• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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• pp.250-250
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• 2008

This paper describes the resonant characteristics of polycrystalline SiC micro resonators. The $1{\mu}m$ thick polycrystalline 3C-SiC cantilevers with different lengths were fabricated using a surface micromachining technique. Polycrystalline 3C-SiC micro resonators were actuated by piezoelectric element and their fundamental resonance was measured by a laser vibrometer in vacuum at room temperature. For the 100 ~ $40{\mu}m$ long cantilevers, the fundamental frequency appeared at 147.2 kHz - 856.3 kHz. The $100{\mu}m$ and $80{\mu}m$ long cantilevers have second mode resonant frequency at 857.5 kHz and 1.14 MHz. Therefore, polycrystalline 3C-SiC micro resonators are suitable for RF MEMS devices and bio/chemical sensor applications.

• 센서학회지
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• 제17권6호
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• pp.425-428
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• 2008

This paper describes the resonant characteristics of polycrystalline SiC micro resonators. The $1{\mu}m$ thick polycrystalline 3C-SiC cantilevers with different lengths were fabricated using a surface micromachining technique. Polycrystalline 3C-SiC micro resonators were actuated by piezoelectric element and their fundamental resonance was measured by a laser vibrometer in vacuum at room temperature. For the $100{\sim}40{\mu}m$ long cantilevers, the fundamental frequency appeared at $147.2kHz{\sim}856.3kHz$. The $100{\mu}m$ and $80{\mu}m$ long cantilevers have second mode resonant frequency at 857.5.kHz and 1.14.MHz, respectively. Therefore, polycrystalline 3C-SiC resonators are suitable for RF MEMS devices and bio/chemical sensor applications.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1084-1088
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• 1995

In this paper, an electrostatic plate resonator with four corrugated bridges and another with four flat ones have been fabricated and tested by the electrostatic actuation. The resonators consist of one rigid plate and four bridges. Boron diffusion process and anisotropic etch process with EPW are mainly used to fabricate the resonators. The dynamic characteristics of the fabricated resonators are obtained by measuring the velocity of the center of the rigid plate using a laser vibrometer. The results show that the deflection of the resonator with the corrugated bridges is larger than the resonator with the flat ones. It has been confirmed that the corrugated structure releases the residual tensile stress in the bridges resulted from the diffusion process.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.69-70
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• 2008

Micro resonators have been actively investigated for bio/chemical sensors and RF M/NEMS devices. Among various materials, SiC is a very promising material for micro/nano resonators since the ratio of its Young's modulus, E, to mass density, $\rho$, is significantly higher than other semiconductor materials, such as, Si and GaAs. Polycrystalline 3C-SiC cantilever with different lengths were fabricated using a surface micromachining technique. Polycrystalline 3C-SiC micro resonators were actuated by piezoelectric element and its fundamental resonance was measured by a laser vibrometer in air and vacuum at room temperature, respectively. For the cantilever with $100{\mu}m$ length, $10{\mu}m$width and $1.3{\mu}m$ thickness, the fundamental frequency appeared at 147.2 kHz.

• 한국광학회지
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• 제20권1호
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• pp.41-47
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• 2009

다중모드 간섭기를 이용한 반도체 이중사각형 링 공진기에서의 단일 파장 모드 발진특성을 관찰하였다. 실험에 사용된 공진기의 에피택시는 발진 중심파장이 $1.55{\mu}m$인 InGaAsP-InP 다중양자우물 구조를 활성층으로 사용하여 제작되었다. 공진기의 구조는 다중모드 간섭기를 결합기로 이용한 이중사각형 링 공진기이며 발진특성을 측정하였다. 여러 가지 구조 변수를 즉 공진기의 구조 및 크기, 다중모드 간섭기의 길이를 변화시키며 실험을 진행하였다. 실험 결과 다양한 크기와 구성에서 단일파장모드선택 특성이 잘 나타남을 확인할 수 있었다.

• 한국광학회지
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• 제11권4호
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• pp.279-288
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• 2000

다양한 종류의 펄스형 Nd:YAG 레이저 공진기를 구성하여 출력경의 각도변화에 따른 레이저 출력에너지의 변화를 최대 출력에너지가 반으로 줄어드는 점의 각도변위인 반치폭 (FWHM)을 측정하여 비교하였다. 출력경의 기울어짐에 대하여 높은 반치폭을 갖고 반사경의 각도변화에 대해서도 덜 민감하게 반응하는 안정적인 펄스형 고체 레이저의 새로운 공지기를 구성하였다. ABCD 광선 전파 행렬식을 이용하여 이러한 공지기의 전파행렬식이 단위행렬이 됨을 해석함으로서 높은 정렬 안정성을 가지고 있음을 증명하였다.

• 한국광학회지
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• 제5권1호
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• pp.60-66
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• 1994

양영역 불안정형(Positive Branch Unstable) Nd:YAG 레이저 공진기를 모델링하여 공진기내의 TE$M_{00}$ 기본모우드의 waist에 대한 수치해석을 하였으며 이를 토대로 레이저 공진기를 설계 제작하였다. 레이저봉의 열렌즈 초점거리를 측정하였으며 이를 이용하여 빔 waist에서의 TE$M_{00}$ 모우드의 spot size에 대한 계산치와 실험치를 비교하였다. 그리고 고반복률로 발진하는 다중모우드(multimode)의 spot size를 측정하여 beam quality factor $M^2$을 산출하였다. 한편 불안정 공진기에서 얻어진 출력실험 결과를 Plane-Parallel 공진기의 경우에 비교하여 그 특성을 평가하였다.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제10권1호
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• pp.23-27
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• 2006

We are studying the application of an adaptive optics system to upgrade the beam quality of a laser. The adaptive optics (AO) system consists of a bimorph deformable mirror, a Shack-Hartmann sensor and a control system. In most AO applications, the beam aperture is considered to be circular. However, in some cases such as laser beams from unstable resonators, the beam apertures are annulus or a holed-rectangle. In this paper, we investigate how well a bimorph deformable mirror of ${\Phi}120\;mm$ clear aperture can compensate phase distortions for three different beam configurations; 1) ${\Phi}120\;mm$ circular aperture, 2) ${\Phi}100\;mm$ annulus aperture with a ${\Phi}20\;mm$ hole and 3) $70\;mm{\times}70\;mm$ square aperture with a hole of $30\;mm{\times}30\;mm$. This study concludes that the bimorph mirror, which might be considered as a modal controller, can compensate tilt, defocus, coma and astigmatism, and spherical aberration for all three beams.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제48권5호
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• pp.326-332
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• 1999

In this paper, we designed and fabricated High-Tc Superconducting (HTS) microstrip bandpass filters using Stepped Impedance Resonators(SIR) and studied on their characteristics. The $high-T_c$ superconducting $Y_1Ba_2Cu_3O_{7-x}$ epitaxial films were deposited by Pulse Laser Deposition (PLD) system on MgO. The fabricated filters were designed so as to operate in Ku band with central frequency 17.25 GHz, bandwidth 2.896% and ripple 0.01 dB. These filters were composed of parallel coupled microstrip SIR of which impedance ratio (K) are 0.5, 1.5. In the measured response, HTS filters had showed insertion loss below -0.5 dB. For comparison with normal conducting filter, we fabricated the Au counterpart that consists of the resonators as K=1.5 in the same dimension and measured performance of the Au filter. In comparison, HTS filter designed optimally got superior response to gold conterpart.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제12권5호
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• pp.731-736
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• 2017

본 논문에서는 광통신용 공진기에 필요한 광섬유의 오목한 면 제작에 관한 연구를 진행하였다. 불산(Hydrofluoric acid) 용액과 이 용액에 잘 흡수될 수 있는 파장인 $1.55{\mu}m$의 레이저를 인가하여 광열효과를 유도하였고, 식각 용액에서의 광열효과를 통해 광섬유 끝단의 곡률 반경을 자유롭게 변경할 수 있는 점을 현미경 사진 촬영으로 확인하였다. 빔 프로파일러를 이용하여 제작한 결과물의 끝단에서 방사되는 빔의 크기 변화를 관측하여 유효성을 검증하였고 본 논문의 저자들은 제시한 방식이 광통신용 공진기에 적용 가능성이 있을 것으로 보고 있다.