Study of the Gase Phase Reaction Mechanism and Deposition Rate of Copper Precursors for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (유기금속 화학증착에서 구리 전구체들의 기상분해반응 메카니즘과 증착속도에 관한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1996.11a
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- pp.162-163
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- 1996