Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.67.2-67.2
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- 2007
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$ 와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
- Kim, Jae-Gwon ;
- No, Ho-Seop ;
- Ju, Yeong-U ;
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Park, Ju-Hong ;
- Jo, Gwan-Sik ;
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Song, Han-Jeong
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Lee, Je-Won
- 김재권 (인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 박연현 (인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 박주홍 (인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
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송한정
(인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소)
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이제원
(인제대학교 나노공학부 나노 메뉴팩처링 연구소)
- Published : 2007.11.02