Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Direct indium-tin oxide (ITO) nano-patterning using ITO nano particle solution

Indium-tin oxide (ITO) 나노 입자 용액을 이용한 직접 ITO 나노 패턴 제작 기술

  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 윤경민 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

본 연구에서는 indium-tin oxide (ITO) 나노 입자 용액을 이용하여 간단한 공정을 통해 ITO 나노 패턴을 직접적으로 제작하는 기술에 대한 연구를 진행하였다. 이를 이용하여 300nm급 ITO 나노 dot 패턴을 제작하는데 성공하였으며 이를 glass 표면에 구현하는데 성공하였다.

Keywords