RF-Magnetron Sputtering 방법을 이용해 질소분압비에 따른 금속 PCB용 AlN 절연막의 특성 (Characteristics of AlN Dielectric Layer for Metal PCB as a Function of Nitrogen Partial Pressure Using RF-Magnetron Sputtering Method)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제23권10호
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- pp.759-762
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- 2010