Park, Youn-Jung;Jeong, Hee-June;Chang, Ji-Youn;Kang, Seok-Ju;Park, Cheol-Min
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.8
no.1
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pp.51-65
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2008
The article presents the recent research development in polymer ferroelectric non-volatile memory. A brief overview is given of the history of ferroelectric memory and device architectures based on inorganic ferroelectric materials. Particular emphasis is made on device elements such as metal/ferroelectric/metal type capacitor, metal-ferroelectric-insulator-semiconductor (MFIS) and ferroelectric field effect transistor (FeFET) with ferroelectric poly(vinylidene fluoride) (PVDF) and its copolymers with trifluoroethylene (TrFE). In addition, various material and process issues for realization of polymer ferroelectric non-volatile memory are discussed, including the control of crystal polymorphs, film thickness, crystallization and crystal orientation and the unconventional patterning techniques.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.11a
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pp.119-119
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2008
The electrical characteristics of Metal-Ferroelectric-Nitride-Oxide-Silicon (MFNOS) structure is studied and compared to the conventional Silicon-Oixde-Nitride-Oxide-Silicon (SONOS) capacitor. The ferroelectric blocking layer is SrBiNbO (SBN with Sr/Bi ratio 1-x/2+x) with the thickness of 200 nm and is fabricated by the RF sputter. The memory windows of MFNOS and SONOS capacitors with sweep voltage from +10 V to -10 V are 6.9 V and 5.9 V, respectively. The effect of ferroelectric blocking layer and charge trapping on the memory window was discussed. The retention of MFNOS capacitor also shows the 10-years and longer retention time than that of the SONOS capacitor. The better retention properties of the MFNOS capacitor may be attributed to the charge holding effect by the polarization of ferroelectric layer.
Ferroelectric anomaly in PbO-{{{{ { {B }_{2 }O }_{3 } }}-{{{{ {TiO }_{3 } }}-BaO glasses which is observed in DAT measurements was in-vestigated together with the effect of BaO content on the shift of Cuire temperature. The temperature where the ferroelectric anomaly apperars on cooling in DTA decreased in proportion with increasing BaO content,. For as-crystallized samples the ferroelectric anomaly was not observed on heating but on cooling whilist for powder samples leached chemically from the crystallized samples both endothermic and ex-otehrmic peaks were observed. This fact suggests that the appearance of the ferroelectric anomaly in DAT largely depends on glassy phases surrounding individual {{{{ {PbTiO }_{3 } }} crystals rather than effects of grain size and crystallinity.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.2
no.3
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pp.213-225
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2002
Metal-Ferroelectric- Insulator- Silicon (MFIS) structured field effect transistor (FET) device was fabricated and characterized. Important issues to realize ferroelectric gate field effect transistor device were summarized in three sections. The choice of interlayer dielectric was made in the consideration of device functionality and chemical reaction between ferroelectric materials and silicon surface during fabrication process. Also, various ferroelectric thin film materials were taken into account to meet desired memory window and process compatibility. Finally, MFIS structured FET device was fabricated and important characteristics were discussed. For feasible integration of current device as random access memory array cell address schemes were also suggested.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.174-174
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2008
Non-volatile memories using ferroelectric-gate field-effect transistors (Fe-FETs) with a metal/ferroelectric/semiconductor gate stack (MFS-FETs) make non-destructive read operation possible. In addition, they also have features such as high switching speed, non-volatility, radiation tolerance, and high density. However, the interface reaction between ferroelectric materials and Si substrates, i.e. generation of mobile ions and short retention, make it difficult to obtain a good ferroelectric/Si interface in an MFS-FET's gate. To overcome these difficulties, Fe-FETs with a metal/ferroelectric/insulator/semiconductor gate stack (MFIS-FETs) have been proposed, where insulator as a buffer layer is inserted between ferroelectric materials and Si substrates. We prepared $SrBi_2Ta_2O_9$ (SBT) film as a ferroelectric layer and $LaZrO_x$ (LZO) film as a buffer layer on p-type (100) silicon wafer for making the MFIS-FET devices. For definition of source and drain region, phosphosilicate glass (PSG) thin film was used as a doping source of phosphorus (P). Ultimately, the n-channel ferroelectric-gate FET using the SBT/LZO/Si Structure is fabricated. To examine the ferroelectric effect of the fabricated Fe-FETs, drain current ($I_d$) versus gate voltage ($V_g$) characteristics in logarithmic scale was measured. Also, drain current ($I_d$) versus drain voltage ($V_d$) characteristics of the fabricated SBT/LZO/Si MFIS-FETs was measured according to the gate voltage variation.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1998.11a
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pp.335-338
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1998
Ferroelectric Sr$_2$(Nb,Ta)$_2$O$_{7}$ (SNTO) thin films were prepared by chemical solution deposition processes. SNTO thin films were spin-coated on Pt/Ti/SiO$_2$/(100)Si substrates. After multiple coating, dried thin films were heat-treated for decomposition of residual organics and crystallization. B site-rich impurity phase, i.e. [Sr(Nb,Ta)$_2$O$_{6}$], was found after annealing, where its appearance was dependent on process temperature indicating the possible reaction with substrate. Dielectric and other relevant electrical properties were measured and the results showed a little possibility in ferroelectric gate random access memory devices.s.s.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.22
no.2
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pp.120-125
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2005
Effect of transverse electric fields on fracture behavior in ferroelectric ceramics under purely electrical loading is investigated. It is shown that the shape and size of the domain switching zone depend strongly on the ratio of the transverse electric field to the coercive electric field as well as the direction of the applied electric field. Under small-scale conditions, the crack-tip mode I and II stress intensity factors induced by ferroelectric domain switching are numerically obtained. The crack kinking in ferroelectric ceramics is also discussed.
Organic ferroelectric material found vast application in a verity of engineering and health technology fields. In the present study, we investigated the application of the deformable organic ferroelectric in motion measurement and improving performance in tennis players. Flexible ferroelectric material P(VDF-TrFE) could be used in wearable motion sensors in tennis player transferring velocity and acceleration data to collecting devises for analyzing the best pose and movements in tennis players to achieve best performances in terms of hitting ball and movement across the tennis court. In doing so, ferroelectric-based wearable sensors are used in four different locations on the player body to analyze the movement and also a sensor on the tennis ball to record the velocity and acceleration. In addition, poses of tennis players were analyzed to find out the best pose to achieve best acceleration and movement. The results indicated that organic ferroelectric-based sensors could be used effectively in sensing motion of tennis player which could be utilized in the optimization of posing and ball hitting in the real games.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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v.26
no.7
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pp.83-89
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1989
Ferroelectric $PbTiO_3$ thin film is deposited with rf sputtering at substrate temperature of $100-150^{\circ}C$. It is found that this has pyrochlore structure of amorphous type by X-ray diffractive analysis. Thermal annealing has excellent characteristics at $550^{\circ}C$ and laser annealing has best crystalline structure in case of scanning with 50 watts. Interface states in MFST and MFOST structure with a $PbTiO_3$ ferroelectric thin film gate have been investigated from analysis of C-V data. The interface states density has been drastically reduced by inserting an oxide layer between ferroelectric and semiconductor. The observed effect increase feasibility of employing ferroelectric thin films such as nonvolatile memory field effect transistor, IR optical FET, and Image Devices with a ferroelectric layer.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.20
no.11
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pp.142-149
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2003
Domain switching effect on crack growth in ferroelectric ceramics under combined electric and mechanical loading is investigated. The shape and size of the switching zone is shown to depend strongly on the relative magnitude between the applied electric field and stress field as well as on the ratio of the coercive electric field to the yield electric field. The toughening mechanism is thought to be ferroelectric domain switching leading to the development of a process zone around the crack. Crack-tip stress intensity factor induced by domain switching for the steady state crack growth is numerically obtained.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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