Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.145-146
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
The implementation of scanning electron microscope with Schottky FE Gun for obtaining high-resolution image
고분해능 영상획득을 위한 열전계방식의 전자원을 이용한 전자현미경의 구현
- Published : 2013.05.29