Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Study of the Gase Phase Reaction Mechanism and Deposition Rate of Copper Precursors for Metal Organic Chemical Vapor Deposition

유기금속 화학증착에서 구리 전구체들의 기상분해반응 메카니즘과 증착속도에 관한 연구

  • 박만영 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 오용석 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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