기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$ 와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2007.11a
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- pp.67.2-67.2
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- 2007