MEMS 부품을 위한 다결정 박막의 탄성 물성치 추출 시스템의 매개변수의 영향 (Parametric Effects of Elastic Property Extraction System of Polycrystalline Thin-Films for Micro-Electro-Mechanical System Devices)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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- pp.50-54
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- 2004