Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.04a
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- Pages.132-133
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- 2007
dual frequency ICP 에서의 frequency 조합과 capacitance 변화에 따른 $SiO_2$ 및 poly-Si 식각특성
- Kim, Jin-Ho ;
- Kim, Hui-Dae ;
- Lee, Nae-Eung ;
- Heo, Seung-Hoe ;
- Jang, Gi-Myeong ;
- Nam, Chang-Gil ;
- Son, Jong-Won
- 김진호 (성균관대학교, 신소재공학과) ;
- 김희대 (성균관대학교, 신소재공학과) ;
- 이내응 (성균관대학교, 신소재공학과) ;
- 허승회 (주성 엔지니어링) ;
- 장기명 (주성 엔지니어링) ;
- 남창길 (주성 엔지니어링) ;
- 손종원 (주성 엔지니어링)
- Published : 2007.04.05
Abstract
2개의 주파수가 인가된 유도결합 플라즈마(ICP)를 이용하여 주파수 조합(13.56 or 27.12/2MHz)과 안테나의 캐패시턴스 변화에 따른
Keywords