• Title/Summary/Keyword: Electron emission

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Emission Characteristics of MOS Electron Tunneling Cathode (MOS 형태 전자 턴넬링 전극의 특성)

  • Yokoo, Kuniyoshi
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.3
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    • pp.325-330
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    • 1993
  • 실리콘 gate의 MOS 전자 턴넬링 전극을 구성하여 그 특성을 조사하였다. 전자 방출은 전 gate 영역에서 MOS diode의 전위차를 지나는 턴넬링에 의하여 일어나고 안정하였다. 측정된 전류에서 산화막과 gate에서의 열전자의 충돌을 연구하였다. 방출된 전류는 압력에 관계없이 일정하였다.

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