The implementation of scanning electron microscope with Schottky FE Gun for obtaining high-resolution image

고분해능 영상획득을 위한 열전계방식의 전자원을 이용한 전자현미경의 구현

  • 박만진 (한국전자기계융합기술원) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 글로벌융합산업공학과) ;
  • 김승재 (한국전자기계융합기술원)
  • Published : 2013.05.29