Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1996.11a
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Pages.158-159
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1996

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characterization of stainless tubes for semiconductor process line

반도체 라인용 스테인레스 튜브 평가

강성건 (포항산업과학연구원) ;
김흥락 (포항산업과학연구원) ;
이성호 (포항산업과학연구원) ;
김동수 (포항산업과학연구원) ;
류근걸 (포항산업과학연구원) ;
이주협 (포항종합제철주식회사)

Published : 1996.11.01

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Abstract

Keywords