We report that the crack-free organic-inorganic hybrid silica thin films were fabricated by sol-gel process using organometallic compounds as a precursor and that we have established very reproducible fabrication condition with systematic investigation of thickness and refractive index variations for various control parameters, such as, coating type, coating speed, chemical composition, prebake and postbake temperature. Additionally, we measured and compared the change of optical property with the UV exposure dose for three different kinds of photoinitiators. Furthermore, the fabrication of Ix4 MMI optical power splitter using the sol-gel thin film provides the possibility of various applications to the optical waveguide devices. vices.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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v.43
no.2
s.344
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pp.13-17
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2006
Pentacene channel for organic thin film transistor was deposited on the SiOC film by thermal evaporation. The growth of pentacene is related with the Diels-Alder reaction and the nucleophilic reaction by the thermal induction. The surface is an important factor to control the recursive Diels-Alder reaction for growing of pentacene on SiOC far The terminal C=C double bond of pentacene molecule was broken easily as a result of attack of the nucleophilic reagents on the surface of SiOC film. The nucleophilic reaction can be accelerated by increasing temperature on surface, and it maks pentacene to grow hardly on the SiOC film with a flow rate ratio of $O_2/(BTMSM+O_2)=0.5$ due to its inorganic property. The nucleophlic reaction mechanism is $SN_2(bimolecular nucleophilic substitution)$ type.
Son, Dae Hee;Lee, Yun-Yi;Kim, Seong Jin;Hong, Seong-Soo;Lee, Gun-Dae;Park, Seong Soo
Applied Chemistry for Engineering
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v.22
no.6
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pp.691-696
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2011
Organic-inorganic hybrid coating solutions were prepared by using a sol-gel method for transparent film. In this study, colloidal silica (CS) and alkoxy silane such as vinyltrimethoxysilane (VTMS), and [3-(methacryloyloxy)]propyltri methoxy silane (MAPTMS) were used in various conditions such as types of organic silane, weight ratios of CS to silane and reaction times. Coating solutions which were bar coated on the PET (polyethyleneterephthalate) film and cured were investigated on the chemical and physical properties. The pencil hardness and adhesion of coating films were increased with increasing the organic silane content in the coating solution compared to that of PMMA (polymethamethylcrylate) coating solution.
A preparation process's conditions of aqueous sol which contains anatase-type nano titania particles with photocatalyic properties was established by using Yoldas process, so called, DCS(Destabilization of Colloidal Solution) process in this study. And crystal size change and phase transformation of titania particles in aqueous titania sol depending on reaction conditions was investigated by a light scattering method and XRD analysis of frozen dried powders, respectively. This sol with photo catalytic nano titania particles was used to the following hydrophilic hybrid coating film's fabrication and its properties was evaluated. Subsequently, for coating film using the above mentioned aqueous titania sol, non-aqueous titania sol was prepared without any chemical additives and its time stability according to aging time was investigate. By using the above mentioned aqueous titania sol and non-aqueous sol, a complex oxide coating sol for metal and ceramic substrate and a organic-inorganic hybrid coating sol for polymer substrate was prepared and it's hydrophilicity depending on UV irradiation conditions was evaluated. As a conclusions, the following results were obtained. (1)Aqueous titania sol The average particle size of titania in formed aqueous titania sol was distributed between 20$\sim$90nm range depending on reaction conditions. And the crystal phase of titania powders obtained by frozen drying method was changed from amorphous state to anatase and subsequently transformed to rutile crystal phase and it is attributed to concentration gradient in aqueous sol. (2)Non-aqueous titania sol Non-aqueous titania sol was prepared using methanol as a solvent and a little distilled water for hydrolysis and nitric acid as a catalyst were used. The obtained non-aqueous titania sol was stable at room temperature for 20 days. Additionally, non-aqueous titania sol with addition of chealating reagent such as acethylaceton and ethylene glycol prolonged the stability of sol by six months. (3)Complex sol and hybrid sol with super hydrophilicity The above mentioned aqueous titania sol as a main photocataylic component and non-aqueous titania sol as a binder for coating process was used to prepare a complex sol used for metal, ceramic and wood material substrate and also to prepare the organic-inorganic hybrid sol for polymer substrate such as polycarbonate and polyethylene, in which process APMS(3-Aminopropyltrimethoxysilane), GPTS(3-Glycidoxypropyl-trimethoxysilane) as a hydrophilic silane compound and HEMA(2-Hydroxyethyl methacrylate) as a forming network in hybrid coating film were used. The hybrid coating film such as prepared through this process showed a superhydrophilicity below 1$10^{\circ}$ depending on processing conditions and a pencil's hardness over 6 H.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.02a
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pp.305-305
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2012
The organic-inorganic hybrid polymer thin films were deposited using the gas phase method which known as molecular layer deposition (MLD). Titaniumchloride (TiCl4) and 1,4-phenylenediamine (PD) were used as monomers to deposit hybrid polymer. Self-terminating nature of TiCl4 and PD reaction were demonstrated by growth rate saturation versus precursors dosing time. Infrared spectroscopic and X-ray photoelectron spectroscopy were employed to determine the chemical composition and state of hybrid polymer thin films. Layer by layer growth was showed by increasing UV-VIS absorption peak of hybrid polymer thin films.
In this study, alkoxysilane-functionalized amphiphilic polymer (AFAP), which have hydrophilic segment and hydrophobic segment functionalized by alkoxysilane group at the same backbone, was synthesized and used as a dispersant and control agent for reaction rate in the preparation of colloidally stable organic-inorganic (O-I) hybrid sols. After reaction with fluorosilane compounds, fluorinated O-I hybrid sols were prepared and coated onto glass substrate to form hydrophobic O-I hybrid coating films through low-temperature curing process. Surface hardness and hydrophobicity of cured coating films were varied with type of solvent and composition of AFAP and fluorinated alkoxysilane compounds. At appropriate solvent and composition of fluorinated alkoxysilane compounds, O-I hybrid coating film having high transparency and surface hardness could be prepared, which could be applicable to cover window of solar cell and displays.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.257-257
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2010
One of the critical issues for applications of flexible organic thin film transistors (OTFTs) for flexible electronic systems is the electrical stabilities of the OTFT devices, including variation of the current on/off ratio ($I_{on}/I_{off}$), leakage current, threshold voltage, and hysteresis, under repetitive mechanical deformation. In particular, repetitive mechanical deformation accelerates the degradation of device performance at the ambient environment. In this work, electrical stabilities of the pentacene organic thin film transistors (OTFTs) employing multi-stack hybrid encapsulation layers were investigated under mechanical cyclic bending. Flexible bottom-gated pentacene-based OTFTs fabricated on flexible polyimide substrate with poly-4-vinyl phenol (PVP) dielectric as a gate dielectric were encapsulated by the plasma-deposited organic layer and atomic layer deposited inorganic layer. For cyclic bending experiment of flexible OTFTs, the devices were cyclically bent up to $10^5$ times with 5mm bending radius. In the most of the devices after $10^5$ times of bending cycles, the off-current of the OTFT with no encapsulation layers was quickly increased due to increases in the conductivity of the pentacene caused by doping effects from $O_2$ and $H_2O$ in the atmosphere, which leads to decrease in the $I_{on}/I_{off}$ and increase in the hysteresis. With encapsulation layers, however, the electrical stabilities of the OTFTs were improved significantly. In particular, the OTFTs with multi-stack hybrid encapsulation layer showed the best electrical stabilities up to the bending cycles of $10^5$ times compared to the devices with single organic encapsulation layer. Changes in electrical properties of cyclically bent OTFTs with encapsulation layers will be discussed in detail.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.02a
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pp.118-118
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2011
The Nano-Floating Gate Memory(NFGM) devices with ZnO:Cu thin film embedded in Al2O3 and AlOx-SAOL were fabricated and the electrical characteristics were evaluated. To further improve the scaling and to increase the program/erase speed, the high-k dielectric with a large barrier height such as Al2O3 can also act alternatively as a blocking layer for high-speed flash memory device application. The Al2O3 layer and AlOx-SAOL were deposited by MLD system and ZnO:Cu films were deposited by ALD system. The tunneling layer which is consisted of AlOx-SAOL were sequentially deposited at $100^{\circ}C$. The floating gate is consisted of ZnO films, which are doped with copper. The floating gate of ZnO:Cu films was used for charge trap. The same as tunneling layer, floating gate were sequentially deposited at $100^{\circ}C$. By using ALD process, we could control the proportion of Cu doping in charge trap layer and observe the memory characteristic of Cu doping ratio. Also, we could control and observe the memory property which is followed by tunneling layer thickness. The thickness of ZnO:Cu films was measured by Transmission Electron Microscopy. XPS analysis was performed to determine the composition of the ZnO:Cu film deposited by ALD process. A significant threshold voltage shift of fabricated floating gate memory devices was obtained due to the charging effects of ZnO:Cu films and the memory windows was about 13V. The feasibility of ZnO:Cu films deposited between Al2O3 and AlOx-SAOL for NFGM device application was also showed. We applied our ZnO:Cu memory to thin film transistor and evaluate the electrical property. The structure of our memory thin film transistor is consisted of all organic-inorganic hybrid structure. Then, we expect that our film could be applied to high-performance flexible device.----못찾겠음......
Tetraethyl orthosilicate (TEOS)로 형성된 gel의 film 형성 특성을 증가시키기 위하여 (3-glycidyloxypropyl)trimethoxysilane (GPTMS)와 1,2-bis(triethoxysilyl)ethane (BTEOS)를 추가한 유기-무기 복합 용액을 제조하였다. 화강암과 사암에 적용한 후, 접촉 각 및 고형화 시간, silicate의 함유량, 수분 흡수율 및 석재에 적용되었을 때의 공극률 변화를 측정하여 silicate를 기본으로 하는 복합제의 특성을 분석하였다.
Amphiphobic thin films for touched panel application was prepared by $SiO_2$ nanoparticles self-assembled nanostructure. Silicon dioxide nano spheres were prepared by sol-gel method and well dispersed in a solution with surfacants of low surface energy. Nanostrcture thin films were obtained by spin coating technologies.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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