• 자원리싸이클링
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• 제16권1호
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• pp.28-36
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• 2007

폐 ITO 타겟을 염산에 용해시킨 복합 산용액을 원료로 하여 자체기술에 의해 개발한 분무열분해 반응장치를 통하여 평균입도가 50nm이하인 나노 ITO 분말을 제조하였으며, 반응온도 및 원료용액의 농도 등의 반응인자들의 변화에 따른 ITO 분말의 특성을 파악하였다. 반응온도가 $800^{\circ}C$로부터 $1100^{\circ}C$로 변화함에 따라 생성된 ITO 분말의 평균 입도는 40nm로부터 100nm정도까지 증가하고 있었으며, 조직도 점점 치밀화되면서 각각의 입자들이 독립된 다각형 형태를 나타내었으며, 입도분포는 더욱 불균일하게 나타나고 있었다. 또한 반응온도 증가에 따라 XRD 피크의 강도는 증가하였으며 비표면적은 감소하고 있었다. 원료용액 내의 인듐 성분의 농도가 50g/l로부터 400g/l로 증가됨에 따라 생성된 ITO 분말의 평균입도는 점점 증가하는 반면 입도분포는 더욱 불균일 하였다. 농도가 50g/l인 경우에는 ITO 분말의 평균입도는 30nm 이하이면서 입도분포는 비교적 균일하게 나타나고 있었다. 반면 농도가 포화농도에 가까운 400g/l인 경우에는 분말들의 입도분포는 20nm 정도부터 100nm 이상까지 공존하는 매우 불균일한 형태를 나타내고 있었다. 농도가 증가함에 따라 XRD 피크의 강도는 점점 증가하였으며 비표면적은 점점 감소하였다.

• 한국재료학회지
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• 제13권2호
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• pp.106-110
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• 2003

Nano-sized powders of Indium Tin Oxide(ITO) were synthesized by a coprecipitation method. In order to investigate the gas sensing characteristics in the nanocrystalline ITO thick films with various particle sizes, ITO powders with the average particle diameter of 15, 30, and 70 nm respectively were synthesized. And the sensitivity of ITO thick films was measured upon exposure to a target gas($C_2$$H_{5}$ /OH) and some other Volatile Organic Compounds(VOCs), such as, toluene, methanol, benzene, chloroform. As a result, ITO thick films had high sensitivity for ethanol and higher sensitivity with smaller particle size.

• 한국응용과학기술학회지
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• 제31권4호
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• pp.694-702
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• 2014

마이크론 크기를 가지는 ITO(indium tin oxide) 입자들은 인듐과 틴의 수용성 전구체들과 유기 첨가제를 분무 열분해하여 얻었다. 유기 첨가제로서는 에틸렌글리콜과 시트르산을 이용하였다. 분무 열분해 시 에틸렌글리콜과 시트르산과 같은 유기첨가제를 첨가하지 않고 얻어진 ITO 입자들은 구형이며 속이 꽉찬 형태를 가지는데 비해 유기 첨가제를 첨가하여 분무 열분해를 하면 얻어지는 ITO 입자들은 유기 첨가제의 양이 증가 할수록 껍질이 얇고 다공성이 증대된 중공 입자가 얻어진다. 유기첨가제를 첨가하지 않고 분무 열분해를 통해 얻어지는 마이크론 크기를 가지는 ITO는 $700^{\circ}C$에서 두 시간 동안의 후소성과 24 시간동안의 습식 볼밀링에 의해 나노 크기의 ITO로 전환되지 않으나, 유기첨가제를 첨가하고 분무 열분해를 통해 얻어지는 마이크론 크기를 가지는 ITO는 $700^{\circ}C$에서 두 시간 동안의 후소성과 24 시간 동안의 습식 볼밀링에 의해 나노 크기의 ITO로 쉽게 전환되었다. 응집된 나노 크기의 ITO의 일차 입자의 크기를 Debye-Scherrer 식에 의해 계산하였고 ITO 입자를 압축하여 만든 펠렛의 표면저항을 측정하였다.

• Toxicological Research
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• 제30권1호
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• pp.55-63
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• 2014

Objectives: The use of indium compounds, especially those of small size, for the production of semiconductors, liquid-crystal panels, etc., has increased recently. However, the role of particle size or the chemical composition of indium compounds in their toxicity and distribution in the body has not been sufficiently investigated. Therefore, the aim of this study was to examine the effects of particle size and the chemical composition of indium compounds on their toxicity and distribution. Methods: Male Sprague-Dawley rats were exposed to two different-sized indium oxides (average particle sizes under 4,000 nm [IO_4000] and 100 nm [IO_100]) and one nano-sized indium-tin oxide (ITO; average particle size less than 50 nm) by inhalation for 6 hr daily, 5 days per week, for 4 weeks at approximately $1mg/m^3$ of indium by mass concentration. Results: We observed differences in lung weights and histopathological findings, differential cell counts, and cell damage indicators in the bronchoalveolar lavage fluid between the normal control group and IO- or ITO-exposed groups. However, only ITO affected respiratory functions in exposed rats. Overall, the toxicity of ITO was much higher than that of IOs; the toxicity of IO_4000 was higher than that of IO_100. A 4-week recovery period was not sufficient to alleviate the toxic effects of IO and ITO exposure. Inhaled indium was mainly deposited in the lungs. ITO in the lungs was removed more slowly than IOs; IO_4000 was removed faster than IO_100. IOs were not distributed to other organs (i.e., the brain, liver, and spleen), whereas ITO was. Concentrations of indium in the blood and organ tissues were higher at 4 weeks after exposure. Conclusions: The effect of particle size on the toxicity of indium compounds was not clear, whereas chemical composition clearly affected toxicity; ITO showed much higher toxicity than that of IO.

• 자원리싸이클링
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• 제27권2호
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• pp.24-31
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• 2018

본 연구에서는 폐 ITO 타겟을 염산에 용해시킴으로써 인듐-주석 복합 산 용액을 제조하여 원료용액으로 사용하였다. 이 원료용액으로부터 분무열분해 공정에 의하여 평균입도 30 nm 이하의 ITO 분체를 제조하였다. 또한 본 연구에서는 인듐-주석 산화물(ITO) 형성을 위한 열역학적 수식들을 확립하였다. 반응온도가 $800^{\circ}C$로부터 $900^{\circ}C$로 증가됨에 따라 평균입도 30 nm 이하인 나노입자들이 응집되어 있는 액적 형태의 비율 및 크기는 감소하는 반면 표면 조직은 더욱 치밀해짐을 알 수 있었다. 반응온도가 $800^{\circ}C$인 경우에는 생성된 분체의 평균입도는 약 20 nm이었으며, 현저한 소결 현상은 나타나지 않았다. 한편, 반응온도가 $900^{\circ}C$인 경우에는 노즐에 의하여 미립화되는 액적의 분열 현상은 $800^{\circ}C$의 경우보다 심하게 나타났으며 액적 형태의 비율은 현저하게 감소하였다. 형성된 입자들의 평균 입도는 약 25 nm로서 $800^{\circ}C$의 경우보다 약간 증가하였다. 반응온도에 관계없이 ITO 입자들은 단결정으로 구성되어 있었다. XRD 분석 결과 분무열분해 공정에 의하여 염화물 상은 전혀 존재하지 않았으며 오직 ITO 상만이 형성되었음을 알 수 있었다. 반응온도가 $800^{\circ}C$로부터 $900^{\circ}C$로 증가함에 따라 비표면적은 약 30% 감소하였다.

• 융합정보논문지
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• 제12권2호
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• pp.127-133
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• 2022

ITO와 CNT를 적용한 전극을 코팅하여 제작한 대전입자형 전자종이 디스플레이 패널을 제작하여 내구성 및 전기광학적 특성을 비교한다. ITO 전극의 면저항은 10(ohm/sq.)이고 CNT 전극의 면저항은 300, 600, 1000(ohm/sq.)이며 내구성 측정을 위하여 물리적 충격 및 유연성 측정을 진행한다. ITO 전극의 경우 40회의 충격과 10mm의 곡률 반지름에서부터 변화가 시작되나 CNT 전극에서는 변화가 측정되지 않는다. 입자 이동, 반사율 및 응답 시간 측정에 필요한 구동 전압, 전계 등 전기광학 측정결과 CNT 전극은 ITO 전극과 유사한 결과를 얻었다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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• pp.396-399
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• 2008

In this study, the electric field distributions have been investigated by simulation in accordance with the various shapes of ITO-electrodes. Also we have measured the density of excited Xe atoms in the 1s5 state in discharge cell, where the gap distance of 60 um, gas pressure of 400 Torr, Xe contents of 7%, and sustaining voltage of 200 V are kept in this experiment. The maximum density of excited Xe atoms in the 1s5 state in a discharge cell for the fish-boned, T shaped and squared ITO electrodes have been measured to be $3.01\;{\times}\;10^{13}\;cm^{-3}$, $2.66\;{\times}\;10^{13}\;cm^{-3}$ and $2.06\;{\times}\;10^{13}\;cm^{-3}$, respectively. It is shown that the electric field distribution with different ITO Electrodes is essential factor for these maximum density of excited Xe atoms in discharge cell.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제17권7호
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• pp.747-753
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• 2004

In this paper, nanocrystalline indium tin oxide (ITO) particles were fabricated by using synthesis without harmful elements. The synthetic method is to eliminate the chloridic and nitridic elements which are included in the current wet type synthetic method. Therefore, it is possible to lower synthetic temperature below 600 $^{\circ}C$ to eliminate the harmful elements. Accordingly, fine particle can be achieved by applying the process. Particle size, surface area, crystal structure, and composition ratio of the synthesized nanocrystalline ITO particle by using the method were analyzed with high resolution transmission electron microscopy (HRTEM), BET surface area analyzer, X-ray diffraction (XRD), and energy dispersion spectroscopy (EDS). As a result, its particle size is less than 10 nm, and the surface area exceeds 100 m$^2$/g. The XRD analysis indicates that the cystal structure of the powder is cubic one with orientation of <222>, <400>, <440>. Also, the analysis of the composition demonstrates that the around 8 wt% tin is uniformly included in In$_2$O$_3$ lattice of the nanoparticle.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
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• pp.247-247
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• 2009

본 연구에서는 indium-tin oxide (ITO) 나노 입자 용액을 이용하여 간단한 공정을 통해 ITO 나노 패턴을 직접적으로 제작하는 기술에 대한 연구를 진행하였다. 이를 이용하여 300nm급 ITO 나노 dot 패턴을 제작하는데 성공하였으며 이를 glass 표면에 구현하는데 성공하였다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제25권6호
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• pp.451-455
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• 2012

To compare an electrical and optical characteristics of indium tin oxide (ITO) and carbon nanotube (CNT) electrode on flexible and reflective display, we fabricate two charged particle-type display panels under the same panel condition of which the width of ribs is 10 ${\mu}m$, the cell size is $300{\mu}m{\times}300{\mu}m$, the q/m value of the white particles is -4.3 ${\mu}C/g$ and that for the black is +1.3 ${\mu}C/g$, and the cell gap is 75 ${\mu}m$, 125 ${\mu}m$, and 175 ${\mu}m$. We use plastic substrates coated with ITO and CNT electrode. To evaluate optical property, we measure a response time of particles using a laser and a photodiode. Threshold and driving voltages of CNT electrode according to the sheet resistance of 300, 600, 1,000 (ohm/sq) are compared with ITO electrode of 10 (ohm/sq). A response time of the CNT panel is similar to that of ITO panel, but the threshold and driving voltages of CNT panel are higher than that of ITO panel, inducing a large bombardment of the particles and shortening the lifetime of the panel. High difference of a threshold and a driving voltage of CNT panel will induce an particle clumping, resulting degradation of the panel. A bending radius of the fabricated CNT panel is 18 ${\mu}m$.