Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition
(PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2005.05a
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- pp.256-256
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- 2005