한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.143-144
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2013
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

나노패턴용 3 MHz 급 메가소닉 세정시스템 개발

Development of a 3 MHz Megasonic Cleaning System for Nano-patterns

김현세 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
이양래 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
임의수 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부)

발행 : 2013.05.29

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