• 제목/요약/키워드: Depth of focus

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초고집적 반도체의 미세선폭 가공기술

  • 최상수
    • ETRI Journal
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    • 제10권1호
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    • pp.96-108
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    • 1988
  • 반도체 소자의 집적도가 증가하고 최소선폭이 감소함에 따라 소자가공시 그것이 중간중첩 정도(overlay accuracy)에 미치는 요인을 파악하였고, 광학적 노광장치에서 오는 한계성을 촛점심도(depth of focus) 측면에서 고찰하였으며, 차세대 노광장치인 전자빔 및 X-선 노광장치에 대해 그 장단점을 파악하여 $0.5\mum$ 이하 선폭 가공시 적당한 노광장치에 대해 기술하였다. 또한 이상적인 패턴 전사를 위한 건식식각시의 여러 문제점을 나열하고 그 해결책을 논하였다.

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복부 단순 방사선 검사 시 피폭선량에 대한 연구 (A study on the radiation exposure of simple abdomen Radiation in Radiography)

  • 여진동
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제1권3호
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    • pp.5-10
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    • 2007
  • 복부 단순방사선 촬영은 흉부촬영에 이어 가장 많이 검사가 이루어지고 있는 실정인 것이 임상현장이므로 환자의 피폭선량에 대한 연구가 필수적으로 진행이 이루어 질 필요성이 대두가 된다. 그 결과는 다음과 같았다. 1. 관전압이 60-85kV 증가 시 표면선량은 증가하고, 촬영거리를 50-150cm로 20cm씩 증가함에 mAs도 증가시킨 결과 표면선량은 감소되었다. 2. 심부선량 백분율은 60-75kV에서는 4cm 깊이, 80-85kV에서는 6cm 깊이에서 50% 이하를 나타내었으며, 60kV에서는 12cm 깊이, 65-85kV에서는 14cm 깊이에서 5% 이하를 나타났다. 3. 전방산란율은 60-85kV까지 관전압이 증가 시 10-11.78%까지 증가함을 나타내었다. 후방 산란율은 관전압이 60-85kV 증가 시 25-37%로 증가하였다. 측방산란율은 음극 측에서는 관전압이 60-85kV 증가 시 1.63-2.95%로 완만하게 증가하나 양극측은 그 반대로 감소하는데 그 원인은 heel effect 현상 때문인가 사료된다. 후방산란율이 가장 크고, 그 다음이 전방산란율, 측방산란율 순으로 작아짐을 알 수 있다.

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외국인 학부생을 위한 바꿔 쓰기 교육의 효과 (A Study on the Effects of Teaching Paraphrasing to Foreign University Students)

  • 박현진
    • 한국어교육
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    • 제28권4호
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    • pp.63-86
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    • 2017
  • This research aims to evaluate the effects and the shortcomings of strategies for teaching paraphrasing to foreign university students. For this study, the effects of teaching paraphrasing skills on student's academic writing was investigated through the assessment of pre- and post-test writing tasks and through a focus group interview. The teaching of paraphrasing was divided into 3 instructional sessions and the focus group interview was conducted at the end of the last session. After each instructional session three trained assessors evaluated the outcomes of pre and post task writings; the in-depth focus group interviews were conducted on seven of the students in order to define better positive effects as well as shortcomings. By comparing the scores of pre- and post-task assignments it is possible to affirm that there is a meaningful difference for overall scores; moreover, in an analysis conducted on each single sub-element of the paraphrasing skill, it emerged that except for "task completion", all other four elements of "structure", "understanding core content", "change of expression" and "academic expressions" showed a statistically significant improvement in performance. On the other hand, as a result of the focus group interview, it was possible to individuate as main shortcomings insufficient vocabulary knowledge, poor overall comprehension of the reference material, lack of practice and difficulty in connect sentences organically. It is possible to consider these elements as limiting factors in understanding the reference material and making correct citations by the students. Therefore, we suggest as supplementary instructional strategies a deeper attention to the difficulty level of the text, the introduction of devices to understand better the content of the reference material and an integrated practice of the paraphrasing skill.

Exploring How to Conduct Infection Prevention and Control Education in Undergraduate Nursing Programs in Korea: Focus Group Interview Analysis

  • Chang, Sung Ok;Sohng, Kyeong-Yae;Kim, Kyunghee;Won, Jongsoon;Choi, Min-Jung;Chaung, Seung-Kyo
    • 기본간호학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.210-220
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    • 2019
  • Purpose: In the nursing profession, it is imperative that students are able to transfer their undergraduate knowledge and skills into practice to become competent nurses. The aim of this study was to illuminate how infection prevention and control (IPC) education would be conducted in undergraduate nursing programs. Methods: A qualitative design utilizing focus group interviews as its data collection method was employed. Twelve professors from twelve South Korean universities that have undergraduate nursing programs were recruited as research participants and divided into two focus groups. Results: Focus group interview analysis showed that IPC education in undergraduate nursing programs for fostering IPC competency was composed of two categories: a pre-clinical course and a clinical course. Each included three subcategories-education contents, education strategies, and considerations of how infection control is taught to students as they continue from beginning to advanced-and the themes of each subcategory were derived. Conclusions: The findings of this study can provide an overview of how nursing professors should teach IPC education to undergraduates. As IPC education for nurses is very important, more in-depth discussions that include educators, clinical mentors, and nursing students regarding IPC education are needed to ensure patients' safety in clinical settings.

굉학계의 중앙 차폐와 가우시안 인자가 중심 Spot 분포와 Encircled Energy에 미치는 영향 (The Influence of Cental Obstruction and Gaussian Factor on the Central Spot Distribution and the Encircled Energy)

  • 박성종;심상현;정창섭
    • 한국안광학회지
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    • 제10권4호
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    • pp.347-355
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    • 2005
  • 색본 연구에서는 중심이 차폐된 광학계를 고려하여 중심차폐와 입사광의 가우시안 진폭의 단락된 정도에 따른 광학계의 성능을 평가하기 위해 중심 spot 분포와 에너지 분포를 조사하였다. 광학계에서 중앙 차폐 반경의 크기가 증가함에 따라 상면에서 중심 spot의 반경은 점점 작아지며, 가우시안 진폭의 단락된 정도가 증가할수록 상면에서 중심 spot의 반경은 증가하였다. 또한 광학계의 중앙 차폐된 영역과 가우시안 진폭의 단락된 정도가 증가할수록 초점이동에 따른 초점심도는 증가하였으며, 중심 spot에서의 encircled energy는 감소되었다. 이러한 결과로부터 중앙 차에가 증가할수록 가우시안 인자의 영향이 작음을 알 수 있었다. 이러한 연구결과는 대구경 반사광학계의 개발에 사용될 것이다.

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iCloud 캘린더와 네이버 캘린더의 사용성 평가 -모바일 애플리케이션을 중심으로- (Usability Evaluation of ICloud Calendar and Naver Calendar -Focused on Mobile Application-)

  • 윤가희;김승인
    • 디지털융복합연구
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    • 제15권4호
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    • pp.443-449
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    • 2017
  • 스마트폰 사용이 대중화되어감으로써 스마트폰을 중심으로 형성되고 있는 스마트미디어환경은 새로운 생태계를 구축하고 있다. 본 연구는 스마트폰과 애플리케이션의 보급과 사용이 증가함에 따라서 오프라인에서 온라인화되어가는 요소들의 사용성을 평가하고 지속사용요소들을 알아보는 데 목적이 있다. 이를 위해 애플리케이션 사용성 비교에 관한 선행연구들을 분석하여 가설을 설정하고, 대표적인 캘린더 애플리케이션인 iCloud 캘린더와 네이버 캘린더의 사용성을 평가하기 위해 스마트폰 사용자들을 대상으로 두 캘린더 애플리케이션의 심층인터뷰를 시행하고 태스크 수행시간을 분석하여 설정한 가설을 분석하였다. 설정한 가설을 검증하며 심미성에 중점을 두는 사용자는 어떤 요소를 중요시하는지, 사용성과 실용성에 중점을 두는 사용자는 어떤 요소를 중요시하는지 형태별로 분석하였다. 향후 애플리케이션 개발의 '실패와 성공' 요소를 분석하여 향후 다른 온라인화가 되어가는 콘텐츠의 성공적인 발전을 위해 본 연구를 진행하게 되었다.

입사광의 단락된 정도에 따른 광학계의 색도 변화 (The Variation in Chromaticity of Optical System having the Truncated Incident Beam)

  • 박성종;정창섭;심상현
    • 한국안광학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.13-18
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    • 2000
  • 본 논문에서는 다색 광원으로 대낮의 햇빛(daylight)을 표현하는 C광원을 사용하였으며, 입사광으로는 가우시안 형태의 진폭을 갖는 광을 고려하였다. 고려된 C광원에서 가우시안 진폭을 갖는 입사광의 단락된 정도에 따른 광학계의 상면과 축상의 조도(illuminance) 분포와 색도(chromaticity) 변화를 조사하였다. 이때 색감각 함수는 1931년 CIE 자료를 사용하였으며, 고려한 파장은 380nm에서 780nm까지이다. 본 연구에서 고려된 가우시안 진폭을 갖는 입사광의 단락된 정도가 증가할수록 상면에서 중심 spot의 크기가 작아졌으며, 축상에서의 초점 심도가 작아졌다. 색도 변화는 상면과 축상에서 단락된 정도가 증가할수록 심하게 변화하였으며, 조도의 세기가 중앙 극대점에서 점차 감소할수록 광학계의 색도 변화가 심해졌다. 또한 초점 심도가 증가할수록 광학계의 색도 변화가 작게 나타났다.

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지방 대학생들의 창업 및 창업프로그램 인식에 관한 정성적 연구: 효과위계모형을 통한 접근 (Qualitative Study on Local College Students' Perception of Entrepreneurship and Entrepreneurship Programs: Approach through Hierarchy of Effects Model)

  • 정윤희
    • 산업융합연구
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    • 제21권12호
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    • pp.1-10
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    • 2023
  • 정부의 청년 창업 장려 정책과 함께 대학별로 창업을 활성화하기 위한 많은 노력을 하고 있고, 대학의 창업 프로그램은 대학생들의 창업을 지원하고 활성화할 수 있는 가장 중요한 부분이라 할 수 있다. 하지만 대학내 창업 프로그램에 대한 관심과 참여는 낮은 편이기 때문에, 창업과 창업 프로그램에 대한 관심과 참여를 올리기 위해서는 학생들의 창업과 창업 프로그램에 대한 인식을 심층적으로 살펴볼 필요가 있다. 따라서 본 연구에서는 효과위계모형을 활용하여 각 단계별 대학생들의 인식을 탐색하고 창업프로그램 참여를 방해하는 병목요인들을 파악하고자 하였다. 이를 위해 창업과 창업프로그램에 대한 다른 수준의 관심과 참여를 가진 표본들을 활용해 표적집단면접법과 심층면접법을 실시하였으며, 효과위계모형의 각 단계별 병목 요인들(창업욕구관련 9개 요인, 창업 프로그램 인지관련 4개 요인, 태도관련 7개 요인, 참여&참여의도관련 5개 요인)을 제시하였다. 이러한 결과는 정량적 연구에 치중되어 있던 창업 연구를 보완하고 있으며, 특히 지방대학교 사례를 중심으로 접근함으로써 중요한 실무적 시사점을 더하고 있다.

$0.1{\mu}m$급 dense 패턴 형성을 위한 사입사 조명 조건과 OPC 보조 패턴 크기의 최적 조건에 관한 연구 (Research on the optimization of off-axis illumination condition and sub-resolution pattern size for the $0.1{\mu}m$ rule dense pattern formation)

  • 박정보;이재봉;이성묵
    • 한국광학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.190-199
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    • 2001
  • 본 연구에서는 193nm의 ArF excimer laser 광원과 0.65의 NA를 갖는 광학계에서 기본 선폭이 $0.1{\mu}m$이고 duty ratio 가 1:1인 dense line & space(LS) 패턴에 대하여 여러사입사 조명 조건에 따른 초점심도(Depth of Focus; DOF)와 cutoff intensity를 확인하고 기본 capacitor 패턴에서 광학적 근접효과 보정을 위한 hammer head형 보조 패턴의 크기와 여러사입사 조건에 다른 DOF와 cutoff intensity의 변화에 대하여 알아보았다. 그결과 0.1$\mu$m급의 dense 패턴 구현을 위해서는 전형적인 X자형 사구 조명보다는 십자(+)형 사구 조명이나 환형조명이 보다 효과적인 것을 알수 있었다. 이와 더불어 보조 패턴의 크기가 약간 변한다 하더라도 일정한 초점심도와 cutoff intensity를 유지하는 경향을 보이는 특정한 조명 조건이 존재함을 밝히고 그에 따라 최적의 조명 조건과 보조 패턴의 크기에 대하여 알아보았다.

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다색 광원에 대한 가우시안 진폭을 갖는 광학계의 결상 특성 (The Image-forming Property of Optical System having Gaussian Amplitude for Polychromatic Source)

  • 박성종;박혜정
    • 한국안광학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.33-38
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    • 1999
  • 다색 광원에 대한 가우시안 진폭을 갖는 광학계의 결상 특성을 조사하기 위하여 다색 광원에 대한 결상 광학계의 색도(chromaticity) 변화와 조도(illuminance) 분포를 계산하였다. 본 논문에서 고려된 다색 광원은 색온도 2,856K인 텅스텐 백열 램프(incandescent-tungsten lamp)를 나타내는 A광원, 대낮의 평균 햇빛(daylight)을 나타내는 C광원, 대낮의 평균 햇빛의 파장영역을 자외선 영역까지 확대하여 보강한 $D_{65}$광원이다. 다색 광원들의 종류에 따라 기하학적 상점에서의 색도 값이 다르게 나타났으며, 기존의 균일한 진폭을 갖는 광학계에 비해 색도 변화가 매우 작게 나타났다. 조도 분포는 다색 광원의 종류에 따라 거의 변화가 없었으며, 초점 심도는 기존의 균일한 진폭을 갖는 광학계에 비해 크게 나타났다. 이러한 결과로부터 결상 광학계에 입사하는 광의 진폭 형태를 균일한 진폭에서 가우시안 형태로 변조시켜줌으로써 초점 심도는 크게, 색도 변화는 작게 할 수 있다.

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