• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2005.07a
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• pp.46-47
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• 2005

이번 연구는 $BCl_3/CF_4$ 플라즈마를 사용하여 반도체소자 제조 시 널리 이용되는 GaAs 계열반도체 중 대표적인 재료인 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 구조를 선택적으로 건식 식각한 후 분석한 것이다. 공정변수로는 ICP 소스파워를 0-500W, RIE 파워를 0-50W 그리고 $BCl_3/CF_4$ 가스 혼합비를 중점적으로 변화시켰다. $BCl_3$ 플라즈마만을 사용한 경우 (20$BCl_3$, 20W RIE power, 300W ICP source power, 7.5mTorr) 는 GaAs:AlGaAs의 선택비가 0.5:1 이었으며 이때 GaAs의 식각률은 ~2200${\AA}/min$ 이었으며 AlGaAs의 식각률은 ~4500${\AA}/min$ 이었다. 식각 후 표면의 RMS roughness은 < 2nm로 깨끗한 결과를 보여주었다. 15% $CF_4$ 가스가 혼합된 $17BCl_3/3CF_4$, 20W RIE power, 300W ICP source power, 7.5mTorr의 조건에서 3분 동안 공정한 결과 순수한 $BCl_3$ 플라즈마만을 사용한 경우보다 표면은 다소 거칠었지만 (RMS roughness: ~8.4) GaAs의 식각률 (~980nm/min)과 AlGaAs와 InGaP에 대한 GaAs의 선택도 (GaAs:AlGaAs=16:1, GaAs:InGaP=38:1)는 크게 증가하였다. 그리고 AlGaAs 및 InGaP의 경우 식각 시 나타난 휘발성이 낮은 식각 부산물 ($AlF_3:1300^{\circ}C$, $InF_3:1200^{\circ}C$)로 인하여 50nm/min 이하의 낮은 식각률을 보였고, 62.5%의 $CF_4$가 혼합된 $7.5BCl_3/12.5CF_4$플라즈마의 조건에서는 AlGaAs 및 InGaP에 대한 GaAs의 선택도가 각각 280:1, 250:1을 나타내었다.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.24 no.10
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• pp.839-843
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• 2011

ZnO nanostructures were developed on a Si (100) substrate from powder mixture of ZnO and 5 mol% Pd (ZP-5) as reactants by ${\times}$ sccm oxygen pressures(x= 0, 10, 20, 40). DTA (differential thermal analysis) result shows the Pd(5 mol%)+ZnO mixtured powder(PZ-5) is easily evaporated than pure ZnO powder. The PZ-5 mixtured powder was characterized by DTA to determine the thermal decomposition which was found to be at $800^{\circ}C$, $1,100^{\circ}C$. Weight loss(%) and ICP (inductively coupled plasma) analysis reveal that Zn vaporization is decreased by increased oxygen pressures from the PZ-5 at $1,100^{\circ}C$ for 30 mins. Needle-like ZnO nanostructures array developed from 10 sccm oxygen pressure, was well aligned vertically on the Si substrate at $1,100^{\circ}C$ for 30 mins. The lengths of the Needle-like ZnO nanostructures is about 2 ${\mu}m$ with diameters of about 65 nm. The developed ZnO nanostructures exhibited growth direction along [001] with defect-free high crystallinity. It is considered that Zn vaporization is responsible for the growth of Needle-like ZnO nanostructures by controlling the oxygen pressures. The photoluminescence spectra of ZnO nanostructures exhibited stronger 376.7 nm NBE (near band-edge emission) peak and 529.3 nm DLE (deep level energy) peak.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.116-116
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• 2007

21 세기에 접어들면서 인터넷을 통한 정보 통신의 발달과 개인 휴대용 이동 통신기기의 활발한 보급에 따라 휴대형 전자기기들의 소형화와 고성능화로 나아가고 있다. 이러한 전자기기에 사용될 IC의 내장 메모리 또한 집적화 및 고속화, 저 전력화가 이루어져야 한다. 이러한 전자기기들에 필수적인 압전 세라믹스 부품 중 압전 부저 및 기타 음향 부품등을 각종 전자기기와 무선 전화기에 채택함으로써 압전 부품에 대한 수요와 생산이 계속 증가할 것으로 전망된다. 이처럼 압전 세라믹스를 이용한 그 응용 범위는 대단히 방대하며, 현재 모든 압전 부품들은 PZT 계열 재료로 만들어지고 있고, 차후 모두 비납계열 재료로 대체될 것이 확실시된다. Pb의 환경오염은 이미 오래전부터 큰 문제점으로 인식되고 있었으며 그 일례로 미국의 캘리포니아 주에서는 1986년부터 약 800종의 유해물질, 그 중에서도 Pb 사용을 300ppm 이하로 규제하는 Proposition 65를 제정하여 실행하고 있다. 그리고 2003년 2월에 EU (European Union) 에서 발표한 전자산업에 관한 규제 사항중 하나인 위험물질 사용에 관한 지칭 (Restriction of Hazardous Substance, RoHS) 에 의하면, 2006 년 7월부터 전기 전자 제품에 있어서 위험 물질인 Pb을 포함한 중금속 물질(카드늄, 수은, 6가 크롬, 브롬계 난연재)의 사용을 금지한다고 발표하였다. 비록 전자세라믹 부품에 함유된 Pb는 예외 사항으로 두었지만 대체 가능한 물질이 개발되면 전자세라믹 부품에서도 Pb의 사용을 금지한다고 규정하였다. 더욱이 일본은 2005 년부터 Pb 사용을 금지시켰다. 이와 같이 Pb가 환경에 미치는 영향 때문에 비납계 강유전 물질 및 압전 세라믹스 재료에 대한 연구가 전 세계적으로 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 비납계 강유전체의 patterning을 위해서, NKN 박막을 고밀도 플라즈마원인 ICP를 이용하여 식각 mechanism을 연구하고, 식각변수에 따른 식각 공정을 최적화에 대하여 연구하였다. 가스 혼합비에 따라 식각 할때 700 W의 RF 전력과 - 150 V의 직류 바이어스 전압을 인가하였고, 공정 압력은 2 Pa, 기판 온도는 $23^{\circ}C$로 고정하였다. 식각 속도는 Tencor사의 Alpha-step 500을 이용하여 측정되었으며 식각 시 NKN 박막 표면과 라디칼과의 화학적인 반응을 분석하고 식각 메커니즘을 규명하기 위하여 XPS(x-ray photoelectron spectroscopy)를 사용하였다.

• Journal of Korean Society on Water Environment
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• v.23 no.2
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• pp.201-205
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• 2007

This paper reports the amount of $^{222}Rn$ and $^{238}U$ in 18 sites of ground water and 30 sites of surface water. The instrument used to count $^{222}Rn$ activity was the liquid scintillation counter (LSC) which could resolute ${\alpha}$ and ${\beta}$ radiations. And $^{238}U$ was analyzed by the inductively coupled plasma (ICP). Radon and Uranium were not detected in raw and treated water which were sampled in a water treatment plant. However, radon ($^{222}Rn$) was high concentration in ground water from Jeon-la, Gang-won. So was uranium ($^{238}U$) in case of ground water from Gang-won, Choong-chung. Radon ($^{222}Rn$) activities were detected less than 15 pCi/L at 5 sampling points, 15~300 pCi/L at 7 sampling points, 300~4000 pCi/L at 6 sampling points. However, Radon ($^{222}Rn$) activities of all ground water samples were less than 4,000 pCi/L, which was bellow American Alternative Maximum Contamination Level (AMCL). Uranium ($^{238}U$) concentrations were less than $0.1{\mu}g/L$ at 5 sampling points, from $0.1{\mu}g/L$ to $20{\mu}g/L$ at 13 sampling points. Uranium was not detected in about 30% of the whole samples, but the concentration ranged from relatively low to high concentrations depending on the sampling point. The minimum detectable activity (MDA) of radon was 15 pCi/L. and the detection limit of uranium was $0.1{\mu}g/L$.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.46 no.3
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• pp.283-287
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• 2014

This study determined the hazardous heavy metal content of mushrooms from markets in Seoul, Korea. One hundred and fifty mushroom samples were digested by the microwave method then the hazardous heavy metal (Pb, Cd, As, Cr, Ni and Hg) content was determined by the inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) and mercury analyzer. The average values of heavy metals in the samples were as follows: (mean [minimum-maximum], ${\mu}g/kg$); Pb 7.8 (1.9-30.0), Cd 45.3 (0.7-292.4), As 54.6 (24.2-229.3), Cr 42.6 (8.4-334.3), Ni 22.4 (up to 180.4), and Hg 8.9 (2.0-25.0). The contents of hazardous heavy metal in mushrooms were lower than those reported previously and also lower than the Provisional Tolerable Weekly Intake (PTWI) limit prescribed by the FAO/WHO. Thus, it could be suggested that the hazardous heavy metals levels in the mushrooms of retail market were adequately safe for consumption.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.34 no.6
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• pp.992-997
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• 2002

Contents of heavy metals in sugar products were estimated to provide a scientific basis for standardization of Korea Food Code of heavy metals. The contents of mercury (Hg), lead (Pb), cadmium (Cd), arsenic (As) and copper (Cu) were determined in 285 sugar product samples using a mercury analyzer, atomic absorption spectrophotometer, and inductively coupled plasma spectrometer. The values of heavy metals in sugar products $[minimum{\sim}maximum\;(mean),\;mg/kg]$ were as follows: $Hg,\;N.D.{\sim}0.006 (0.001);$ $Pb,\;N.D.{\sim}0.47 (0.03);$ $Cd,\;N.D.{\sim}0.06(0.005);\;As,\;N.D.{\sim}0.10(0.004);\;Cu,\;N.D.{\sim}1.89(0.15)$. These results show that metal contents of domestic sugar products are similar to those reported in other countries. Weekly average intakes of lead, cadmium, and mercury from sugar products were $0.004{\sim}0.1%$ of Provisional Tolerable Weekly Intake set by FAO/WHO Joint Food Additives and Contaminants Committee to evaluate the safeties of sugar products.

• Journal of Nutrition and Health
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• v.37 no.3
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• pp.193-201
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• 2004

The objective was to evaluate the factors influencing on the growth of children aged 3 - 6 years by mini dietary assessment and anthropometric indices in 556 children and by analyzing mineral contents of hair from 273 children by inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS). The mean concentration of zinc (Zn) in hair was 68.9 $\pm$ 31.1 ppm and the zinc level of 91 ％ children was less than 60％ of the reference value of 180 ppm. The mean content of lead (Pb) in hair was 1.76 $\pm$ 1.20 ppm, but only 67％ of 273 children was within the reference value of 2 ppm and the lead level of 33％ of children was 2 - 4 times higher than the reference value. The level of Zn was negatively correlated with Pb content (r = -0.305, p 〈 0.01). Hair Zn content, regardless of age, was significantly positively correlated with height (r = 0.214) and body weight (r = 0.159). The height of 95.3％ children was belonged to the normal range of 90 - 109.9％ of standard value and the body weight of 49.8％ children was in the range of 90 - 109.9％ of standard value. However, 8.1 ％ children was overweighted (110 - 119.9％ of standard) and 9.4％ children was obese (120 - 149.9％ of standard) and 0.9％ children was severe obese (〉 150％) which resulted in total 10.3％ obese. Contrary to our expectation, 32.8％ children was underweight (70 - 89.9％ of standard) and 36％ of the underweight children showed the low content of zinc (10 - 49 ppm) in hair. There was no significant correlation between dietary intake of Zn and hair Zn content. Hair Zn content was low even though children consumed greater than 75％ of their requirement for zinc. Regardless of dietary intake of Zn, hair Zn level was rather negatively correlated to the content of Pb in hair. 38.8％ children had an unbalanced diet which resulted in lower intake of calorie, Ca, Zn, vitamin B$_2$ compared with those consuming variety of foods. Therefore, it would be needed that new approach for nutrition education to improve eating habit having the unbalanced diet in preschool children. It might be also suggested to develop new food products to complement the nutrients of Zn, Ca, Fe as snacks or dietary supplement for Korean preschool children.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2003.05a
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• pp.3-3
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• 2003

고밀도 플라즈마를 생산할 수 있는 대면적용 플라즈마 소스의 개발은 미세전자구조 산업에서부터 FPD 산업에 이르기까지 많은 영역에 걸쳐 필수 불가결한 기술요소가 되어가고 있 다. 이러한 대면적용 고밀도 플라즈마에의 적용을 위하여 새로운 유도결합형 플라즈마 소오스의 개발이 진행되고 있으며, 차세대 반도체 식각 및 세정 공정을 위하여 여러 형태의 안 테나가 연구되어지고 있다. 그러나 TFT -LCD에 적용이 가능하게끔 기존의 ICP 소오스를 직 접적으로 대면적화 하는 데에는 여러 가지 문제점들로 인해 그 한계점이 들어났다. 그 예로 안테나의 길이가 길어짐에 따른 안테나 저항 값이 커지며, 안테나 소스 길이자체가 사용하는 인가전력(13.56MHz)의 반파장에 해당되는 길이가 되었을 경우 생기는 심각한 정상파 효과, 유전물질의 두께 증가 및 그에 따른 재료비의 상승 및 관리상의 어려움들이 바로 그것 이라 할 수 있겠다. 그러므로, 본 연구에서는 차세대 TFT -LCD 대면적 공정에 적용 가능한 고밀도 플라즈마 를 발생시키기 위해서 내장형 유도결합형 선혈 안테나를 사용하였다. 내장형 유도결합형 선 혈 안테나가 가지고 있는 고유의 정전기적 결합효과를 최소화시키기 위해 직사각형모앙의 플라즈마 댐버(830mm*1,020mm)에서 영구자석을 사용하여 multi-cusp 자장효과 및 다양 한 자장의 배열에 따른 플라즈마 특성변화를 살펴보았다. 영구자석을 사용하여 외부자장을 인가하였을 때가, 그럴지 않은 때보다 RF 안테나 코일의 전압을 낮춰주었으며, 영구자석의 배열에 따라 코일의 인덕턴스의 값이 크게 변함을 알 수 있었다. 그리고 최적화된 자장의 배열은 플라즈마의 이온밀도를 증가시켰으며, 플라즈마의 균일도도 10% 이내로 유지됨을 알 수 있었다. 또한 영구자석에 의한 자장의 유무 및 공정압력과 인가전력에 따른 P Photoresist Film의 식각특성에 관해 살펴보았다.증을 위한 실험.측정장비의 구입 및 업계와의 공동활용, 국내.외 최신기술 정보자료의 수집과 신속제공, 국내.외 전문가 초청 활 용, 미래 지향적 목적활용 기초연구사업 수행, 미래기술 동향예측 및 홍보 등을 통해 서 국내 도금기술의 기술자립 및 고도화를 위한 여건마련을 위하여 노력하고 있다.빛 이때의 부식속도(선형분극법), 인위적인 피막 파괴 전,후 의 전위 변화 및 부식속도 측정법에 의한 국부부식 발달 저지능 등을 평가하여 각 실험결과를 비교분석하여 보았다. 수록 민감하여 304 의 IGSCC 와 매우 유사한 거동을 보인다. 본 강연에서는 304 와 600 의 고온 물에서 일어나는 IGSCC 민감도에 미치는 환경, 예민화처리, 합금원소의 영향을 고찰하고 이에 대한 최근의 연구 동향과 방식 방법을 다룬다.다.의 목적과 지식)보다 미학적 경험에 주는 영향이 큰 것으로 나타났으며, 모든 사람들에게 비슷한 미학적 경험을 발생시키는 것 이 밝혀졌다. 다시 말하면 모든 사람들은 그들의 문화적인 국적과 사회적 인 직업의 차이, 목적의 차이, 또한 환경의 의미의 차이에 상관없이 아름다 운 경관(High-beauty landscape)을 주거지나 나들이 장소로서 선호했으며, 아름답다고 평가했다. 반면에, 사람들이 갖고 있는 문화의 차이, 직업의 차 이, 목적의 차이, 그리고 환경의 의미의 차이에 따라 경관의 미학적 평가가 달라진 것으로 나타났다.corner$적 의도에 의한 경관구성의 일면을 확인할수 있지만 엄밀히 생각하여 보면 이러한 예의 경우도 최락의 총체적인 외형은 마찬가지로 $\ulcorner$순응$\lrcorner$의 범위를 벗어나지 않는다. 그렇기 때문에도 $\ulcorner$순응$\lrcorner$과 $\ulcorner$표현$\lrcorner$

• YAKHAK HOEJI
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• v.57 no.1
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• pp.8-17
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• 2013

The objective of this study is investigation of contamination levels and transfer rate of heavy metals and assessment of health risk effects in animal medicines. A total of sixteen items with 148 samples were obtained for this investigation from major herbal medicine producing areas and herbal markets from 2011 to 2012. Inductively coupled plasma mass spectrometer method was conducted for the quantitative analysis of Pb, Cd and As. In addition, the mercury analyzer system was conducted for that of Hg without sample digestion. The average contents of heavy metals in animal medicines were as follows : 1.55 mg/kg for Pb, 0.28 mg/kg for Cd, 0.70 mg/kg for As and 0.047 mg/kg for Hg respectively. The average contents of heavy metals in decoctions were as follows : 0.03 mg/kg for Pb, 0.01 mg/kg for Cd, 0.17 mg/kg for As and 0.003 mg/kg for Hg respectively. The average transfer rates of heavy metals from animal medicines to decoctions were 1.9% for Pb, 3.6% for Cd, 24.2% for As and 6.0% for Hg respectively. Cancer risks of animal medicines and decoctions through slope factor by ministry of environment republic korea and environmental protection agency was $1.36{\times}10^{-6}$ and $2.50{\times}10^{-8}$ for Pb and $7.46{\times}10^{-5}$ and $1.98{\times}10^{-5}$ for As (assuming that the total arsenic content was equal to the inorganic arsenic) respectively. The hazard index of heavy metals in animal medicines and decoctions was below recommended hazard index as 0.52 and 0.05 respectively. Taken together, cancer risks about Pb and hazard indexes of animal medicines and decoctions indicate that the majority of samples except for some samples with relative high contents of heavy metals were safe. But cancer risks about As of animal medicines indicate that the majority of samples were not relatively safe.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.48 no.3
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• pp.344-351
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• 2021

The purpose of this study was to compare surface hardness between titanium-nitride coated crowns (TiNCs) and stainless steel crowns (SSCs), and to evaluate the corrosion resistance and color sustainability of TiNCs. Ten TiNCs and 10 SSCs were used for the hardness test. Measurement was performed 30 times for each type of crowns, and the mean values were compared. Metallic raw material plates (before being processed into crowns) of TiNCs and SSCs were prepared for the corrosion resistance test. The total amounts of metal ion releases in the test solution were detected by inductively coupled plasma-optical emission spectrometry. Five TiNCs were subjected to the color sustainability test by applying repetitive brushing forces. The mean hardness values of TiNC group and SSC group were 395.53 ± 105.90 Hv and 278.70 ± 31.45 Hv respectively. Hardness of TiNCs were significantly higher than that of SSCs. The total amounts of metal ion releases from the materials of TiNCs and SSCs satisfied the criterion in International Organization for Standardization 22674. The results mean that TiNCs and SSCs were not harmful in an acidic environment. The golden coating was stable against the repetitive physical stimulations for a given period time.