Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Study of stainless steel surface for the semiconductor application

반도체 산업용 스테인레스강 표면 연구

  • 김흥락 (포항산업과학연구원 소재부문 재료표면연구팀) ;
  • 강성건 (포항산업과학연구원 소재부문 재료표면연구팀) ;
  • 이성호 (포항산업과학연구원 소재부문 재료표면연구팀) ;
  • 김동수 (포항산업과학연구원 소재부문 재료표면연구팀) ;
  • 류근걸 (포항산업과학연구원 소재부문 재료표면연구팀) ;
  • 이주협 (포항종합제철주식회사 스테인레스부)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

Keywords