Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Development of MOCVD-TaN diffusion barrier for Cu metallization

Cu 배선공정을 위한 MOCVD-TaN 확산방지막의 개발

  • 조성래 (서울대학교 재료공학부 금속공학과 대학원) ;
  • 신동우 (서울대학교 재료공학부 금속공학과 대학원) ;
  • 김기범 (서울대학교 재료공학부 금속공학과 대학원)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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