dual frequency ICP 에서의 frequency 조합과 capacitance 변화에 따른 $SiO_2$ 및 poly-Si 식각특성
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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- pp.132-133
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- 2007