NH$_3$ -pplasma Treatment of GaAs Surface at High Tempperature in RF pparallel pplate pplasma Reactor
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1993년도 제4회 학술발표회 논문개요집
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- pp.29-31
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- 1993