어 그 산포를 정규분포로 확인하였다.
In future wearable electronic systems, 3-dimensional (3D) devices have attracted much attention due to their high density integration and low-power functionality. Among 3D devices, gate-all-around (GAA) nanowire transistor provides superior gate controllability, resulting in suppressing short channel effect and other drawbacks in 2D metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (MOSFET). Silicon nanowires (SiNWs) are the most promising building block for GAA structure device due to their compatibility with the current Si-based ultra large scale integration (ULSI) technology. Moreover, the theoretical limit for subthreshold swing (SS) of MOSFET is 60 mV/dec at room temperature, which causes the increase in Ioff current. To overcome theoretical limit for the SS, it is crucial that research into new types of device concepts should be performed. In our present studies, we have experimentally demonstrated feedback FET (FBFET) and tunnel FET (TFET) with sub-60 mV/dec based on SiNWs. Also, we fabricated SiNW based complementary TFET (c-TFET) and SiNW complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) inverter. Our research demonstrates the promising potential of SiNW electronic devices for future wearable electronic systems.
피드백 전계 효과 트랜지스터(feedback field-effect transistor; FBFET)로 구성된 모놀리식 3차원 정적 랜덤 액세스 메모리(monolithic 3-dimensional static random access memory; M3D-SRAM)에 대해 TCAD(technology computer-aided design) 프로그램을 사용하여 전기적 특성을 조사하였다. FBFET로 구성된 M3D-SRAM(M3D-SRAM-FBFET)는 FDSOI(fully depleted silicon on insulator) 구조의 N형 FBFET와 N형 MOSFET(metal oxide semiconductor field effect transistor)로 이루어져 있으며 각각 하부와 상부에 위치한다. M3D-SRAM-FBFET의 메모리 동작 시, 공급 전압이 1.9 V에서 감소함에 따라 읽기 전류가 낮아졌으며, 공급 전압이 1.6 V 일 때 읽기 전류가 약 10배 감소하였다.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제7권2호
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pp.82-87
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2007
The electrical properties of metallic junction diodes and metallic source/drain (S/D) Schottky barrier metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (SB-MOSFET) were simulated. By using the abrupt metallic junction at the S/D region, the short-channel effects in nano-scaled MOSFET devices can be effectively suppressed. Particularly, the effects of trap states at the metal-silicide/silicon interface of S/D junction were simulated by taking into account the tail distributions and the Gaussian distributions at the silicon band edge and at the silicon midgap, respectively. As a result of device simulation, the reduction of interfacial trap states with Gaussian distribution is more important than that of interfacial trap states with tail distribution for improving the metallic junction diodes and SB-MOSFET. It is that a forming gas annealing after silicide formation significantly improved the electrical properties of metallic junction devices.
In this paper, we propose a high-speed, low-power complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) binary image sensor featuring a gate/body-tied (GBT) p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (PMOSFET)-type photodetector based on a double-tail comparator. The GBT photodetector forms a structure in which the floating gate (n+ polysilicon) and body of the PMOSFET are tied, and amplifies the photocurrent generated by incident light. The double-tail comparator compares the output signal of a pixel against a reference voltage and returns a binary signal, and it exhibits improved power consumption and processing speed compared with those of a conventional two-stage comparator. The proposed sensor has the advantages of a high signal processing speed and low power consumption. The proposed CMOS binary image sensor was designed and fabricated using a standard 0.18 ㎛ CMOS process.
In this paper, the photocurrent characteristics of gate/body-tied (GBT) metal-oxide semiconductor field-effect transistor (MOSFET)-type photodetector with high sensitivity in the 408 nm - 941 nm range are presented. High sensitivity is important for photodetectors, which are used in several scientific and industrial applications. Owing to its inherent amplifying characteristics, the GBT MOSFET-type photodetector exhibits high sensitivity. The presented GBT MOSFET-type photodetector was designed and fabricated via a standard 0.18 ㎛ complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process, and its characteristics were analyzed. The photodetector was analyzed with respect to its width to length (W/L) ratio, bias voltage, and incident-light wavelength. It was confirmed experimentally that the presented GBT MOSFET-type photodetector has over 100 times higher sensitivity than a PN-junction photodiode with the same area in the 408 nm - 941 nm range.
In this study, we studied the effects of transfer gate on the photocurrent characteristics of gate/body-tied (GBT) metal-oxide semiconductor field-effect transistor (MOSFET)-type photodetector. The GBT MOSFET-type photodetector has high sensitivity owing to the amplifying characteristic of the photocurrent generated by light. The transfer gate controls the flow of photocurrent by controlling the barrier to holes, thereby varying the sensitivity of the photodetector. The presented GBT MOSFET-type photodetector using a built-in transfer gate was designed and fabricated via a 0.18-㎛ standard complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. Using a laser diode, the photocurrent was measured according to the wavelength of the incident light by adjusting the voltage of the transfer gate. Variable sensitivity of the presented GBT MOSFET-type photodetector was experimentally confirmed by adjusting the transfer gate voltage in the range of 405 nm to 980 nm.
MOS 전계효과 transistor를 이용하여 직류착동증폭기를 설계하여 A 정도의 극미소직류전류를 측정하는 장치에 관한 연구이다. 등가회로를 이용하여 전압이득과 동상전압변별비를 주는 식을 유도하였으며 유효등가 source 저항을 대단히 높이기 위한 정전류원회로의 실현을 위한 해석을 하였다. 전압이득은 6.6, 상온에서의 drift는 하루에 1.5mv 정도이고 동상전압변별비는 최고 84db 이었다. 이것은 MOS transistor의 대단히 높은 입력저항의 특징을 살려 전잡상등에서 나오는 극미소직류전류의 측정을 간단하게 할 수 있게 하는 것이다.
Recently, the junctionless (JL) transistors realized by a single-type doping process have attracted attention instead of the conventional metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFET). The JL transistor can overcome MOSFET's problems such as the thermal budget and short-channel effect. Thus, the JL transistor is considered as great alternative device for a next generation low standby power silicon system. In this paper, the JL FinFET was simulated with a three dimensional (3D) technology computer-aided design (TCAD) simulator and optimized for DC characteristics according to device dimension and doping concentration. The design variables were the fin width ($W_{fin}$), fin height ($H_{fin}$), and doping concentration ($D_{ch}$). After the optimization of DC characteristics, RF characteristics of JL FinFET were also extracted.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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