• 제목/요약/키워드: InSnZnO

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저손실 첨가제가 NiCuZn Ferrite 특성에 미치는 영향 연구 (A Study on the Effect of Low-loss Additives on the Property of NiCuZn Ferrite)

  • 김환철;고재귀
    • 한국재료학회지
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    • 제13권8호
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    • pp.531-536
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    • 2003
  • The electromagnetic properties and microstructures of the ferrites based on ($Ni_{0.2}$ $Cu_{0.2}$ $Zn_{0.6}$)$_{1.085}$($Fe_2$$O_3$)$_{0.915}$ were investigated by changing the amount of additive SnO$_2$and CaO and the sintering temperatures. Addition of $SnO_2$caused pores in the specimen. There was no variation of grain size by changing the amount of additives. Total loss was reduced when ($Ni_{0.2} $Cu_{0.2}$ $Zn_{ 0.6}$)$_{1.085}$ ($Fe_2$$O_3$)$_{0.915}$ composition was sintered at $1150^{\circ}C$ rather than $1300^{\circ}C$. Addition of CaO was useful to reduce the total loss because it increased the sintering density. The lowest total loss was obtained when 0.06 wt% $SnO_2$and 0.4 wt% CaO were added at the same time.

아크롤레인 선택 산화반응에서 Mo-V-O와 금속산화물의 상간협동 (Phase Cooperation Between Mo-V-O and Metal Oxide in Selective Oxidation of Acrolein)

  • 박대원;나석은;김경훈;이원호;정종식
    • 공업화학
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    • 제5권2호
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    • pp.327-336
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    • 1994
  • 본 연구는 아크롤레인의 선택산화반응에서 Mo-V-O와 금속산화물의 기계적 혼합촉매에 대한 synergy 효과를 고찰한 것으로 금속산화물로는 $SnO_2$, ${\alpha}-Sb_2O_4$, $WO_3$, ${\alpha}-Al_2O_3$, CuO, $MnO_2$, $Cu_2O$, MgO, CoO 그리고 ZnO 등을 사용하였다. $SnO_2$${\alpha}-Sb_2O_4$와 Mo-V-O의 혼합물 촉매는 Mo-V-O보다 높은 전화율과 수율을 나타내었는데 이것은 이들이 산소 빈자리에 해리 홉착된 산소를 형성하여 Mo-V-O에 전달하는 상간협동에 의한 것으로 판단된다 그러나 $Cu_2O$, MgO, CuO, $MnO_2$와 Mo-V-O의 혼합물 촉매의 경우 전화율은 증가하였으나 수율은 감소하였고, CoO와 ZnO는 Mo-V-O의 촉매성능을 억제하였다. 각 금속산화물의 역할이 서로 다른 점을 그들의 산화-환원 특성으로 설명하였다.

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박막 가스 검지후소자의 제조에 관한 연구 (Study on the Preparation of Thin film gas sensors)

  • 이덕동;김봉열
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제18권1호
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    • pp.35-40
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    • 1981
  • 분무법(spray method), 화학증착법(chemical vapor deposition method) 및 진공도착법 등을 사용하여 SRO2, SROr-ZnO 및 ZnO 박막가스 검지소자를 제조하였다. 제된된 소자들은 CO 및 SO2 등 유독가스를 포함한 여러 가지 가스에 대해 민감한 반응을 나타내었다. 박막가스 검지소자가 각종 가스와 접촉할 때 생기는 전기시도도의 변화는 이들 가스의 표면흡착에 의한 캐리어밀도의 변화에 기인하는 것으로 사료된다. 아울러 제조된 청막소자의 전기부도도는 소자 주위에 유지되는 기력에 따라 크게 달라짐을 알 수 있었다.

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RF 마그네트론 스퍼터를 사용하여 증착한 IZTO 박막의 Zn/Sn 비율에 따른 효과 (The Effect of Zn/Sn Different Raito of InZnSnO Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering)

  • 김기환;마리야느 푸트리;구창영;이정아;김정주;이희영
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제26권8호
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    • pp.591-596
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    • 2013
  • Indium Zinc Tin Oxide (IZTO) thin films were developed as an alternative to Indium Tin Oxide (ITO) thin films. ITO material which has been acknowledged with its low resistivity and optical transparency of 85-90% has been used as major transparent conducting oxide (TCO) materials. However, due to the limited source, high price, and instability problems at high temperature of indium, many researches has been focused on indium-saving TCO materials. Mason Group of Northwestern University was reported to expand the solubility limit up to 40% by co-doping with 1:1 ratio of $Zn^{+2}$ and $Sn^{+4}$ ions. In this study, the properties of IZTO thin films corresponding to Zn/Sn different ratio were investigated. In addition, the effect of substrate temperature variable to the structural, optical and electrical properties of IZTO thin films was investigated.

Combinatorial 방법으로 증착한 Zn-Sn-O계 박막의 열처리 효과 (Annealing effect of Zn-Sn-O films deposited using combinatorial method)

  • 고지훈;김인호;김동환;이경석;박종극;이택성;백영준;정병기;김원목
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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    • pp.998-1001
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    • 2004
  • ZnO, $SnO_2$ 타겟 각각의 RF 파워를 50 W, 38 W로 고정시킨 후 combinatorial RF magnetron sputtering법을 사용하여 기판 위치에 따라서 조성 구배를 주어 여러 가지 조성의 Zn-Sn-O(ZTO) 박막을 제작하였다. 시편의 열처리에 따른 물성 변화를 분석하기 위해 Rapid Thermal Annealer(RTA)을 이용하여 450, $650{^\circ}C$의 온도 및 $10^{-2}$ Ton의 진공 분위기에서 각각 1 시간 동안 열처리하였다. XRD 분석 결과 상온에서 제작된 ZTO 박막은 Sn 18 at%의 조성을 갖는 시편을 제외하고 모두 비정질상으로 나타났다. $450^{\circ}C$에서 열처리 후 구조적인 변화는 보이지 않았으나, 캐리어 농도와 이동도는 증가하였으며 Sn 54 at%의 조성에서 최고 $25.4cm^2/Vsec$의 전자 이동도를 나타내었다. $26{\leq}Sn$ $at%{\leq}65$의 조성 범위를 갖는 박막은 가시광 영역에서 80 % 이상의 투과도를 가졌으며 $650^{\circ}C$에서 결정화가 되면서 투과도가 증가하였다.

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물 분해 수소제조를 위한 금속산화물들의 반응특성 (The Properties of the Several Metal Oxides in the Water-splitting for H2 Production)

  • 손현명;박주식;이상호;황갑진;김종원;이진배
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제14권3호
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    • pp.268-275
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    • 2003
  • The water-splitting process by the metal oxides using solar heat is one of the hydrogen production method. The hydrogen production process using the metal oxides (NiFe2O4/NiAl2O4,CoFe2O4/CoAl2O4, CoMnNiFerrite, CoMnSnFerrite, CoMnZnFerrite, CoSnZnFerrite) was carried out by two steps. The first step was carried out by the CH4-reduction to increase activation of metal oxides at operation temperature. And then, it was carried out the water-splitting reaction using the water at operation temperature for the second step. Hydrogen was produced in this step. The production rates of H2 were 110, 160, 72, 29, 17, $21m{\ell}/hr{\cdot}g-_{Metal\;Oxide}$ for NiFe2O4/NiAl2O4, CoFe2O4/CoAl2O4, CoMnNiFerrite, CoMnSnFerrite, CoMnZnFerrite, CoSnZnFerrite respectively in the second step. CoFe2O4/CoAl2O4 had higher H2 production rate than the other metal oxides.

용액공정을 이용한 ZnSnO 산화물 반도체 박막 트랜지스터에서 Mg 첨가에 따른 영향 (Electrical Properties of Mg Doped ZnSnO TFTs Fabricated by Solution-process)

  • 최준영;박기호;김상식;이상렬
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제24권9호
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    • pp.697-700
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    • 2011
  • Thin-film transistors(TFTs) with magnesium zinc tin oxide(MZTO) channel layer are fabricated by solution-process. The threshold voltage (Vth) shifted toward positive directly with increasing Mg contents in MZTO system. Because the Mg has a lower standard electrode potential (SEP) than Sn, Zn, thus degenerate the oxygen vacancy ($V_O$). As a result, the Mg act as carrier suppressor and oxygen binder in the MZTO as well as a Vth controller.

The Investigation of Microwave irradiation on Solution-process amorphous Si-In-Zn-O TFT

  • 황세연;김도훈;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.205-205
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    • 2015
  • 최근, 비정질 산화물 반도체를 이용한 TFT는 투명성, 유연성, 저비용, 저온공정이 가능하기 때문에 차세대 flat-panel 디스플레이의 back-plane TFT로써 다양한 방면에서 연구되고 있다. 산화물 반도체 In-Zn-O-시스템에서는 Gallium (Ga)을 suppressor로 사용한 a-In-Ga-Zn-O (a-IGZO) 뿐만 아니라, Magnesium (Mg), Hafnium (Hf), Tin (Sn), Zirconium (Zr) 등의 다양한 물질이 연구되었다. 그 중 Silicon (Si)은 Ga, Hf, Sn, Zr, Mg과 같은 suppressor에 비해 구하기 쉬우며 가격적인 측면에서도 저렴하다는 장점이 있다. solution 공정으로 제작한 산화물 반도체 TFT는 진공 시스템을 사용한 공정보다 공정시간이 짧고, 저비용, 대면적화가 가능하다는 장점이 있다. 하지만, 투명하고 유연한 device를 제작하기 위해서는 저온 공정과 low thermal budget은 필수적이다. 이러한 측면에서 MWI (Microwave Irradiation)는 저온공정이 가능하며, 짧은 공정 시간에도 불구하고 IZO 시스템의 산화물 반도체의 전기적 특성 향상을 기대할 수 있는 효율 적인 열처리 방법이다. 본 연구에서는 In-Zn-O 시스템의 TFT에서 silicon (Si)를 Suppressor로 사용한 a-Si-In-Zn-O (SIZO) TFT를 제작하여 두 가지 열처리 방법을 사용하여 TFT의 전기적 특성을 확인하였다. 첫 번째 방법은 Box Furnace를 사용하여 N2 분위기에서 $600^{\circ}C$의 온도로 30분간 열처리 하였으며, 두 번째는 MWI를 사용하여 1800 W 출력 (약 $100^{\circ}C$)에 2분간 열처리 하였다. MWI 열처리는 Box Furnace 열처리에 비해 저온 공정 및 짧은 시간에도 불구하고 향상된 전기적 특성을 확인 할 수 있었다.

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이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성

  • 변자영;송풍근
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.253-253
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    • 2015
  • 최근 세계적으로 대체 에너지는 중요한 이슈가 되고 있으며 특히 열전 재료는 유망한 에너지 기술로서 주목 받고 있다. 특히 고 직접화 전자 소자의 발열 문제를 해결하기 위해, 소형화와 정밀 온도 제어가 가능한 박막형 열전 소자에 대한 관심이 크다. 박막형 열전소자 중 산화물 반도체계에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며, 이러한 산화물 반도체계 중 In2O3는 BiTe, PbTe 등의 기존의 재료에 비해 독성이 낮을 뿐만 아니라 고온에서 열적 안정성이 우수하여 고온에서 적용 불가능한 금속계 열전 재료의 한계를 극복할 수 있다는 장점을 가진다. 좋은 성능의 열전 재료는 높은 전기 전도도 및 제백 계수 그리고 낮은 열전도도 특성을 가져야 한다. 비정질 구조를 가지는 박막 열전 재료는 격자에 의한 열 전도도가 낮기 때문에 결정질 구조와 비교하여 전체 열 전도도 값이 낮을 것으로 기대된다. 이러한 특성을 바탕으로 본 연구에서는 비정질 구조를 갖는 ZnO와 SnO2를 동시에 첨가한 In2O3 박막의 전기적 특성과 열전 특성에 관한 연구를 하였다.

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Zn(Ox,S1-x) 버퍼층 적용을 통한 Cu2ZnSnS4 태양전지 특성 향상 (Improvement of Cu2ZnSnS4 Solar Cell Characteristics with Zn(Ox,S1-x) Buffer Layer)

  • 양기정;심준형;손대호;이상주;김영일;윤도영
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제55권1호
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    • pp.93-98
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    • 2017
  • 본 실험에서는 $Cu_2ZnSnS_4$(CZTS) 태양전지의 흡수층 상부에 다양한 조성을 갖는 $Zn(O_x,S_{1-x})$ 버퍼층을 적용하여 특성 변화를 살펴보았다. $Zn(O_{0.76},S_{0.24})$, $Zn(O_{0.56},S_{0.44})$, $Zn(O_{0.33},S_{0.67})$ 그리고 $Zn(O_{0.17},S_{0.83})$의 4가지 단일막의 경우, 전자-정공의 재결합 억제에 유리한 밴드갭 구조를 나타내는 $Zn(O_{0.76},S_{0.24})$ 버퍼층을 소자에 적용했다. $Zn(O_{0.76},S_{0.24})$ 버퍼층을 소자에 적용 시, 흡수층으로부터 S가 버퍼층으로 확산되어 소자 내에서의 버퍼층은 $Zn(O_{0.7},S_{0.3})$의 조성을 나타냈다. CdS 버퍼층의 $E_V$보다 낮은 에너지 준위를 갖는 $Zn(O_{0.7},S_{0.3})$ 버퍼층은 전자-정공 재결합을 효과적으로 억제하기 때문에 CZTS 태양전지의 $J_{SC}$$V_{OC}$ 특성을 향상시켰다. 이를 통해 CdS 버퍼층이 적용된 CZTS 태양전지의 효율인 2.75%가 $Zn(O_{0.7},S_{0.3})$ 버퍼층 적용을 통해 4.86%로 향상되었다.