Abstract
We report that the crack-free organic-inorganic hybrid silica thin films were fabricated by sol-gel process using organometallic compounds as a precursor and that we have established very reproducible fabrication condition with systematic investigation of thickness and refractive index variations for various control parameters, such as, coating type, coating speed, chemical composition, prebake and postbake temperature. Additionally, we measured and compared the change of optical property with the UV exposure dose for three different kinds of photoinitiators. Furthermore, the fabrication of Ix4 MMI optical power splitter using the sol-gel thin film provides the possibility of various applications to the optical waveguide devices. vices.
유기 금속화합물을 출발물질로 이용하는 졸-겔 방법으로 균열이 없는 유기-무기 복합 실리카 박막을 제작하였으며, 코팅방법, 조성비, prebake, postbake 온도 등의 제작조건에 따른 박막의 두께 및 굴절률의 변화를 체계적으로 조사하여 재현성 있는 제작조건을 확립하였다. 특히 광개시제를 첨가하였을 때 자외선 노광량에 따른 광학적 성질변화를 세 가지 광개시제에 대하여 측정, 비교하였다. 또한 졸-겔 박막으로 다중모드 간섭을 이용한 광 파워 분배기를 제작하여 광소자로의 응용 가능성을 살펴보았다.