• 제목/요약/키워드: Direct-writing process

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He-Cd 레이저와 근접장현미경을 이용한 폴리머박막 나노리소그라피 공정의 특성분석 (Characteristics of nanolithograpy process on polymer thin-film using near-field scanning optical microscope with a He-Cd laser)

  • 권상진;김필규;천채민;김동유;장원석;정성호
    • 한국레이저가공학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.37-46
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    • 2004
  • The shape and size variations of the nanopatterns produced on a polymer film using a near-field scanning optical microscope(NSOM) are investigated with respect to the process variables. A cantilever type nanoprobe having a 100nm aperture at the apex of the pyramidal tip is used with the NSOM and a He-Cd laser at a wavelength of 442nm as the illumination source. Patterning characteristics are examined for different laser beam power at the entrance side of the aperture($P_{in}$), scan speed of the piezo stage(V), repeated scanning over the same pattern, and operation modes of the NSOM(DC and AC modes). The pattern size remained almost the same for equal linear energy density. Pattern size decreased for lower laser beam power and greater scan speed, leading to a minimum pattern width of around 50nm at $P_{in}=1.2{\mu}W\;and\;V=12{\mu}m/s$. Direct writing of an arbitrary pattern with a line width of about 150nm was demonstrated to verify the feasibility of this technique for nanomask fabrication. Application on high-density data storage is discussed.

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Fabrication of Nano Dot and Line Arrays Using NSOM Lithography

  • Kwon Sangjin;Kim Pilgyu;Jeong Sungho;Chang Wonseok;Chun Chaemin;Kim Dong-Yu
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제9권1호
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    • pp.16-21
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    • 2005
  • Using a cantilever type nanoprobe having a 100㎚m aperture at the apex of the pyramidal tip of a near-field scanning optical microscope (NSOM), nanopatterning of polymer films are conducted. Two different types of polymer, namely a positive photoresist (DPR-i5500) and an azopolymer (Poly disperse orange-3), spincoated on a silicon wafer are used as the substrate. A He-Cd laser with a wavelength of 442㎚ is employed as the illumination source. The optical near-field produced at the tip of the nanoprobe induces a photochemical reaction on the irradiated region, leading to the fabrication of nanostructures below the diffraction limit of the laser light. By controlling the process parameters properly, nanopatterns as small as 100㎚ are produced on both the photoresist and azopolymer samples. The shape and size variations of the nanopatterns are examined with respect to the key process parameters such as laser beam power, irradiation time or scanning speed of the probe, operation modes of the NSOM (DC and AC modes), etc. The characteristic features during the fabrication of ordered structures such as dot or line arrays using NSOM lithography are investigated. Not only the direct writing of nano array structures on the polymer films but also the fabrication of NSOM-written patterns on the silicon substrate were investigated by introducing a passivation layer over the silicon surface. Possible application of thereby developed NSOM lithography technology to the fabrication of data storage is discussed.

3D 프린팅 센서 연구 동향 소개-전왜성 변형/로드셀 센서 중심으로 (A review of 3D printing technology for piezoresistive strain/loadcell sensors)

  • 조정훈;문현우;김성용;최백규;오광원;정관영;강인필
    • 센서학회지
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    • 제30권6호
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    • pp.388-394
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    • 2021
  • The conventional microelectromechanical system (MEMS) process has been used to fabricate sensors with high costs and high-volume productions. Emerging 3D printing can utilize various materials and quickly fabricate a product using low-cost equipment rather than traditional manufacturing processes. 3D printing also can produce the sensor using various materials and design its sensing structure with freely optimized shapes. Hence, 3D printing is expected to be a new technology that can produce sensors on-site and respond to on-demand demand by combining it with open platform technology. Therefore, this paper reviews three standard 3D printing technologies, such as Fused Deposition Modeling (FDM), Direct Ink Writing (DIW), and Digital Light Processing (DLP), which can apply to the sensor fabrication process. The review focuses on strain/load sensors having both sensing material features and structural features as well. NCPC (Nano Carbon Piezoresistive Composite) is also introduced as a promising 3D material due to its favorable sensing characteristics.

몽골공과대학에서 인터넷 마케팅 과목의 BPBL 적용을 위한 문제 개발에 관한 연구 (A Study on Problem Design for BPBL of Internet marketing subject in Mongolian Engineering College)

  • ;이근수
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권1호
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    • pp.530-536
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    • 2017
  • BPBL은 종전의 강의법을 지양하고 문제를 해결해 나가는 과정을 통해 학습이 이루어지도록 하는 학습자 중심의 교수법이다. 본 연구에서는 BPBL을 효율적으로 운영하기 위한 핵심인 문제개발의 절차를 구체화하고, 인터넷 마케팅 교과목 교육내용을 토대로 BPBL 학습에 필요한 문제를 개발하는 것을 목적으로 하였다. 효과적이지 못한 문제는 학생들이 충분한 도메인 지식을 얻고, 적절한 전 지식을 활성화하고 적절하게 직접적인 영향을 미칠 수 있다. 좋은 문제를 개발하기 위한 BPBL 문제 개발 절차는 핵심적인 학습목표 및 내용 선택하기, 학습내용과 관련된 실제적 맥락 설계하기, 문제의 초안 작성, 학습자 특성 파악하기, 문제 발견하기, 역할과 상황 설정하기, 문제 작성하기로 요약 할 수 있다. 문제 개발 절차에 따라서 인터넷 마케팅 교과목에서 다루고 있는 내용들을 토대로 BPBL이 적합한 5개의 통합 문제를 개발하였다. 현재의 산업 현장에서 요구되는 인재를 육성하기 위해서는 일제학습이 아닌 BPBL을 통해서만이 가능하기 때문에 본 연구는 창의적 인터넷 마케팅 수업을 위한 BPBL 문제개발 과정에 초점을 두었다.

잉크젯 인쇄기술을 이용한 인쇄회로기판의 에칭 레지스터 패터닝 (Etch resist patterning of printed circuit board by ink jet printing technology)

  • 서상훈;이로운;김용식;김태구;박성준;윤관수;박재찬;정경진;정재우
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.108-108
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    • 2007
  • Inkjet printing is a non-contact and direct writing associated with a computer. In the industrial field, there have been many efforts to utilize the inkjet printing as a new way of manufacturing, especially for electronic devices. The etching resist used in this process is an organic polymer which becomes solidified when exposed to ultraviolet lights and has high viscosity of 300 cPs at ambient temperature. A piezoelectric-driven ink jet printhead is used to dispense $20-40\;{\mu}m$ diameter droplets onto the copper substrate to prevent subsequent etching. In this study, factors affecting the pattern formation such as printing resolution, jetting property, adhesion strength, etching and strip mechanism, UV pinning energy have been investigated. As a result, microscale Etch resist patterning of printed circuit board with tens of ${\mu}m$ high have been fabricated.

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Nd:YAG Laser 직접 각인을 이용한 Carbon 스트레인 센서 (Carbon strain sensor using Nd: YAG laser Direct Writing)

  • 주동현;윤상우;김주한;박우태
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제25권1호
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    • pp.35-40
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    • 2018
  • Nd:YAG Laser를 이용하여 polyimide film에 탄화(carbonization)를 진행하여 Carbon을 생성하여 저가의 센서를 간단한 제조과정으로 만들었다. 이를 통하여 유연한 저가형 압저항 센서의 특성에 관한 연구를 수행하였다. 기존에 많은 연구들이 Polyimide에 $10.6{\mu}m$의 파장을 가지는 $CO_2$ laser를 이용하여 carbonization을 하여 센서를 제작하였다. 본 논문에서는 polyimide film에 $1.064{\mu}m$의 파장을 가지는Nd:YAG laser를 이용하여 carbonization(탄화공정)을 진행하였다. 또한 Nd:YAG laser를 사용하여 polyimide film위에 직접 탄화시키며 carbon을 생성하는 최적의 전력밀도($W/cm^2$)과 속도(scan rate) 조건 조합을 찾아 해상도를 높였다. $CO_2$ laser를 사용하였던 기존의 선행연구에서는 carbon생성의 최소 선폭이 $140{\sim}220{\mu}m$의 길이를 가졌지만, 본 연구에서는 카본의 생성되는 선폭이 $35{\sim}40{\mu}m$으로 축소시켰다. 이번 연구에서 제작된 센서의 초기 면저항은 $100{\sim}300{\Omega}/{\square}$ 이였다. 곡률 반경 21 R 로 인장을 하였을 때 저항이 30% 줄어들었고, 이를 통하여 계산된 게이지 팩터는 56.6이였다. 본 연구는 압저항 센서를 제조하기 위한 단순하고, 매우 유연하고 저렴한 공정을 제공한다.

입원환자의 투약체계와 방법의 개선을 위한 현장연구 (Field Study For The Improvement of Medication System and Method for Inpatients at General Hospital)

  • 유형숙;권영미;송미숙;김형애;박경숙
    • 간호행정학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.147-211
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    • 1995
  • Medication is a kind of medical service and a therapeutic nursing function which takes large portion of nursing service and requires complicated procedures. So many different medical personnel should be involved and cooporate each other in order to accomplish medication. Medication is also a vital nursing service, So nurse feels heavy responsibi lity in that she gives medication to the patient finally, so she has much responsibility if medication error is happened. Therefore it seems very important to clarify the problem of medication system and method, and find the subculture of medication situation because it may promote nursing productivity. The study was conducted to 1. Describe and interpret medication situation. 2. Find out the problem of medication system and method and on alternatives. 3. Compare the medication system and method of hospitals which are located in Seoul with object hospital Ethnographic methodology was used to study medication situation by doing participant observation and interview of health care personnel. Ten nurses and three nurse aids were interviewed. Two residents and internists, two phamacists and two accountants were also interviewed. Data was obtained and analized according to Developmental Research Sequence introduced by Spradly. On the basis of this data the results were as follows. 1. The overall flow of medication system was devided into six stage : first, checking doctor's order : second writing doctor's order, : third, transfering slip into the related departments such as account department, pharmacy : fourth, distribution of medication from pharmacy to unit : fifth, identifing medication by nurses : and finally, medicating to the patient. Behaviorors have been under a lot of stress in that they have to do much works, especially paperworks, So too much time were needed. They also have been suffered interpersonal conflicts among health care personnel and role conflicts in the process of doing medication service. 2. In the process of checking order, the problem was that too much time was required for checking order and paperwork. The more the order changes the more the paperwork is. Nurses have been suffering difficulties in calling internist in order to get bill. Even if writing down slip for medication order is doctor's job, Sometimes nurse has been expected to write slip by doctors or nurse would write slip beacuse of two much complexities and efforts for calling doctors. If the slip were incorrect, much time complicated procedures were more required for correcting it. So delay of administering drug would be resulted consequently. Drugs were delivered from pharmacy to units by delivery agent and phamacist. But because drugs were delivered without arranging room number of patient. Nurse should rearrange drugs in order of the room number So it had made waste time and effort, and Even when emergency drugs were needed, Prompt delivery of drug was not easy because of many reasons. For nurses, it took too long in the identification of the right drug. Actually nurses have heavy burden when medication error happens because nurse is the final actor who gives medication to the patient, So every three shift nurse ought to check drugs as soon as every shift begins. That's why it took too much time due to repeated confirming procedure. When nurses had to go patient room in order to give medications, there were difficulties in watching patient until the patient take medicine correctly. So it was impossible to check every patient wheather he took medicine or not especially in hectic situation. 3. There were many hospitals in Seoul which have similar medication system and method as object hospital according to the results of questionaire. This means that many hospitals have been suffering srimilar problems which were identified in object hospital. 4. Recommendations for promoting simplification of medication system and method were the following : Redesigning of slip from two pieces of paper into one : early discharge announcement system, and slip confirming through computer and controlling of period of prescreption from one day to two or three days : designing personal drug storage box for each patient and using it. If nurses follow the recommendations, they will make medication short & simple, and also have enough time of direct nursing care 5. Even though there were many difficulties in medicating patients. Medication itself has been considered as a caring among nurses because it makes rapport between nurse and patient. So nurses had better accept medication as a portion of nusing service not a original portion of phamacist. There are some limits in this research in terms of confining to only one unit of one hospital, and treating it especially in view of nurses' aspects, So further researchs should be continnued from various kmds of viewpoints of doctors, phamacists and so on. ${\cdot\cdot\cdot}$. Especially esthnographic study of computerized medication system and method seems to be followed.

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연명의료결정법에서 무연고자 규정미비 등에 관한 법적 고찰 (A Legal Analysis on the Absence of Provisions Regarding Non-relative Patients in the Act of Decisions-Making in Life-Sustaining Medicine)

  • 문상혁
    • 의료법학
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    • 제24권4호
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    • pp.103-128
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    • 2023
  • 현행 연명의료결정법에 따르면 연명의료를 시행하지 않거나 중단하는 결정은 임종과정에 있는 환자의 의사가 우선적으로 적용된다. 이러한 환자를 대상으로 하는 연명의료의 의사결정은 환자가 의식이 있는 경우에는 환자 본인이 연명의료에 대한 의사를 직접 서면이나 구두로 표시하거나 사전연명의료의향서와 연명의료계획서를 작성하는 것으로 자기결정을 행사할 수 있다. 반면에, 환자가 사전연명의료의향서나 연명의료계획서를 작성하지 않은 경우에는 환자 가족의 진술로 환자의 의사를 확인하거나 환자가족 전원의 동의로 연명의료중단등결정을 할 수 있다. 그러나 가족이 없거나 가족을 알 수 없는 무연고 환자인 경우에는 입원하기 전에 사전연명의료의향서와 연명의료계획서를 작성하지 않은 상태에서 의사표현을 할 수 없는 의학적 상태로 되면 환자의 의사를 알 수가 없어 환자에 대한 연명의료를 지속해야 할지 중단해야 할지에 대한 결정을 해야 하는 상황이 발생한다. 본 연구는 무연고환자의 경우에 연명의료결정을 위한 정책적 방안을 제시하고자 현행법상 무연고 환자에 대한 논의와 방안 검토했다. 첫째로, 성년후견인제도의 적용을 살펴보았지만, 성년후견인은 신체를 침해하는 의료행위에 대한 동의를 대신할 수 있지만 의료행위의 직접적인 결과로 사망할 수 있는 경우에는 가정법원의 허가를 필요로 하기 때문에 임종과정에 있는 급박한 환자에게는 적절한 방안이라고 할 수 없다. 둘째로, 연명의료결정법 제14조에 따라 의료기관윤리위원회에서 무연고 환자에 대한 연명의료중단등결정에 관한 심의에 대해 살펴보았다. 현행법상에서는 의료기관윤리위원회에서 무연고 환자에 대한 연명의료중단등결정을 할 수 없기 때문에, 개정을 통하여 무연고 환자에 대한 연명의료중단등결정에 대한 사항을 동법 제14조에 반영하거나 무연고 환자에 대한 규정을 따로 신설하여 개정하는 것이 필요하다. 또한 의료기관윤리위원회에서 무연고 환자에 대한 결정해야 하지만, 그런 결정을 하는 것에 대해서 해당 의료기관에서 할 수 없다면, 공용윤리위원회에서 무연고환자의 연명의료중단등결정을 할 수 있도록 법률을 개정할 필요가 있다.

비대면 및 대면 상황의 논의기반 탐구(ABI) 과학 수업에서 나타나는 중학생들의 인식론적 사고 비교 분석 (Comparative Analysis of Epistemic Thinking in Middle School Students in Argument-Based Inquiry(ABI) Science Class of No Face-to-Face and Face-to-Face Context)

  • 이지화;조혜숙;남정희
    • 대한화학회지
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    • 제66권5호
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    • pp.390-404
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    • 2022
  • 이 연구는 비대면 및 대면 상황의 논의기반 탐구 과학 수업에서 나타나는 중학생들의 인식론적 사고의 특징 및 변화를 알아보는 것을 목적으로 하였다. 이를 위해 광역시 소재의 중학교 2학년 4개 학급 113명 학생을 대상으로 비대면 상황의 5개 주제와 대면 상황의 5개 주제의 논의기반 탐구 과학 수업을 적용하였다. 비대면 및 대면 상황의 논의기반 탐구 과학 수업 진행에 따른 중학생들의 인식론적 사고 특징 및 변화를 알아보기 위하여 모둠별 의문 만들기 단계의 논의과정에서 나타나는 논의 활동의 특징과 변화를 비교 분석하였다. 연구결과, 비대면 상황의 논의기반 탐구 수업은 대면 상황의 논의기반 탐구 수업과 비교하여 내용에 대한 이해와 증거제시 타당성 항목에서 높은 수준의 사고가 나타났다. 대면 상황의 수업에서는 비대면 상황의 수업보다 주장제시 타당성과 논의과정의 전개 항목에서 높은 수준의 사고를 보였다. 비대면 상황에서는 직접적인 의사소통이 아닌 글을 바탕으로 논의가 이루어지고 이로 부터 지식에 대한 이해를 높일 수 있었고, 대면 상황에서는 모둠원들과 직접적인 의사소통으로 인한 대인 관계에 의해 영향을 받는 사고가 주로 나타났다.