저압 CVD에 의한 $Si_{0.8}Ge_{0.2}$ epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과
(Phosphorus doping effect on $Si_{0.8}Ge_{0.2}$ epitaxial growth by LPCVD)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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- pp.314-316
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- 1997